论文摘要
目的以MgF2和ZnS为单组分制备MgF2/ZnS复合薄膜,研究复合薄膜的光学性能,以获取任意折射率薄膜材料,并优化高损伤阈值激光薄膜的制备工艺。方法基于光电极值膜厚监控原理,采用电子束热蒸发和电阻热蒸发技术制备了复合薄膜,测量了复合薄膜的折射率、消光系数和透射率光谱,并对其激光损伤特性进行了研究。结果在所研究的工艺参数范围内,当Mg F2和ZnS的沉积速率比为5∶1、4∶1、2∶1、1∶1和0.5∶1时,所制备复合薄膜的折射率分别为1.4227、1.4932、1.6318、1.9044和2.0762（波长550 nm）。复合薄膜的折射率符合正常色散,当沉积速率选取合适,可以获得介于两种组分薄膜材料之间的任意折射率。对激光损伤性能测试的结果显示,不同沉积速率比率下制备的复合薄膜的激光损伤阈值可能介于两种单组分薄膜之间,也可能高于每种单组分薄膜的激光损伤阈值,其激光损伤阈值最高比单组分MgF2薄膜高28.6%,比单组分ZnS薄膜高96.4%。结论采用光电极值法监控膜厚,可根据不同蒸发源的蒸发特性,获得介于单组分膜料折射率之间的任意折射率材料,双源共蒸技术获取中间折射率是可行的。采用双源共蒸技术制备的复合薄膜,可改善单组分膜层的缺陷,获得高于单组分薄膜激光损伤阈值的材料。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 徐均琪,师云云,李候俊,苏俊宏
关键词: 复合薄膜,折射率,消光系数,激光损伤阈值,热蒸发,双源共蒸
来源: 表面技术 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 西安工业大学陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室
基金: 陕西省国际科技合作与交流计划资助项目(2016KW-036),陕西省教育厅重点实验室科研计划项目(16JS037),陕西省科技厅自然科学基础研究计划(2016JZ025),科技部国际合作资助项目(2013DFR70620)~~
分类号: TB383.2
DOI: 10.16490/j.cnki.issn.1001-3660.2019.02.012
页码: 82-88
总页数: 7
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