微机电系统(MEMS)的简介及应用

论文摘要

微机电系统(MEMS)是20世纪末21世纪初兴起的工程科学前沿,它涉及多学科的交叉,如物理学、现代光学、现代力学、化学、生物学等。微机电系统正在稳定快速地发展,将逐渐迈入纳米尺寸等级的层次。

论文目录

• 1 微机电系统的产生、概念及特点
• 2 微机电系统与普通机械、微电子的区别
•   2.1 微机电系统与普通机械的区别
•   2.2 微机电系统与集成电路和微电子的差异
• 3 微机电系统的广泛应用及发展前景
•   3.1 微机电系统在国防中的应用
•   3.2 微机电系统在汽车工业上的应用
•   3.3 MEMS在生物医学中的应用
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张旭,李春雨

关键词: 微机电系统,发展,应用

来源: 科技经济导刊 2019年22期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 机械工业

单位: 河北农业大学机电工程学院

分类号: TH-39

页码: 43

总页数: 1

文件大小: 2196K

下载量: 1061