多晶硅还原炉产能影响因素分析及提升措施

论文摘要

三氯氢硅还原是改良西门子法生产多晶硅的关键步骤,还原炉的产能能否达到设计甚至超出设计水平,对企业达产达标,降低成本,产品质量的稳定有很大影响。文章通过分析影响还原炉产能因素并提出了提升措施。

论文目录

• 1 原因分析
•   1.1 接地故障致使还原炉异常停炉
•   1.2 还原一次转化率低
•   1.3 还原炉运行控制不当
•   1.4 倒棒引起备件寿命周期变短
• 2 提升产能措施
•   2.1 优化工艺曲线, 降低还原异常停炉率, 提高一次转化率
•   2.2 还原炉喷嘴优化调整
•   2.3 硅芯尺寸调整
•   2.4 还原炉其他备件改造
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 宋张佐

关键词: 多晶硅,还原炉,产能,措施

来源: 山东化工 2019年09期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 云南能投化工有限责任公司

分类号: TQ127.2

DOI: 10.19319/j.cnki.issn.1008-021x.2019.09.051

页码: 143-144

总页数: 2

文件大小: 2183K

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