论文摘要
目前市面上的多晶硅大多采用改良西门子法生产的棒状多晶硅为主,在改良西门子法生产多晶硅过程中,硅芯是作为多晶硅生产过程中非常重要的辅材使用和消耗的。本文简要回顾了硅芯发展历史,重点阐述了改良西门子法多晶硅用铸锭硅芯的工艺流程、技术指标及影响因素。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 李素青
关键词: 多晶硅,硅芯
来源: 中国金属通报 2019年07期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 有色金属技术经济研究院
分类号: TQ127.2
页码: 122+124
总页数: 2
文件大小: 2739K
下载量: 86
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