一种PECVD花篮自动传送的设备论文和设计-陈剑雨

全文摘要

本实用新型公开一种PECVD花篮自动传送的设备,其包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机,用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转,所述上料机构位于设备主体的上部,下料机构位于设备主体的下部,所述传送皮带设在设备主体的上部和下部,上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输,并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降。本实用新型采用以上设计方案、通过花篮回流的传送方式,减少人为污染硅片的几率,降低操作人员劳动强度与操作难度,在硅片传送过程中仍可保持花篮传送,避免设备的等待时间,提高了生产效率,合理设置检测开关装置,配合传送机构,使花篮传送过程更加流畅。

主设计要求

1.一种PECVD花篮自动传送的设备,其特征在于:包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机,用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转,所述上料机构位于设备主体的上部,下料机构位于设备主体的下部,所述传送皮带设在设备主体的上部和下部,上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输,并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降,所述传送皮带由伺服电机带动转动。

设计方案

1.一种PECVD花篮自动传送的设备,其特征在于:包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机,用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转,所述上料机构位于设备主体的上部,下料机构位于设备主体的下部,所述传送皮带设在设备主体的上部和下部,上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输,并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降,所述传送皮带由伺服电机带动转动。

2.根据权利要求1所述的PECVD花篮自动传送的设备,其特征在于:位于设备主体的上部和下部的传送皮带为三段式皮带。

3.根据权利要求2所述的PECVD花篮自动传送的设备,其特征在于:所述三段式皮带每段设有一个检测是否有花篮的检测开关。

4.根据权利要求3所述的PECVD花篮自动传送的设备,其特征在于:所述检测开关包括外侧检测开关、中间检测开关和外侧检测开关。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种PECVD花篮自动传送的设备。

背景技术

当今常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种最清洁、最普遍和最有潜力的替代能源。太阳能发电装置又称为太阳能电池,其可以将太阳能直接转换成电能,其发电原理是半导体PN 结的光生伏特效应。

在太阳能电池的制备中,其中的PECVD制程工艺中涉及到双面镀膜工艺,双面镀膜需为分段进行(分为I-N和I-P段)。目前,太阳能能电池的硅片从I-N段到I-P段镀膜的过程是:硅片在I-N段下料机被放入花篮后,人工将花篮放置至I-P段上料机上,同时,将I-P段空花篮移至I-N段下料机。

目前,依靠人工方式传递花篮速度慢、增加了破片风险,同时增加了操作人员的劳动强度。所以,基于PECVD设备的传送特点,结需要开发一种 PECVD前后段的自动花篮回流传送机构。

实用新型内容

为解决现有技术中的缺陷,本实用新型提供一种PECVD花篮自动传送的设备,其提高生产效率,降低人工传递花篮过程中硅片破片的风险。

为实现上述目的,本实用新型采用以下设计方案:

一种PECVD花篮自动传送的设备,其包括上料机构、下料机构、伸缩气缸、传送皮带、伺服电机,用于承载硅片的花篮通过上料机构和下料机构进行传输运转,所述上料机构位于设备主体的上部,下料机构位于设备主体的下部,所述传送皮带设在设备主体的上部和下部,上料机构和下料机构通过传送皮带进行传输,并且通过伸缩气缸在设备主体的上部和下部进行升降,所述传送皮带由伺服电机带动转动。

优选的,位于设备主体的上部和下部的传送皮带为三段式皮带。

优选的,所述三段式皮带每段设有一个检测是否有花篮的检测开关。

优选的,所述检测开关包括外侧检测开关、中间检测开关和外侧检测开关。

本实用新型采用以上设计方案、通过花篮回流的传送方式,减少人为污染硅片的几率,降低操作人员劳动强度与操作难度,在硅片传送过程中仍可保持花篮传送,避免设备的等待时间,提高了生产效率,合理设置检测开关装置,配合传送机构,使花篮传送过程更加流畅。

附图说明

下面结合附图对本实用新型进行进一步说明:

图1为本实用新型PECVD花篮自动传送的设备的立体结构示意图;

图2为本实用新型PECVD花篮自动传送的设备的剖视结构示意图。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。

如图1、图2所示本实用新型公开了一种PECVD花篮自动传送的设备,其包括设备主体1、上料机构2、下料机构3、伸缩气缸4、传送皮带5、伺服电机6,用于承载硅片的花篮通过上料机构2和下料机构3进行传输运转,所述上料机构位2于设备主体1的上部,下料机构位3于设备主体1的下部,所述传送皮带5设在设备主体1的上部和下部,上料机构2和下料机构3通过传送皮带5进行传输,并且通过伸缩气缸4在设备主体1的上部和下部进行升降,所述传送皮带5由伺服电机6带动转动。位于设备主体的上部和下部的传送皮带5为三段式皮带51、52、53,所述三段式皮带每段设有一个检测是否有花篮的检测开关,所述检测开关包括外侧检测开关 71、中间检测开关72和外侧检测开关73。

本实用新型通过设计中间传送机构分为下料和上料两个部分,每个机构又分为上、下两层。各个机构工作时靠气缸下降联动,非工作时间可通过气缸将对接机构升起,便于人员通过。通过设计多段式皮带,避免在传送过程中花篮出现堆积的现象;皮带传送的启停通过检测开关控制,花篮才能有序的传送。

本实用新型工作时,满花篮通过传送皮带以及伸缩气缸传送至上料机构,上料机构的空花篮通过传送皮带以及传至下料机构,中间所有步骤均由设备自动完成。具体步骤为:

花篮在下料机构两侧装满硅片后,下降到出料位,等待自动传送至上料机构;花篮在上料机两侧卸完硅片后,下降到初始位。等待自动传送至下料机构。

上层传送皮带每段都设有三个光电开关:外侧检测到位、中间检测到位、内侧检测到位,当感应到满花篮时,伺服电机带动皮带,使满花篮往上料机构移动。

下层传送皮带每段都设有三个光电开关:外侧检测到位、中间检测到位、内侧检测到位,当感应到空花篮时,伺服电机带动皮带,使空花篮往下料机构移动,完成下料机构与上料机构满花篮和空花篮的交替传送。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已,并不用以限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

设计图

一种PECVD花篮自动传送的设备论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201920079256.4

申请日:2019-01-17

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:35(福建)

授权编号:CN209843734U

授权时间:20191224

主分类号:H01L31/18

专利分类号:H01L31/18;H01L21/677

范畴分类:38F;

申请人:福建金石能源有限公司

第一申请人:福建金石能源有限公司

申请人地址:362000 福建省泉州市晋江市经济开发区(五里园)泉源路17号

发明人:陈剑雨;陈清彬;朱伟忠

第一发明人:陈剑雨

当前权利人:福建金石能源有限公司

代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

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一种PECVD花篮自动传送的设备论文和设计-陈剑雨
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