LNOI光电子集成芯片技术

论文摘要

介绍了LNOI材料、光波导制备、光耦合和器件技术方面的研究进展,并针对LNOI材料在光电集成芯片方面的发展进行了展望。

论文目录

• 引 言
• 1 LNOI材料技术
• 2 LNOI光波导制备技术
•   2.1 质子交换
•   2.2 精密机械加工
•   2.3 湿法腐蚀
•   2.4 干法刻蚀
•   2.5 纳米颗粒抛光
•   2.6 条形负载
• 3 LNOI光子芯片光耦合技术
•   3.1 端面耦合
•   3.2 光栅耦合
• 4 LNOI光子器件技术
•   4.1 电光调制器
•   4.2 光子谐振腔
•   4.3 光子晶体
• 5 总结与展望

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 韩春林,钱广,胡国华

关键词: 薄膜铌酸锂,绝缘层上铌酸锂,集成微波光子,光电集成

来源: 光电子技术 2019年03期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,无线电电子学

单位: 微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,中国电子科技集团公司第五十五研究所,东南大学先进光子学中心

分类号: TN40;TB34

DOI: 10.19453/j.cnki.1005-488x.2019.03.003

页码: 168-177

总页数: 10

文件大小: 6335K

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