同步辐射用Au-Pt多层薄膜反射镜

论文摘要

同步辐射广泛使用Au薄膜作为反射镜膜层,降低Au薄膜的粗糙度以减小散射信号仍是难点。基于国内外对Au薄膜的研究,本文采用在Au薄膜中插入Pt间隔层的方法,制备了新型Au-Pt薄膜。原子力显微镜（Atomic Force Microscope,AFM）测试结果表明:采用1 nm厚的Au膜层和1 nm厚的Pt间隔层交替制备的方法所获得的新型Au-Pt薄膜,粗糙度小于0.3 nm,明显小于传统Au薄膜的粗糙度;通过X射线衍射（X-ray Diffractometer,XRD）测试可以发现,Pt间隔层的插入能够有效抑制Au膜结晶。随着Pt间隔层插入间隔的减小,Au膜结晶程度显著降低。根据AFM测试结果,使用IMD软件计算了传统Au薄膜以及新型Au-Pt薄膜的反射率,发现新型Au-Pt薄膜反射率比传统Au薄膜略有提高,同时新型Au-Pt薄膜的表面粗糙度更小,降低了散射强度,提升了反射镜的实际性能。本文为用于同步辐射的高传输效率、高反射率的Au-Pt薄膜反射镜的制备提供了参考。

论文目录

• 1 样品的制备以及表征
•   1.1 样品制备
•   1.2 原子力显微镜测试
•   1.3 X射线衍射测试
• 2 理论反射率计算
• 3 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 陈加琪,齐润泽,冯宇飞,黄秋实,王占山

关键词: 同步辐射,磁控溅射,薄膜,表面粗糙度,反射率

来源: 核技术 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备,仪器仪表工业

单位: 同济大学物理科学与工程学院先进微结构材料教育部重点实验室

基金: 国家重点科研项目(No.2016YFA0401304),国家自然科学基金(No.61621001)资助~~

分类号: TH74;TB383.2

页码: 5-9

总页数: 5

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