电镀金刚石线锯切割光伏多晶硅的表面特性与锯丝磨损分析

论文摘要

电镀金刚石线锯切割的光伏多晶硅切片表面特性,影响其断裂强度和后续的制绒工艺;为探究线锯锯切工艺参数对多晶硅切片表面特性的影响规律,揭示电镀金刚石锯丝的磨损机理,开展了光伏多晶硅的电镀金刚石线锯切片试验。研究结果表明:锯切的多晶硅表面存在由金刚石磨粒的塑性剪切、微切削去除形成的塑性浅划痕与较深的沟槽,及材料脆性去除留下的表面破碎微凹坑;切片表面材料的塑性去除和脆性去除相对比例随工艺参数组合变化而变化,增大晶片进给速度,降低走丝速度,切片表面粗糙度增大,表面形貌逐渐由塑性沟槽为主转变为以破碎微凹坑为主;使用表面镀镍(金属化)的金刚石颗粒制备的电镀金刚石锯丝的磨损形态在稳定阶段主要是磨粒磨平,使用后期主要是磨粒脱落和镀层磨损。

论文目录

• 1 多晶硅的锯切试验
•   1.1 试验装置及方法
•   1.2 锯切参数及性能检测
• 2 试验结果与讨论
•   2.1 多晶硅切片的表面特征
•   2.2 线速对锯切多晶硅表面特性的影响
•   2.3 工件进给速度对锯切多晶硅表面特性的影响
•   2.4 锯丝的磨损机理分析
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 庞继伟,高玉飞,李升

关键词: 电镀金刚石线锯,光伏多晶硅,表面特性,磨损机理

来源: 金刚石与磨料磨具工程 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 化学

单位: 山东职业学院铁道车辆与机械工程系,山东大学机械工程学院高效洁净机械制造教育部重点实验室

基金: 国家自然科学基金(51875322),山东省自然科学基金(ZR2019MEE012),山东省重点研发计划项目(2016GGX103007,2017GGX30139)

分类号: O786

DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2019.5.0016

页码: 92-96

总页数: 5

文件大小: 1632K

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