高气压直流辉光CH4/H2等离子体放电过程中的占空比效应

论文摘要

对高气压下直流均匀辉光放电的脉冲占空比效应进行了研究。在1.7 kHz脉冲放电条件下,当占空比高于73%时,脉冲间隔后电压需要经过10～20μs的上升时间至稳定;而电流增长明显地滞后于电压的上升,整个增长过程需要的时间约是电压上升时间的10倍。减小占空比,表示电流增长快慢程度的时间常数τ几乎线性增加。这是因为小占空比时,上升通道开始时刻的等离子体电子密度低,放电电流需要更长时间才能稳定。在高气压条件下,粒子碰撞效应显著增强,增加的放电功率被更多地被用于加热中性粒子,表现为H_α、H_β等发射光谱强度随占空比降低而增加。进一步减小占空比,电子密度n_e衰减到过低,时间常数τ增加到一定值时,放电就难以维持,表现为放电不稳定乃至熄灭。

论文目录

• 1 实验安排
• 2 实验结果与讨论
• 3 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杨宽,丁芳,刘汉兴,朱晓东

关键词: 高气压直流等离子体,占空比,波形,发射光谱

来源: 真空科学与技术学报 2019年05期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学

专业: 物理学

单位: 中国科学技术大学物理学院,中国科学院等离子体物理研究所

基金: 国家重点研发计划(2018YFE0301102),国家自然科学基金项目(No.11375192)

分类号: O461.21;O53

DOI: 10.13922/j.cnki.cjovst.2019.05.12

页码: 429-433

总页数: 5

文件大小: 1006K

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