全文摘要
本实用新型提供一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板，所述操作板顶面设有印制电路板区和两个Y轴取像座，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器，本实用新型能够代替人工检测点位，能对印制电路板三维取像。
主设计要求
1.一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和设于所述取像区下方的电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板并通过所述操作板分隔；所述操作板顶面设有印制电路板区和两个互相平行的Y轴取像座，所述印制电路板区设于所述操作板的中部，两个所述Y轴取像座分别设于所述印制电路板区的两侧，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴驱动座的底部与所述Y轴取像座的顶部滑动连接，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述Z轴驱动座的底部与所述X轴取像座的顶部滑动连接，所述Z轴驱动座的侧面与所述Z轴取像座的侧面滑动连接；所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器。
设计方案
1.一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和设于所述取像区下方的电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板并通过所述操作板分隔；
所述操作板顶面设有印制电路板区和两个互相平行的Y轴取像座，所述印制电路板区设于所述操作板的中部，两个所述Y轴取像座分别设于所述印制电路板区的两侧，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴驱动座的底部与所述Y轴取像座的顶部滑动连接，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述Z轴驱动座的底部与所述X轴取像座的顶部滑动连接，所述Z轴驱动座的侧面与所述Z轴取像座的侧面滑动连接；
所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器。
2.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座朝向所述印制电路板的一侧均设有静电风扇和若干光灯，所述静电风扇的风向指向所述印制电路板区。
3.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述X轴驱动座的底部、所述Z轴驱动座的底部以及所述Z轴驱动座的与所述Z轴取像座连接的底面均设有驱动滑块，所述驱动滑块分别配置有驱动电机，所述Y轴取像座的顶面、所述X轴取像座的顶面和所述Z轴取像座的侧面均设有与所述驱动滑块匹配的滑轨。
4.根据权利要求2所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述光灯设有亮度调节器。
5.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述设备箱包括箱体本体，所述设备箱位于所述操作板上方的箱体本体部分为透明钢化玻璃箱体。
6.根据权利要求1所述的一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，其特征在于，所述相机配设有图像存储卡，所述相机为500万像素的黑白相机。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备。
背景技术
半导体生产制造过程中晶圆测试时所使用的探针卡，在制作探针卡时，飞针机需要人工建立印制电路板上检测点位，方便制作三维立体的探针卡,故开发飞针取像设备,降低印制电路板点位建立所需投入的人力成本同时提升三维确认点位的精准度。
实用新型内容
为了克服上述缺陷，本实用新型提供一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，能够代替人工检测点位，能对印制电路板三维取像。
本实用新型提供了如下的技术方案：
一种制作晶圆检测探针卡的飞针取像设备，包括设备箱，所述设备箱的内部包括取像区和设于所述取像区下方的电气区，所述取像区和所述电气区之间设有操作板并通过所述操作板分隔；
所述操作板顶面设有印制电路板区和两个互相平行的Y轴取像座，所述印制电路板区设于所述操作板的中部，两个所述Y轴取像座分别设于所述印制电路板区的两侧，两个所述Y轴取像座的顶部之间搭设有X轴取像座，所述X轴取像座底部的两端分别设有X轴驱动座，所述X轴驱动座的底部与所述Y轴取像座的顶部滑动连接，所述X轴取像座的一侧设有Z轴取像座，所述Z轴取像座的侧面与所述X轴取像座的顶部之间设有Z轴驱动座，所述Z轴驱动座的底部与所述X轴取像座的顶部滑动连接，所述Z轴驱动座的侧面与所述Z轴取像座的侧面滑动连接；
所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座均配置有相机，所述相机内配置有电荷耦合器件图像传感器。
优选的，所述X轴取像座、所述Y轴取像座以及所述Z轴取像座朝向所述印制电路板的一侧均设有静电风扇和若干光灯，所述静电风扇的风向指向所述印制电路板区。
优选的，所述X轴驱动座的底部、所述Z轴驱动座的底部以及所述Z轴驱动座的与所述Z轴取像座连接的底面均设有驱动滑块，所述驱动滑块分别配置有驱动电机，所述Y轴取像座的顶面、所述X轴取像座的顶面和所述Z轴取像座的侧面均设有与所述驱动滑块匹配的滑轨。
优选的，所述光灯设有亮度调节器。
优选的，所述设备箱包括箱体本体，所述设备箱位于所述操作板上方的箱体本体部分为透明钢化玻璃箱体。
优选的，所述相机配设有图像存储卡，所述相机为500万像素的黑白相机。
本实用新型的有益效果是：X轴取像座、Y轴取像座以及Z轴取像座之间形成了一个三维的拍摄坐标系，配合X轴驱动座、Z轴驱动座能够实现X轴取像座在Y轴取像座上的移动和Z轴取像座在X轴取像座上的水平方向和垂直于印制电路板区方向的移动，能够到达各个印制电路板区的各个位置，从而能够实现对印制电路板区上放置的印制电路板的各个方位的三维取像。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型结构示意图；
图中标记为：1、设备箱；2、操作板；21、印制电路板区；3、Y轴取像座；4、X轴取像座；5、Z轴取像座；6、Z轴驱动座。
具体实施方式
如图1所示,本实用新型包括设备箱1，设备箱1的内部包括取像区和设于取像区下方的电气区，取像区和电气区之间设有操作板2并通过操作板2分隔；
操作板2顶面设有印制电路板区21和两个互相平行的Y轴取像座3，印制电路板区21设于操作板2的中部，两个Y轴取像座3分别设于印制电路板区21的两侧，两个Y轴取像座3的顶部之间搭设有X轴取像座4，X轴取像座4底部的两端分别设有X轴驱动座，X轴驱动座的底部与Y轴取像座3的顶部滑动连接，X轴取像座4的一侧设有Z轴取像座5，Z轴取像座5的侧面的顶部与X轴取像座4的顶部设有Z轴驱动座6，Z轴驱动座6的底部与X轴取像座4的顶部滑动连接，Z轴驱动座6的侧面与Z轴取像座5的侧面滑动连接；
X轴取像座4、Y轴取像座3以及Z轴取像座5均配置有相机，相机内配置有电荷耦合器件图像传感器，电荷耦合器件图像传感器和相机的配合用于印制电路板的拍摄取像，X轴取像座4、Y轴取像座3以及Z轴取像座5之间形成了一个三维的拍摄坐标系，配合X轴驱动座、Z轴驱动座6能够实现X轴取像座4在Y轴取像座3上的移动和Z轴取像座5在X轴取像座4上的水平方向和垂直于印制电路板区21方向的移动，能够到达各个印制电路板区21的各个位置，从而能够实现对印制电路板区21上放置的待取像的印制电路板的各个方位的三维取像。
具体的，X轴取像座4、Y轴取像座3以及Z轴取像座5朝向印制电路板的一侧均设有静电风扇和若干光灯，静电风扇的风向指向印制电路板区21，静电风扇用于清除作业时空气中或者金属器件上的静电，光灯用于补光拍摄，X轴驱动座的底部、Z轴驱动座6的底部以及Z轴驱动座6的与Z轴取像座5连接的底面均设有驱动滑块，驱动滑块分别配置有驱动电机，Y轴取像座3的顶面、X轴取像座4的顶面和Z轴取像座5的侧面均设有与驱动滑块匹配的滑轨，实现X轴取像座4在Y轴取像座3上的水平移动，实现Z轴取像座5在X轴取像座4上的水平方向和垂直于印制电路板区21方向的移动，光灯设有亮度调节器，方便调节光灯的亮度，设备箱1包括箱体本体，设备箱1位于操作板2上方的箱体本体部分为透明钢化玻璃箱体，方便观察，相机配设有图像存储卡，相机为500万像素的黑白相机。
本实用新型的原理和工作方式为：在印制电路板区21放置待取像的印制电路板，此时根据印制电路板的面积尺寸，X轴驱动座和Z轴驱动座6开始动作，使得X轴取像座4和Z轴取像座5能够运动到对应印制电路板的各个需要拍摄的位置，这时X轴取像座4、Y轴取像座3以及Z轴取像座5上的电荷耦合器件图像传感器和相机同时工作拍摄，拍摄之后便能得到该需要拍摄位置的三维图像，每个需要拍摄的位置都是如此操作，便能得到关于印制电路板的全部三维图像。
以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920065629.2
申请日:2019-01-16
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209784395U
授权时间:20191213
主分类号:G01R1/02
专利分类号:G01R1/02;G01R1/04
范畴分类:31F;
申请人:江苏澳芯微电子有限公司
第一申请人:江苏澳芯微电子有限公司
申请人地址:221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路北侧、华山路西侧
发明人:王印玺;秦超;陶源
第一发明人:王印玺
当前权利人:江苏澳芯微电子有限公司
代理人:黄胡生
代理机构:32286
代理机构编号:南京常青藤知识产权代理有限公司 32286
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计