论文摘要
激光内雕机在进行激光内雕时,经常会存在激光"炸点"不均匀的情况,需要对其进行放大分析,从而更好地控制激光束的能量。根据企业激光内雕"炸点"观察需求,设计了一款长工作距变焦显微物镜。玻璃内部的"炸点"观察范围为9～32 mm,系统采用光学变焦方式,变焦范围为6～24 mm,放大倍率为4×～16×,变倍比为4倍。探测器采用了一款型号为VA-1MG2的1/2 in（1 in=2.54 cm）CCD,其像元大小为5.5μm。利用Zemax进行光学系统设计优化,在截止频率91 lp/mm处,各组态下各视场的MTF值均大于0.4,在中心视场和0.7视场处均接近衍射极限。点列图的RMS半径也均小于艾里斑半径,满足长工作距变焦显微系统的各项指标需求。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 张润泽,陈宇,张家铭,李阳,张健
关键词: 长工作距离,变焦显微物镜,光学设计,激光炸点
来源: 红外与激光工程 2019年06期
年度: 2019
分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 无机化工,仪器仪表工业
单位: 长春理工大学光电工程学院
基金: 吉林省发改委产业创新专项资金(2017C037-1)
分类号: TQ171.6;TH742
页码: 420-425
总页数: 6
文件大小: 2355K
下载量: 151
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