论文摘要
将钼钛合金靶材在同一溅射设备、同一溅射工艺下进行磁控溅射实验,研究不同粒径钼粉原料对靶材溅射薄膜性能的影响。通过XRD、SEM和直流四探针法分析结果表明,颗粒大小均匀、无团聚的大粒径钼粉制备出的靶材,其溅射薄膜性能更优异。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 席莎,安耿,李晶,韩强,刘仁智,赵虎
关键词: 钼粉,钼钛靶材,磁控溅射,微观组织
来源: 中国钼业 2019年06期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 金堆城钼业股份有限公司技术中心
分类号: TB383.2
DOI: 10.13384/j.cnki.cmi.1006-2602.2019.06.010
页码: 50-53
总页数: 4
文件大小: 1814K
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