磷原子在金刚石(001)表面吸附和迁移的第一性原理研究

磷原子在金刚石(001)表面吸附和迁移的第一性原理研究

论文摘要

采用第一性原理计算方法对磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为进行了系统研究.结果表明:在全氢终止金刚石(001)表面上,磷原子不能够稳定吸附.当氢终止表面上出现1个、2个活性位时,磷原子可以在活性位处稳定吸附,吸附能为2. 8至4. 5 eV.分波态密度分析表明:磷原子吸附后,仍然有未成对电子,保持化学活性,有利于后续沉积粒子的吸附.当氢终止表面上出现3个活性位时,磷原子可以在活性位处吸附,并且可以在活性位之间迁移.迁移激活能小于1. 7 eV.综上所述,磷原子在金刚石(001)表面上的吸附和迁移行为与表面上活性位的数量和分布密切相关.

论文目录

  • 1 计算方法
  • 2 结果和讨论
  •   2.1 在全氢终止金刚石 (001) 表面
  •   2.2 在1ORS的表面
  •   2.3 在2ORS的表面
  •   2.4 在3ORS的表面
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 刘学杰,曹晔

    关键词: 第一性原理,磷掺杂金刚石,迁移激活能,吸附和迁移

    来源: 内蒙古科技大学学报 2019年02期

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 化学

    单位: 内蒙古科技大学机械工程学院

    基金: 国家自然科学基金资助项目(51562031,61765012),内蒙古自治区自然科学基金资助项目(2014MS0516)

    分类号: O647.3

    DOI: 10.16559/j.cnki.2095-2295.2019.02.007

    页码: 131-138

    总页数: 8

    文件大小: 1502K

    下载量: 151

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