全文摘要
本实用新型公开了一种高温槽虹吸排液系统，包括高温槽、冷却槽和排液装置，所述高温槽底面高度高于冷却槽顶端，所述高温槽和冷却槽通过石英虹吸管连接，所述石英虹吸管靠近高温槽的一端设有分支管，所述分支管另一端连接有抽真空装置，分支管上还设有保护阀，所述保护阀位于抽真空装置与分支管和石英虹吸管连接处之间，所述分支管和石英虹吸管连接处还设有液体感应器，所述排液装置设于冷却槽上。本实用新型冷却效率高，且能够大大提升化学废液排放过程的操作安全性，显著扩大了上述部件材料的适用范围，有效降低了使用成本；本实用新型适用范围广，安全系数高，实用性强，值得在本领域推广。
主设计要求
1.一种高温槽虹吸排液系统，其特征在于：包括高温槽(1)、冷却槽(2)和排液装置(3)，所述高温槽(1)底面高度高于冷却槽(2)顶端，所述高温槽(1)和冷却槽(2)通过石英虹吸管(7)连接，所述石英虹吸管(7)靠近高温槽(1)的一端设有分支管(71)，所述分支管(71)另一端连接有抽真空装置，分支管(71)上还设有保护阀(5)，所述保护阀(5)位于抽真空装置与分支管(71)和石英虹吸管(7)连接处之间，所述分支管(71)和石英虹吸管(7)连接处还设有液体感应器(8)，所述排液装置(3)设于冷却槽(2)上。
设计方案
1.一种高温槽虹吸排液系统，其特征在于：包括高温槽(1)、冷却槽(2)和排液装置(3)，所述高温槽(1)底面高度高于冷却槽(2)顶端，所述高温槽(1)和冷却槽(2)通过石英虹吸管(7)连接，所述石英虹吸管(7)靠近高温槽(1)的一端设有分支管(71)，所述分支管(71)另一端连接有抽真空装置，分支管(71)上还设有保护阀(5)，所述保护阀(5)位于抽真空装置与分支管(71)和石英虹吸管(7)连接处之间，所述分支管(71)和石英虹吸管(7)连接处还设有液体感应器(8)，所述排液装置(3)设于冷却槽(2)上。
2.如权利要求1所述的一种高温槽虹吸排液系统，其特征在于：所述抽真空装置为真空发生器(6)，所述真空发生器(6)负压口与分支管(71)连接，真空发生器(6)的进气口连有进气阀(4)。
3.如权利要求1所述的一种高温槽虹吸排液系统，其特征在于：所述排液装置(3)包括排液管，所述排液管上依次设有排液阀(31)和排液泵(32)。
4.如权利要求1所述的一种高温槽虹吸排液系统，其特征在于：所述冷却槽(2)侧壁设有螺旋状冷却管(21)。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及半导体晶元清洗技术领域，尤其涉及一种高温槽虹吸排液系统。
背景技术
在半导体行业中，通常需要利用酸液或碱液对晶元表面进行湿法刻蚀，比如常常需要在温度为300℃左右的条件下，采用硫酸和磷酸的混合酸液对晶元进行表面处理等。由于常见的氟塑料等材质制成的容器难以承受高温下酸液的侵蚀，因此往往需要采用耐腐蚀性强的石英材质的高温槽作为湿法刻蚀的工艺处理容器。当湿法刻蚀工艺进行完毕后，需要及时排出高温槽内的热化学废液，以防止对晶元的结构产生侵蚀破坏。现有的排液装置通常是设置于高温槽上，用于对其中的热化学废液进行排放，然而，采用上述方式不仅热化学废液的直接排放在操作上存在较大的危险系数，而且用于排放这些热化学废液的排液管道以及设于排液管道上的控制阀门和排液泵也须由石英材料制成，由此极大地限制了排液装置材质的适用范围。因此急需对现有的高温槽排液方式和结构进行改进。
实用新型内容
针对上述技术问题，本实用新型提供了一种高温槽虹吸排液系统，不仅有效提高了化学废液排放过程的操作安全性，而且扩大了部分部件的材料的适用范围，有效降低了使用成本。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种高温槽虹吸排液系统，包括高温槽、冷却槽和排液装置，所述高温槽底面高度高于冷却槽顶端，所述高温槽和冷却槽通过石英虹吸管连接，所述石英虹吸管靠近高温槽的一端设有分支管，所述分支管另一端连接有抽真空装置，分支管上还设有保护阀，所述保护阀位于抽真空装置与分支管和石英虹吸管连接处之间，所述分支管和石英虹吸管连接处还设有液体感应器，所述排液装置设于冷却槽上。
优选地，所述抽真空装置为真空发生器，所述真空发生器负压口与分支管连接，真空发生器的进气口连有进气阀。
优选地，所述排液装置包括排液管，所述排液管上依次设有排液阀和排液泵。
优选地，所述冷却槽侧壁设有螺旋状冷却管。
本实用新型具有的有益效果是：本实用新型在高温槽上设置石英虹吸管，在废液排放过程中，首先利用抽真空装置对高温槽内的热化学废液进行虹吸，将其及时引入冷却槽内，采用冷却槽对热化学废液进行充分冷却后通过排液装置排放，冷却效率高，且能够大大提升化学废液排放过程的操作安全性；此外，在本实用新型中，除高温槽和石英虹吸管须采用耐腐蚀性强的石英材料制成，其他部件均可以由氟塑料或其他材料进行替代，因此显著扩大了上述部件材料的适用范围，有效降低了使用成本；本实用新型适用范围广，安全系数高，实用性强，值得在本领域推广。
附图说明
图1为本实用新型实施例的结构示意图；
图中：1-高温槽，2-冷却槽，21-冷却管，3-排液装置，31-排液阀，32-排液泵，4-进气阀，5-保护阀，6-真空发生器，7-石英虹吸管，71-分支管，8-液体感应器。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述，本实用新型的实施方式包括但不限于下列实施例。
请参照图1，一种高温槽虹吸排液系统，包括高温槽1、冷却槽2和排液装置3，所述高温槽1底面高度高于冷却槽2顶端，高温槽1和冷却槽2分别与外界空气相通，所述高温槽1和冷却槽2通过石英虹吸管7连接，石英虹吸管7两端分别延伸至高温槽1和冷却槽2的底部，所述石英虹吸管7靠近高温槽1的一端设有分支管71，所述分支管71另一端连接有抽真空装置，分支管71上还设有保护阀5，所述保护阀5位于抽真空装置与分支管71和石英虹吸管7连接处之间，所述分支管71和石英虹吸管7连接处还设有液体感应器8，所述排液装置3设于冷却槽2上。
优选地，在本实施例中，所述抽真空装置为真空发生器6，所述真空发生器6负压口与分支管71连接，真空发生器6的进气口连有进气阀4。
优选地，所述排液装置3包括排液管，所述排液管上依次设有排液阀31和排液泵32。
优选地，所述冷却槽2侧壁设有螺旋状冷却管21，冷却管21内通有冷却水，以对冷却槽2内的化学废液进行冷却。
本实用新型的工作原理具体如下：
排液前，确保冷却槽2内部置有适量冷化学废液，且冷化学废液淹没石英虹吸管7的底端。排液时，打开进气阀4和保护阀5，压缩空气通过进气阀4进入真空发生器6，真空发生器6将石英虹吸管7内的部分空气抽取出来，使石英虹吸管7内部呈负压状态，高温槽1内的热化学废液被压入石英虹吸管7内；当液体感应器8检测到石英虹吸管7内部的热化学废液时，首先关闭保护阀5，然后依次关闭进气阀4和真空发生器6，使高温槽1内的热化学废液持续经过石英虹吸管7，不断引入冷却槽2内，热化学废液与冷却槽2中原有的冷化学废液混合进行快速冷却，并通过冷却槽2侧壁的冷却管21进一步冷却，充分提高冷却效率；当高温槽1内的热化学废液全部引出后，石英虹吸管7内部负压消失，虹吸过程自行停止；当冷却槽2内的化学废液充分冷却后，排液阀31打开，通过排液泵32将最终冷却的化学废液排出冷却槽2，由此大大提升了化学废液排放过程的操作安全性。
可以理解的，该排液系统还包括控制器，控制器用于分别控制连接进气阀4、保护阀5、真空发生器6、液体感应器8、排液阀31以及排液泵32。
可以理解的，本实用新型中，利用真空发生器6对高温槽1内的热化学废液进行虹吸，将高温槽1内的热化学废液通过石英虹吸管7引入冷却槽2内，在此过程中，由于保护阀5和真空发生器6设于石英虹吸管7上的分支管71上，热化学废液不会直接接触或经过任何阀门或真空发生器，因此保护阀5、真空发生器6以及进气阀4可以采用常规材料制成。
可以理解的，冷却槽2用于储存冷化学废液以及对热化学废液进行充分冷却，除了可以采用耐腐蚀性强的石英材质，还可以采用具有较好耐腐蚀性的其他材质，比如硼硅酸盐玻璃、金属钽等。
可以理解的，为了确保高温槽1内的热化学废液能够全部引入冷却槽2内，冷却槽2的容量应当大于高温槽1的容量。
可以理解的，液体感应器8的类型包括但不限于电容式液体感应器和光学式液体感应器。
可以理解的，除了采用真空发生器6，在其他实施例中，也可以采用真空泵等其他类型的抽真空装置进行替代。
可以理解的，通常来说冷却管21应该放置冷却槽2的内侧壁上效果最佳，在本实施例中，由于温度过高，常规管不能使用，故将冷却管21固定于冷却槽2的外侧壁上，具体固定方式包括但不限于螺钉固定、粘接或卡接等方式。粘连时采用导热硅胶，最大限度的带走热量。由于不受化学废液的侵蚀，冷却管21除了可以由石英材质制成，也可以采用氟塑料或其他材料制成。
通过大量的各种试验证明，本设计适用于高温槽内热化学液各种不同的液位高度的的情况，以及各种不同的处理温度范围。
上述实施例只为说明本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201822252985.3
申请日:2018-12-29
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209104124U
授权时间:20190712
主分类号:H01L 21/67
专利分类号:H01L21/67
范畴分类:38F;23E;
申请人:硅密（常州）电子设备有限公司
第一申请人:硅密（常州）电子设备有限公司
申请人地址:213031 江苏省常州市新北区新科路21号
发明人:卡尔·罗伯特·休斯特;李文书
第一发明人:卡尔·罗伯特·休斯特
当前权利人:硅密（常州）电子设备有限公司
代理人:张军
代理机构:11429
代理机构编号:北京中济纬天专利代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计