离子束抛光研究进展

论文摘要

介绍了一种新型材料表面处理技术——离子束抛光,阐述了离子束表面抛光的基本原理及国内外离子束抛光的发展。介绍了离子束抛光作为一种新型表面抛光方法在研究领域中的应用,并综述了近年来离子束抛光研究的发展动态,简述了国内外相关领域的主要研究成果及取得的进展,对离子束抛光技术做出了展望。

论文目录

• 1 离子束抛光的机理
• 2 离子束抛光的优点
• 3 离子束抛光的研究进展和应用实例
•   3.1 国外研究进展
•     （1）离子束溅射对抛光效果影响的研究
•     （2）原始试样表面粗糙度对离子束抛光效果影响的研究
•   3.2 国内研究进展
•     （1）离子束表面抛光工艺参数的研究
•     （2）离子束表面抛光的物理模型及数值模拟研究
•     （3）工件倾斜角度对离子束抛光效果影响的研究
• 4 展望
• 5 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王喜社,李新凯,谭袁迅,邓亦峭

关键词: 离子束,抛光,材料表面处理,发展

来源: 制造技术与机床 2019年10期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学

单位: 桂林电子科技大学机电综合工程训练国家级实验教学示范中心

基金: 国家自然科学基金项目:基于扫描电子束的新型抛光技术机理和数学建模研究(51665009)

分类号: TB306

DOI: 10.19287/j.cnki.1005-2402.2019.10.005

页码: 28-31

总页数: 4

文件大小: 488K

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