基板检查装置论文和设计-陆啸

全文摘要

一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。本实用新型的基板检查装置具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的基板的中心。

主设计要求

1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：基座(10)；固定台(20)，该固定台设置于基座；基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。

设计方案

1.一种基板检查装置，其特征在于，具有：

基座(10)；

固定台(20)，该固定台设置于基座；

基板支承框架(30)，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件(40)固定于所述固定台；

调节部(50)，该调节部设置在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，

在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的所述基板的中心。

2.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

在所述固定台(20)与所述基板支承框架(30)之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于所述基板支承框架的所述基板的中心的两侧分别设置有所述调节部。

3.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述调节部包括多个厚度不同的垫片。

4.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板支承框架具有楔形部，该楔形部具有相对于上下方向倾斜的朝向下方的倾斜面，

所述调节部包括楔形垫片，该楔形垫片具有与所述楔形部的倾斜面对应的相对于上下方向倾斜且朝向上方的倾斜面。

5.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述连接件是螺钉或螺栓，

所述基板支承框架具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔，

所述固定台具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔。

6.如权利要求1所述的基板检查装置，其特征在于，

所述连接件包括：

导柱，该导柱以沿上下方向延伸的方式设置于所述固定台，且具有沿所述导柱的长度方向排列的光滑杆部和螺纹杆部；以及

螺母，

所述基板支承框架具有通孔，所述导柱以使所述光滑杆部位于所述通孔内的方式贯穿所述通孔，

所述螺母与所述螺纹杆部螺合而将所述基板支承框架固定于所述固定台。

7.如权利要求2所述的基板检查装置，其特征在于，

所述基板呈矩形，

所述基板支承框架以所述矩形的一条边与所述第一方向平行的方式支承所述基板。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及基板检查装置，尤其涉及具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置。

背景技术

以往，在对基板进行短路、断路等电检查时，在基板检查装置中常常使用基板支承框架对基板进行支承。

在实际中，有时需要确保由基板支承框架支承的基板上的规定部位与基板检查装置中的其它部件精确对齐。

上述需求在基板较大且规定部位多时越发强烈，也就是说，在基板较大且规定部位多时，即使基板稍微偏离标准状态，基板上的某些规定部分也可能大幅偏离预先设定的标准位置，导致电检查等不能正确进行。

因此，在具有对基板进行支承的基板支承框架的基板检查装置中，如何能以简单的结构确保基板处于标准状态便成了亟待解决的问题。

实用新型内容

本实用新型是鉴于上述问题而完成的，其目的在于提供一种基板检查装置，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

为实现上述目的，本实用新型提供一种基板检查装置，其具有：基座；固定台，该固定台设置于基座；基板支承框架，该基板支承框架用于从下方支承基板，且通过连接件固定于所述固定台；调节部，该调节部设置在所述固定台与所述基板支承框架之间，以对所述基板支承框架的高度进行调节，在沿上下方向观察时，所述调节部偏离载置于所述基板支承框架的基板的中心。

根据本实用新型的基板检查装置，在固定台与基板支承框架之间，在沿上下方向观察时偏离载置于基板支承框架的基板的中心的位置设置有对基板支承框架的高度进行调节的调节部，因此，当载置于基板支承框架的基板相对于水平面不平行时，通过松开连接件并利用调节部对基板支承框架的高度进行调节(例如将基板支承框架的原本高度较低的部分调高)，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选在所述固定台与所述基板支承框架之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于所述基板支承框架的基板的中心的两侧分别设置有所述调节部。

根据本实用新型的基板检查装置，能更方便地将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态，例如，若基板支承框架的在第一方向上的一侧的部分的位置较低，则可利用调节部将该部位的位置调高，以使由基板支承框架支承的基板成为水平状态，另一方面，若基板支承框架的在第一方向上的另一侧的部分的位置较低，则可利用调节部将该部位的位置调高，以使由基板支承框架支承的基板成为水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述调节部包括多个厚度不同的垫片。

根据本实用新型的基板检查装置，调节部结构简单，有助于降低制造成本。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述基板支承框架具有楔形部，该楔形部具有相对于上下方向倾斜的朝向下方的倾斜面，所述调节部包括楔形垫片，该楔形垫片具有与所述楔形部的倾斜面对应的相对于上下方向倾斜且朝向上方的倾斜面。

根据本实用新型的基板检查装置，通过使楔形垫片相对于楔形部移动，能方便地实现基板支承框架的设置有调节部的部分在上下方向上的位置的无级调节，因此，容易将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述连接件是螺钉或螺栓，所述基板支承框架具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔，所述固定台具有与所述螺钉或螺栓螺合的螺孔。

根据本实用新型的基板检查装置，连接件的结构简单，有助于降低制造成本。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述连接件包括：导柱，该导柱以沿上下方向延伸的方式设置于所述固定台，且具有沿所述导柱的长度方向排列的光滑杆部和螺纹杆部；以及螺母，所述基板支承框架具有通孔，所述导柱以使所述光滑杆部位于所述通孔内的方式贯穿所述通孔，所述螺母与所述螺纹杆部螺合而将所述基板支承框架固定于所述固定台。

根据本实用新型的基板检查装置，与使用螺钉或螺栓等作为连接件的情况相比，在进行基板支承框架的高度调节时，能利用导柱始终对基板支承框架进行限制和引导，因此，能省去对基板支承框架相对于固定台重新定位的步骤，有助于简化基板支承框架的高度调节作业。

在本实用新型的基板检查装置中，优选所述基板呈矩形，所述基板支承框架以所述矩形的一条边与所述第一方向平行的方式支承基板。

(实用新型效果)

根据本实用新型，在固定台与基板支承框架之间，在沿上下方向观察时偏离载置于基板支承框架的基板的中心的位置设置有对基板支承框架的高度进行调节的调节部，因此，当载置于基板支承框架的基板相对于水平面不平行时，通过松开连接件并利用调节部对基板支承框架的高度进行调节(例如将基板支承框架的原本高度较低的部分调高)，有助于将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

附图说明

图1是示意表示本实用新型实施方式的基板检查装置的整体结构的局部侧剖视图。

图2是示意表示本实用新型实施方式的基板检查装置的整体结构的立体图，其中，用虚线示出了检查对象。

图3是示意表示本实用新型的一变形例的基板检查装置的整体结构的侧视图。

图4是示意表示本实用新型的另一变形例的基板检查装置的整体结构的侧视图。

(符号说明)

1 基板检查装置

10 基座

20、20B 固定台

21 螺孔

30、30A、30B 基板支承框架

31 螺孔

31B 通孔

32A 楔形部

40、40B 连接件

41B 导柱

411B 光滑杆部

412B 螺纹杆部

42B 螺母

50、50A、50B 调节部

OB 基板

CC 中心

具体实施方式

下面，结合图1和图2对本实用新型实施方式的基板检查装置进行说明，其中，图1是示意表示本实用新型实施方式的基板检查装置的整体结构的局部侧剖视图，图2是示意表示本实用新型实施方式的基板检查装置的整体结构的立体图，其中，用虚线示出了检查对象。

此处，为方便说明，将相互正交的三个方向设为X方向、Y方向和Z方向，并将Z方向上的一侧设为Z1，将Z方向上的另一侧设为Z2，其中，X方向和Y方向对应于水平方向，Z方向对应于上下方向，Z1方向对应于上方，Z2方向对应于下方。

如图1和图2所示，基板检查装置1具有：基座10；固定台20，该固定台20设置于基座10；基板支承框架30，该基板支承框架30用于从下方支承基板OB，且通过连接件40固定于固定台20；调节部50，该调节部50设置在固定台20与基板支承框架30之间，以对基板支承框架30的高度进行调节，在沿上下方向观察时，调节部50偏离载置于基板支承框架30的基板OB的中心CC(例如基板的重心、几何中心等)。

此外，在固定台20与基板支承框架30之间，在与上下方向垂直的第一方向(此处是X方向)上，在载置于基板支承框架30的基板OB的中心CC的两侧分别设置有调节部50。

此外，如图2所示，基板支承框架30呈矩形，同样地，基板OB也呈矩形，基板支承框架30以上述矩形的一条边与第一方向平行的方式支承基板60；并且，在第一方向上，在过基板OB的中心CC且沿与上下方向和第一方向垂直的第二方向(此处是Y方向)延伸的直线的两侧分别设置有调节部50。

此外，虽未图示，但优选基板支承框架30具有限位部，以便在第一方向以及与上下方向和第一方向垂直的第二方向上对基板OB进行限位。作为限位部的具体示例，例如可在基板支承框架30上围绕基板OB设置凸缘，藉此，能方便地在第一方向和第二方向上相对于基板支承框架30对基板OB进行定位。并且，更为优选的是，在上述凸缘的内周侧设置倒角，藉此，能更为方便地将基板OB定位于基板支承框架30。

此外，在图示的例子中，基座10和固定台20分别呈立方体状，但并不局限于此，基座10和固定台20的形状可根据需要适当变更。

此处，连接件40是螺钉或螺栓，并且，基板支承框架30具有与上述螺钉或螺栓螺合的螺孔31，固定台20也具有与上述螺钉或螺栓螺合的螺孔21，并且，连接件40的数量和设置位置不受限定，只要能将基板支承框架30稳定地固定于固定台20即可。

此外，调节部50例如包括多个厚度不同的垫片，其既可以是圆形、方形的垫片，也可以是环形垫片，还可以是开口环形的垫片。

下面，对利用本实施方式的基板检查装置1对基板OB的水平调节的一例进行说明。

此处，假设支承于基板支承框架30的基板OB的第一方向上的一侧的部分略低。

为了将基板OB调节成水平状态，例如，首先将作为连接件40的螺钉或螺栓从固定台20、基板支承框架30拆下。

接着，在基板支承框架30的第一方向上的一侧(例如基板支承框架30的第一方向上的一侧的边缘附近)，将调节部50所包括的规定厚度的一个或多个垫片放置在固定台20上。

然后，将基板支承框架30搁在垫片上，并利用作为连接件40的螺钉或螺栓将基板支承框架30固定于固定台20。

若通过上述操作，支承于基板支承框架30的基板OB仍未处于水平状态，则再次进行上述操作，在固定台20与基板支承框架30之间设置不同厚度的垫片，或者设置多个垫片。

通过反复进行上述操作，直至将支承于基板支承框架30的基板OB调节至水平状态。

根据本实施方式的基板检查装置1，在固定台20与基板支承框架30之间，在沿上下方向观察时偏离载置于基板支承框架30的基板OB的中心CC的位置设置有对基板支承框架30的高度进行调节的调节部50，因此，当载置于基板支承框架30的基板OB相对于水平面不平行时，通过拆下或松开连接件40并利用调节部50对基板支承框架30的高度进行调节(例如将基板支承框架30的原本高度较低的部分调高)，有助于将由基板支承框架30支承的基板OB调整成水平状态。

此外，根据本实施方式的基板检查装置1，在固定台20与基板支承框架30之间，在与上下方向垂直的第一方向上，在载置于基板支承框架30的基板OB的中心CC的两侧分别设置有调节部50，因此，能更方便地将由基板支承框架支承30的基板OB调整成水平状态，例如，若基板支承框架30的在第一方向上的一侧的部分的位置较低，则可利用调节部50将该部位的位置调高，以使由基板支承框架30支承的基板OB成为水平状态，另一方面，若基板支承框架30的在第一方向上的另一侧的部分的位置较低，则可利用调节部50将该部位的位置调高，以使由基板支承框架30支承的基板OB成为水平状态。

此外，根据本实施方式的基板检查装置1，调节部50包括多个厚度不同的垫片，因此，调节部结构简单，有助于降低制造成本。

此外，根据本实施方式的基板检查装置1，连接件40是螺钉或螺栓，固定台20和基板支承框架30分别具有与上述螺钉或螺栓螺合的螺孔，因此，连接件的结构简单，有助于降低制造成本。

上面结合附图对本实用新型进行了示例性描述，显然本实用新型的具体实现并不受上述实施方式的限制。

例如，在上述实施方式中，调节部50包括多个厚度不同的垫片，但并不局限于此，如图3所示，也可采用以下结构：基板支承框架30A具有楔形部32A，该楔形部32A具有相对于上下方向倾斜的朝向下方的倾斜面321A，调节部50A包括楔形垫片，该楔形垫片具有与楔形部32A的倾斜面对应的相对于上下方向倾斜且朝向上方的倾斜面。

在采用上述结构时，通过使楔形垫片相对于楔形部32A沿水平方向上的第二方向移动移动，能方便地实现基板支承框架30A的设置有调节部50A的部分在上下方向上的位置的无级调节，因此，容易将由基板支承框架支承的基板调整成水平状态。

此外，在上述实施方式中，也可采用以下结构：如图4所示，连接件40B包括：导柱41B，该导柱41B以沿上下方向延伸的方式设置于固定台20B，且具有沿导柱41B的长度方向(即上下方向)排列的光滑杆部411B和螺纹杆部412B；以及螺母42B，基板支承框架30B具有通孔31B，导柱41B以使光滑杆部411B位于通孔31B内的方式贯穿通孔31B，螺母42B与螺纹杆部412B螺合而将基板支承框架30B固定于固定台20B。此处，作为调节部50B，与上述实施方式相同，可包括多个厚度不同的垫片，当然，并不局限于此，也可将图3所示的楔形结构应用于图4所示的结构。

在采用上述结构时，与使用螺钉或螺栓等作为连接件的情况相比，在进行基板支承框架30B的高度调节时，能利用导柱41B始终对基板支承框架30B进行限制和引导，因此，能省去对基板支承框架30B相对于固定台20B重新定位的步骤，有助于简化基板支承框架30B的高度调节作业。

设计图

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