论文摘要
采用直流磁控溅射方法,保持氩气流量不变,控制氮气的体积分数为10%,12.5%,15%,分别用Si(100)单晶和SrTiO3(100)单晶基片制备Fe-N薄膜.用X射线衍射(XRD)和振动样品磁强计(VSM)等方法对两种不同基片生长Fe-N薄膜的结构及磁学性能进行表征.结果表明:在SrTiO3(100)单晶基片上得到了单相γ′-Fe4N薄膜,与Si(100)基片上的样品相比,SrTiO3(100)更有利于诱导γ′-Fe4N薄膜的取向性生长;当氮气的体积分数约为12.5%时,制备单相γ′-Fe4N薄膜的晶粒结晶度较好,且饱和磁化强度较高,矫顽力比Si(100)为基片获得的Fe-N薄膜样品低,软磁性能较好.
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘伟达,陈蕊,王丽丽,李宏广,安涛,张东辉,徐士翀
关键词: 薄膜,基片,微观结构,磁学性能
来源: 吉林大学学报(理学版) 2019年01期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑
专业: 材料科学,工业通用技术及设备
单位: 长春大学理学院,核工业工程研究设计有限公司,吉林师范大学功能材料物理与化学教育部重点实验室
基金: 国家自然科学基金(批准号:51302019),吉林省科技厅优秀青年基金(批准号:20180520222JH),吉林省产业技术研究与开发项目(批准号:2018C043-3,2017C052-3),吉林省教育厅“十三五”科学技术研究项目(批准号:JJKH20191195KJ)
分类号: TB383.2
DOI: 10.13413/j.cnki.jdxblxb.2018004
页码: 156-159
总页数: 4
文件大小: 573K
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