导读:本文包含了溅射靶材论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:磁控溅射,合金,面板,材料,集成电路,半导体,格局。
溅射靶材论文文献综述
记者,林丽娟,杨敬贺,魏怡兰[1]（2019）在《产品填补国内电子材料行业空白》一文中研究指出惠州日报讯 （记者林丽娟 杨敬贺 魏怡兰）12月20日上午，广东江丰电子材料有限公司溅射靶材及设备关键部件项目在仲恺高新区东江高新科技产业园开工。据介绍，江丰电子作为半导体靶材领军企业，注重创新和研发，其生产的超高纯金属溅射靶材填补了国内电子材料(本文来源于《惠州日报》期刊2019-12-23）
王一鸣[2]（2019）在《江丰电子停牌筹划重组 拟收购溅射靶材同行》一文中研究指出8月5日晚间，江丰电子(300666)发布公告称，公司正在筹划发行股份及支付现金购买Silverac Stella（Cayman）Limited（下称“标的公司”）100%股权。本次交易预计构成重大资产重组，亦构成关联交易。据披露，上述标的公司(本文来源于《证券时报》期刊2019-08-06）
沈春蕾[3]（2019）在《“用户认可不逊于实验室新发现”》一文中研究指出“听说北京冬奥会国家速滑馆‘冰丝带’Low-E幕墙玻璃生产使用了我们的靶材？”“是的。‘冰丝带’项目最大难点在于同时满足可见光的高透性和好的热加工性能，我们特制的双银可钢的Low-E玻璃用了你们的靶材达到了上述的效果。Low-E玻璃表面的镀膜层(本文来源于《中国科学报》期刊2019-06-06）
谭志龙,陈家林,闻明,王传军,郭俊梅[4]（2019）在《电子行业用高纯金溅射靶材研究综述》一文中研究指出围绕半导体集成电路产业的需求,综述高纯金提纯中杂质元素的控制,制备工艺中的金靶材结构设计、微结构调控技术及靶材与背板焊接绑定等技术的研究现状。提出通过行业协调修订相关产品标准,结合溅射设备完善靶材的结构设计,开展靶材微结构调控进行金薄膜与靶材结构的关联性研究,拓展高纯金靶材的绑定技术等研究方向。(本文来源于《贵金属》期刊2019年02期）
王晖,夏明星,李延超,刘啸锋,蔡小梅[5]（2019）在《难熔金属溅射靶材的应用及制备技术》一文中研究指出应用于微电子、集成电路、光伏电池、平面显示器、装饰镀膜玻璃等行业的溅射靶材需求量逐年增大,这些行业对溅射用难熔金属靶材的纯度、致密度、尺寸精度、微观组织、结晶取向等性能提出了更高的要求。综述了磁控溅射用W、Mo、Ta、Nb靶材的主要应用研发生产单位和制备技术,介绍了靶材组织、纯度等因素对薄膜性质的影响。(本文来源于《中国钨业》期刊2019年01期）
陈艳芳,谢敬佩,王爱琴,马窦琴,杨康[6]（2018）在《钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势》一文中研究指出钼及钼合金具有熔点高、导电导热性好、热膨胀系数低、耐腐蚀性能好及环境友好等优点,利用钼及钼合金加工制备的溅射靶材已广泛应用于电子电器、太阳能电池及玻璃镀膜等领域。本文介绍了对钼及钼合金溅射靶材的基本要求及制备方法,系统综述了目前国内外对钼、钼钛、钼钠、钼铌合金靶材的研究现状,并对钼及钼合金溅射靶材未来的发展趋势进行了展望。(本文来源于《粉末冶金技术》期刊2018年05期）
张卫刚,李媛媛,孙旭东,王鹏,闫文娟[7]（2018）在《平板显示行业用金属溅射靶材的市场需求分析》一文中研究指出薄膜晶体管液晶显示面板(TFT-LCD)是当前的主流平面显示技术,而金属溅射靶材是制造TFT-LCD过程中最关键的材料之一。目前,国内主流的8.5代液晶显示面板生产线所使用的金属溅射靶材,以铝、铜、钼和钼铌合金等四种靶材的需求量最大,且每套包含12块条靶,每块条靶的尺寸约为:2650 mm×210 mm×18 mm。其中,铝靶和铜靶主要被爱发科电子材料有限公司等日资企业主导,钼条靶正在被国内的洛阳高新四丰电子材料有限公司等企业全面替代,钼铌合金主要被日本日立金属和德国世泰科所垄断。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2018年09期）
张卫刚,李媛媛,孙旭东,王鹏,闫文娟[8]（2018）在《半导体芯片行业用金属溅射靶材市场分析》一文中研究指出本文首先介绍了半导体芯片行业用金属溅射靶材的应用背景、溅射原理以及靶材分类,随后对各种溅射靶材的特性和应用进行了详细描述,然后对国内外主要的7家半导体芯片用溅射靶材生产企业的行业地位、发展现状、优势产品及其市场份额进行了全面分析,最后,还对半导体芯片溅射靶材合格供应商的认证过程特点进行了深入分析和总结。(本文来源于《世界有色金属》期刊2018年10期）
刘树峰,刘思德[9]（2018）在《等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用》一文中研究指出近年来,随着全球经济技术的高速发展,产品的多功能化和轻便化的不断推进,使得薄膜科学的应用日益广泛。而溅射靶材作为镀膜产业的基本耗材,其制备技术也得到了长足发展。溅射薄膜由于其致密度高,附着性好,被广泛应用于装饰、玻璃、电子器件、光学器件、半导体、磁记录、平面显示屏、太阳能电池、飞机叶片防护涂层等众多领域。随着上述领域的快速发展,对靶材的需求量急剧增加,同时对靶材的高质量、大型化及(本文来源于《稀土信息》期刊2018年04期）
燕翙江,张建新,卜丽静,朱朝刚,杨勇[10]（2018）在《溅射靶材绑定用Sn-Zn-In-Bi-Al焊料合金的组织与性能》一文中研究指出采用微合金化方法制备了Sn-7.0Zn-xIn-3.8Bi-0.2Al(x=0,4.5,5.0,5.5)4种焊料合金,研究了铟含量对焊料合金显微组织、熔点、润湿性、导电性、导热性等的影响,并与传统纯铟、纯锡焊料进行了对比。结果表明:焊料合金主要由β-锡相和富锌相组成;随着铟含量的升高,合金的熔点逐渐降低,润湿性、导电性、导热性逐渐增强;Sn-7.0Zn-5.0In-3.8Bi-0.2Al合金的熔点、润湿性均优于纯锡焊料的,且接近纯铟焊料的,电阻率、热导率均接近纯锡焊料的,该焊料合金为合适的溅射靶材绑定用焊料合金。(本文来源于《机械工程材料》期刊2018年01期）
溅射靶材论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
8月5日晚间，江丰电子(300666)发布公告称，公司正在筹划发行股份及支付现金购买Silverac Stella（Cayman）Limited（下称“标的公司”）100%股权。本次交易预计构成重大资产重组，亦构成关联交易。据披露，上述标的公司
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
溅射靶材论文参考文献
[1].记者,林丽娟,杨敬贺,魏怡兰.产品填补国内电子材料行业空白[N].惠州日报.2019
[2].王一鸣.江丰电子停牌筹划重组拟收购溅射靶材同行[N].证券时报.2019
[3].沈春蕾.“用户认可不逊于实验室新发现”[N].中国科学报.2019
[4].谭志龙,陈家林,闻明,王传军,郭俊梅.电子行业用高纯金溅射靶材研究综述[J].贵金属.2019
[5].王晖,夏明星,李延超,刘啸锋,蔡小梅.难熔金属溅射靶材的应用及制备技术[J].中国钨业.2019
[6].陈艳芳,谢敬佩,王爱琴,马窦琴,杨康.钼及钼合金溅射靶材的研究现状与发展趋势[J].粉末冶金技术.2018
[7].张卫刚,李媛媛,孙旭东,王鹏,闫文娟.平板显示行业用金属溅射靶材的市场需求分析[J].真空科学与技术学报.2018
[8].张卫刚,李媛媛,孙旭东,王鹏,闫文娟.半导体芯片行业用金属溅射靶材市场分析[J].世界有色金属.2018
[9].刘树峰,刘思德.等离子喷涂技术在溅射靶材制备中的应用[J].稀土信息.2018
[10].燕翙江,张建新,卜丽静,朱朝刚,杨勇.溅射靶材绑定用Sn-Zn-In-Bi-Al焊料合金的组织与性能[J].机械工程材料.2018
论文知识图
