全文摘要
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种SMT晶圆固定装置，解决现有技术中存在的晶圆位置容易发生偏移的缺点，包括操作台，所述操作台上设有腔室，所述腔室的底部内壁上固定安装有气泵，所述气泵的出气口处密封螺纹连接有双头阀，所述双头阀的两个出口处均密封螺纹连接有箱体，所述箱体上设有空腔，所述空腔内密封滑动连接有活塞，所述活塞的一侧固定安装有推杆，所述推杆远离活塞的一端贯穿空腔并延伸至箱体的一侧。本实用新型结构简单，操作便捷，利用两个L形夹块将晶圆本体固定住，晶圆本体上不会有残留物，不影响后续的操作，两个L形夹块可以紧紧夹住晶圆本体，使晶圆本体的位置不发生偏移，提高了加工效率。
主设计要求
1.SMT晶圆固定装置，包括操作台(1)，其特征在于，所述操作台(1)上设有腔室(2)，所述腔室(2)的底部内壁上固定安装有气泵(3)，所述气泵(3)的出气口处密封螺纹连接有双头阀(4)，所述双头阀(4)的两个出口处均密封螺纹连接有箱体(6)，所述箱体(6)上设有空腔(7)，所述空腔(7)内密封滑动连接有活塞(8)，所述活塞(8)的一侧固定安装有推杆(10)，所述推杆(10)远离活塞(8)的一端贯穿空腔(7)并延伸至箱体(6)的一侧，所述推杆(10)的一端固定安装有齿条(11)，所述腔室(2)的底部内壁上转动安装有竖轴(12)，所述竖轴(12)上固定套设有齿轮(13)，所述齿轮(13)和齿条(11)相啮合，所述竖轴(12)的顶部贯穿腔室(2)并延伸至操作台(1)的上方，所述竖轴(12)的顶部固定套设有第一伞齿轮(16)，所述操作台(1)的顶部转动安装横轴(17)，所述横轴(17)上固定套设有第二伞齿轮(18)，且第二伞齿轮(18)和第一伞齿轮(16)相啮合，所述横轴(17)上固定安装有L形夹块(19)，所述操作台(1)的顶部固定安装有基板(21)，所述基板(21)的顶部放置有晶圆本体(22)，两个L形夹块(19)的底部分别和晶圆本体(22)的底部紧密贴合。
设计方案
1.SMT晶圆固定装置，包括操作台(1)，其特征在于，所述操作台(1)上设有腔室(2)，所述腔室(2)的底部内壁上固定安装有气泵(3)，所述气泵(3)的出气口处密封螺纹连接有双头阀(4)，所述双头阀(4)的两个出口处均密封螺纹连接有箱体(6)，所述箱体(6)上设有空腔(7)，所述空腔(7)内密封滑动连接有活塞(8)，所述活塞(8)的一侧固定安装有推杆(10)，所述推杆(10)远离活塞(8)的一端贯穿空腔(7)并延伸至箱体(6)的一侧，所述推杆(10)的一端固定安装有齿条(11)，所述腔室(2)的底部内壁上转动安装有竖轴(12)，所述竖轴(12)上固定套设有齿轮(13)，所述齿轮(13)和齿条(11)相啮合，所述竖轴(12)的顶部贯穿腔室(2)并延伸至操作台(1)的上方，所述竖轴(12)的顶部固定套设有第一伞齿轮(16)，所述操作台(1)的顶部转动安装横轴(17)，所述横轴(17)上固定套设有第二伞齿轮(18)，且第二伞齿轮(18)和第一伞齿轮(16)相啮合，所述横轴(17)上固定安装有L形夹块(19)，所述操作台(1)的顶部固定安装有基板(21)，所述基板(21)的顶部放置有晶圆本体(22)，两个L形夹块(19)的底部分别和晶圆本体(22)的底部紧密贴合。
2.根据权利要求1所述的SMT晶圆固定装置，其特征在于，所述双头阀(4)的两个出口处均密封螺纹连接有气管(5)，两个气管(5)相互远离的一端分别和两个箱体(6)密封螺纹连接。
3.根据权利要求1所述的SMT晶圆固定装置，其特征在于，所述腔室(2)的底部内壁上固定安装有挡板(14)，所述挡板(14)的一侧和齿条(11)的一侧紧密贴合。
4.根据权利要求1所述的SMT晶圆固定装置，其特征在于，所述操作台(1)的顶部固定安装有对称设置的两个固定杆(15)，两个固定杆(15)均和横轴(17)转动连接，所述操作台(1)通过两个固定杆(15)和横轴(17)转动。
5.根据权利要求1所述的SMT晶圆固定装置，其特征在于，两个L形夹块(19)的一侧均转动安装有限位杆(20)，两个限位杆(20)的顶部均和操作台(1)的顶部滑动连接，所述操作台(1)的顶部固定安装有对称设置的两个第一限位块和两个第二限位块，两个限位杆(20)相互靠近的一侧分别和两个第一限位块紧密贴合。
6.根据权利要求1所述的SMT晶圆固定装置，其特征在于，两个L形夹块(19)的底部均固定安装有保护垫，两个保护垫的底部均和晶圆本体(22)的顶部紧密贴合。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种SMT晶圆固定装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品。
现在使用的晶圆固定是通过二次锡膏层粘贴在基板上，操作完成后晶圆上会残留粘贴物，影响后续操作，且用粘贴的方式固定不稳定，晶圆位置容易发生偏移，影响加工效率，所以我们提出了一种SMT晶圆固定装置，用以解决上述提出的问题。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的晶圆位置容易发生偏移的缺点，而提出的SMT晶圆固定装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
SMT晶圆固定装置，包括操作台，所述操作台上设有腔室，所述腔室的底部内壁上固定安装有气泵，所述气泵的出气口处密封螺纹连接有双头阀，所述双头阀的两个出口处均密封螺纹连接有箱体，所述箱体上设有空腔，所述空腔内密封滑动连接有活塞，所述活塞的一侧固定安装有推杆，所述推杆远离活塞的一端贯穿空腔并延伸至箱体的一侧，所述推杆的一端固定安装有齿条，所述腔室的底部内壁上转动安装有竖轴，所述竖轴上固定套设有齿轮，所述齿轮和齿条相啮合，所述竖轴的顶部贯穿腔室并延伸至操作台的上方，所述竖轴的顶部固定套设有第一伞齿轮，所述操作台的顶部转动安装横轴，所述横轴上固定套设有第二伞齿轮，且第二伞齿轮和第一伞齿轮相啮合，所述横轴上固定安装有L形夹块，所述操作台的顶部固定安装有基板，所述基板的顶部放置有晶圆本体，两个L形夹块的底部分别和晶圆本体的底部紧密贴合。
优选的，所述双头阀的两个出口处均密封螺纹连接有气管，两个气管相互远离的一端分别和两个箱体密封螺纹连接。
优选的，所述腔室的底部内壁上固定安装有挡板，所述挡板的一侧和齿条的一侧紧密贴合。
优选的，所述操作台的顶部固定安装有对称设置的两个固定杆，两个固定杆均和横轴转动连接，所述操作台通过两个固定杆和横轴转动。
优选的，两个L形夹块的一侧均转动安装有限位杆，两个限位杆的顶部均和操作台的顶部滑动连接，所述操作台的顶部固定安装有对称设置的两个第一限位块和两个第二限位块，两个限位杆相互靠近的一侧分别和两个第一限位块紧密贴合。
优选的，两个L形夹块的底部均固定安装有保护垫，两个保护垫的底部均和晶圆本体的顶部紧密贴合。
本实用新型的有益效果是：1、需要使用该装置本体进行晶圆本体的固定时，启动气泵，两个气管内充满气体，进而使靠近气管一侧的空腔内的压强增大，推动两个活塞向相互远离的一侧进行横向移动，使两个推杆推动两个齿条向相互远离的一侧进行横向移动，进而使两个齿轮进行转动，齿轮转动带动第一伞齿轮进行转动，进而使两个第二伞齿轮和两个横轴进行转动，两个横轴转动使两个L形夹块向相互靠近的一侧进行弧线运动，当齿条和挡板接触时，两个L形夹块的底部刚好和晶圆本体的顶部紧密贴合，晶圆本体被固定住。
2、本实用新型结构简单，操作便捷，利用两个L形夹块将晶圆本体固定住，晶圆本体上不会有残留物，不影响后续的操作，两个L形夹块可以紧紧夹住晶圆本体，使晶圆本体的位置不发生偏移，提高了加工效率。
附图说明
图1为本实用新型提出的SMT晶圆固定装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的SMT晶圆固定装置的A结构放大示意图；
图3为本实用新型提出的SMT晶圆固定装置的B结构放大示意图。
图中：1操作台、2腔室、3气泵、4双头阀、5气管、6箱体、7空腔、8活塞、9弹簧、10推杆、11齿条、12竖轴、13齿轮、14挡板、15固定杆、16第一伞齿轮、17横轴、18第二伞齿轮、19 L形夹块、20限位杆、21基板、22晶圆本体。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-3，SMT晶圆固定装置，包括操作台1，操作台1上设有腔室2，腔室2的底部内壁上固定安装有气泵3，气泵3的出气口处密封螺纹连接有双头阀4，双头阀4的两个出口处均密封螺纹连接有箱体6，箱体6上设有空腔7，空腔7内密封滑动连接有活塞8，活塞8的一侧固定安装有推杆10，推杆10远离活塞8的一端贯穿空腔7并延伸至箱体6的一侧，推杆10的一端固定安装有齿条11，腔室2的底部内壁上转动安装有竖轴12，竖轴12上固定套设有齿轮13，齿轮13和齿条11相啮合，竖轴12的顶部贯穿腔室2并延伸至操作台1的上方，竖轴12的顶部固定套设有第一伞齿轮16，操作台1的顶部转动安装横轴17，横轴17上固定套设有第二伞齿轮18，且第二伞齿轮18和第一伞齿轮16相啮合，横轴17上固定安装有L形夹块19，操作台1的顶部固定安装有基板21，基板21的顶部放置有晶圆本体22，两个L形夹块19的底部分别和晶圆本体22的底部紧密贴合，需要使用该装置本体进行晶圆本体22的固定时，启动气泵3，两个气管5内充满气体，进而使靠近气管5一侧的空腔7内的压强增大，推动两个活塞8向相互远离的一侧进行横向移动，使两个推杆10推动两个齿条11向相互远离的一侧进行横向移动，进而使两个齿轮13进行转动，齿轮13转动带动第一伞齿轮16进行转动，进而使两个第二伞齿轮18和两个横轴17进行转动，两个横轴17转动使两个L形夹块19向相互靠近的一侧进行弧线运动，当齿条11和挡板14接触时，两个L形夹块19的底部刚好和晶圆本体22的顶部紧密贴合，晶圆本体22被固定住，本实用新型结构简单，操作便捷，利用两个L形夹块19将晶圆本体22固定住，晶圆本体22上不会有残留物，不影响后续的操作，两个L形夹块19可以紧紧夹住晶圆本体22，使晶圆本体22的位置不发生偏移，提高了加工效率。
本实施例中，双头阀4的两个出口处均密封螺纹连接有气管5，两个气管5相互远离的一端分别和两个箱体6密封螺纹连接，腔室2的底部内壁上固定安装有挡板14，挡板14的一侧和齿条11的一侧紧密贴合，操作台1的顶部固定安装有对称设置的两个固定杆15，两个固定杆15均和横轴17转动连接，操作台1通过两个固定杆15和横轴17转动，两个L形夹块19的一侧均转动安装有限位杆20，两个限位杆20的顶部均和操作台1的顶部滑动连接，操作台1的顶部固定安装有对称设置的两个第一限位块和两个第二限位块，两个限位杆20相互靠近的一侧分别和两个第一限位块紧密贴合，两个L形夹块19的底部均固定安装有保护垫，两个保护垫的底部均和晶圆本体22的顶部紧密贴合，需要使用该装置本体进行晶圆本体22的固定时，启动气泵3，两个气管5内充满气体，进而使靠近气管5一侧的空腔7内的压强增大，推动两个活塞8向相互远离的一侧进行横向移动，使两个推杆10推动两个齿条11向相互远离的一侧进行横向移动，进而使两个齿轮13进行转动，齿轮13转动带动第一伞齿轮16进行转动，进而使两个第二伞齿轮18和两个横轴17进行转动，两个横轴17转动使两个L形夹块19向相互靠近的一侧进行弧线运动，当齿条11和挡板14接触时，两个L形夹块19的底部刚好和晶圆本体22的顶部紧密贴合，晶圆本体22被固定住，本实用新型结构简单，操作便捷，利用两个L形夹块19将晶圆本体22固定住，晶圆本体22上不会有残留物，不影响后续的操作，两个L形夹块19可以紧紧夹住晶圆本体22，使晶圆本体22的位置不发生偏移，提高了加工效率。
工作远离：需要使用该装置本体进行晶圆本体22的固定时，启动气泵3，两个气管5内充满气体，进而使靠近气管5一侧的空腔7内的压强增大，推动两个活塞8向相互远离的一侧进行横向移动，两个推杆10推动两个齿条11向相互远离的一侧进行横向移动，由于齿条11和齿轮13相啮合，从而两个齿轮13会进行转动，两个齿轮13转动使两个第一伞齿轮16进行转动，由于第一伞齿轮16和第二伞齿轮18相啮合，从而两个第二伞齿轮18和两个横轴17会进行转动，两个横轴17转动使两个L形夹块19向相互靠近的一侧进行弧线运动，当齿条11和挡板14接触时，两个L形夹块19的底部刚好和晶圆本体22的顶部紧密贴合，晶圆本体22被固定住，两个L形夹块19底部的护垫保护晶圆本体22不会损坏，晶圆本体22上不会有残留物，不影响后续的操作，两个L形夹块19可以紧紧夹住晶圆本体22，使晶圆本体22的位置不发生偏移，提高了加工效率。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920024155.7
申请日:2019-01-07
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:32(江苏)
授权编号:CN209298092U
授权时间:20190823
主分类号:H01L 21/683
专利分类号:H01L21/683;H01L21/687
范畴分类:38F;23E;
申请人:昆山信方达电子有限公司
第一申请人:昆山信方达电子有限公司
申请人地址:215300 江苏省苏州市昆山市周市镇东辉路105号
发明人:孟庆松;陈书洋;高伟
第一发明人:孟庆松
当前权利人:昆山信方达电子有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计