影响大尺寸ITO靶材冷压质量的因素

论文摘要

对冷压大尺寸ITO靶材毛坯出现的靶材质量问题进行详细分析。实验表明:选用质量比为9∶1的In2O3与SnO2粉末。将粉末配成固含量65%的溶液,添加ITO粉末质量的2%～3%的PVA粘结剂及2.5%的分散剂（活性剂）及稳定剂等,通过球磨,喷雾制粉,使粉末的含水量达到6%,过150目筛的粉末。采用改进模具、分段加压的冷压工艺,在冷压压力50～60MPa下,冷压大尺寸ITO靶材,可有效消除靶材毛坯掉边、分层及断裂等质量问题。

论文目录

• 1 冷压质量问题及原因分析
•   1.1 主要冷压质量问题
•   1.2 原因分析
• 2 实验
• 3 结果与讨论
•   3.1 压力对靶材质量的影响
•   3.2 粘结剂对靶材质量的影响
•   3.3 含水量对靶材质量的影响
•   3.4 其它因素对靶材质量的影响
•     3.4.1 模具对靶材质量的影响
•     3.4.2 冷压工艺对靶材质量的影响
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 杨小林,扈百直,刘秉宁,李正飞,马肖

关键词: 靶材,冷压,缺陷,粉末冶金

来源: 云南冶金 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺

单位: 西北稀有金属材料研究院宁夏有限公司,稀有金属特种材料国家重点实验室

分类号: TG386

页码: 61-65

总页数: 5

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