柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究

柔性PZT外延薄膜制备及其电学性能研究

论文摘要

采用脉冲激光沉积技术在柔性云母衬底上制备高质量的Pb(Zr0. 52Ti0. 48)O3(PZT)外延薄膜.引入NiFe2O4作为外延生长种子层,实现PZT薄膜的(111)取向外延生长.电学性能测试显示其具有优异的铁电压电性能,在未弯曲时,剩余极化(2Pr)值和压电系数(d33)分别为55μC/cm2和87 pm/V.柔性PZT存储单元在弯曲、变温等条件下的铁电保持、疲劳性能测试显示其具有可靠稳定的信息存储功能.该结果表明柔性PZT薄膜在可穿戴电子器件领域具有重要的应用前景.

论文目录

  • 0 引言
  • 1 实验部分
  • 2 结果与讨论
  • 3 结论
  • 文章来源

    类型: 期刊论文

    作者: 陈浩,郑志强,祁亚军,梁坤,章天金

    关键词: 柔性,薄膜,电学性能,稳定性

    来源: 湖北大学学报(自然科学版) 2019年03期

    年度: 2019

    分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

    专业: 材料科学,工业通用技术及设备

    单位: 湖北大学材料科学与工程学院

    基金: 国家自然科学基金(51472078),铁电压电材料与器件湖北省重点实验室开放课题基金(201706)资助

    分类号: TB383.2

    页码: 277-281

    总页数: 5

    文件大小: 1508K

    下载量: 152

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