一种超高压型气体质量流量控制器用传感器论文和设计-刘志新

全文摘要

本实用新型公开了一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,包括传感器底座、T型支架、电路板、固定盖板、后壳、绝缘片、第一保温层、第二保温层和U型毛细管,传感器底座的上表面安装有T型支架,T型支架的一侧端面通过不锈钢螺栓固定安装有电路板。该超高压型气体质量流量控制器用传感器,第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管连接,使得连接可靠稳定,便于传感器测量,不锈钢材质制成的传感器底座、后壳和U型毛细管使得该传感器工作的环境温度为0‑65摄氏度,最大设计温度为80摄氏度,耐高压抗腐蚀,稳定性强,最大耐压50Mpa,全部采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定,使得传感器整体稳定性好。

主设计要求

1.一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,包括传感器底座(1)、T型支架(2)、电路板(3)、固定盖板(4)、后壳(5)、绝缘片(6)、第一保温层(7)、第二保温层(8)和U型毛细管(9),其特征在于:所述传感器底座(1)的上表面安装有T型支架(2),所述T型支架(2)的一侧端面通过不锈钢螺栓固定安装有电路板(3),所述电路板(3)的正下方设置有固定盖板(4),所述固定盖板(4)也通过不锈钢螺栓安装在T型支架(2)上,所述固定盖板(4)垂直分布在传感器底座(1)的上表面上,所述电路板(3)的一侧端面设置有后壳(5),所述后壳(5)也通过不锈钢螺栓安装在T型支架(2)上,所述电路板(3)与后壳(5)接触,所述电路板(3)和后壳(5)的内侧设置有绝缘片(6)、第一保温层(7)和第二保温层(8),所述绝缘片(6)的一端紧贴在后壳(5)的内侧端面上,所述绝缘片(6)的另一端紧贴在T型支架(2)上,所述T型支架(2)的上方设置有第一保温层(7)和第二保温层(8),所述第一保温层(7)位于绝缘片(6)和第二保温层(8)之间,所述第二保温层(8)的一侧设置有U型毛细管(9),所述U型毛细管(9)也安装在T型支架(2)上,所述U型毛细管(9)上设置有热敏电阻线圈(91)和精密电阻线圈(92),所述热敏电阻线圈(91)位于精密电阻线圈(92)的一侧,所述U型毛细管(9)的两端分别连接有第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94),所述第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94)均安装在传感器底座(1)上。

设计方案

1.一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,包括传感器底座(1)、T型支架(2)、电路板(3)、固定盖板(4)、后壳(5)、绝缘片(6)、第一保温层(7)、第二保温层(8)和U型毛细管(9),其特征在于:所述传感器底座(1)的上表面安装有T型支架(2),所述T型支架(2)的一侧端面通过不锈钢螺栓固定安装有电路板(3),所述电路板(3)的正下方设置有固定盖板(4),所述固定盖板(4)也通过不锈钢螺栓安装在T型支架(2)上,所述固定盖板(4)垂直分布在传感器底座(1)的上表面上,所述电路板(3)的一侧端面设置有后壳(5),所述后壳(5)也通过不锈钢螺栓安装在T型支架(2)上,所述电路板(3)与后壳(5)接触,所述电路板(3)和后壳(5)的内侧设置有绝缘片(6)、第一保温层(7)和第二保温层(8),所述绝缘片(6)的一端紧贴在后壳(5)的内侧端面上,所述绝缘片(6)的另一端紧贴在T型支架(2)上,所述T型支架(2)的上方设置有第一保温层(7)和第二保温层(8),所述第一保温层(7)位于绝缘片(6)和第二保温层(8)之间,所述第二保温层(8)的一侧设置有U型毛细管(9),所述U型毛细管(9)也安装在T型支架(2)上,所述U型毛细管(9)上设置有热敏电阻线圈(91)和精密电阻线圈(92),所述热敏电阻线圈(91)位于精密电阻线圈(92)的一侧,所述U型毛细管(9)的两端分别连接有第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94),所述第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94)均安装在传感器底座(1)上。

2.根据权利要求1所述的一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,其特征在于:所述第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94)均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管(9)连接。

3.根据权利要求1所述的一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,其特征在于:所述第一传感器毛细管焊接钉(93)和第二传感器毛细管焊接钉(94)的头部均穿过传感器底座(1)延伸至传感器底座(1)的下方。

4.根据权利要求1所述的一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,其特征在于:所述传感器底座(1)和后壳(5)均为一种不锈钢材质制成的构件。

5.根据权利要求1所述的一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,其特征在于:所述U型毛细管(9)为一种不锈钢材质制成的构件。

6.根据权利要求1所述的一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,其特征在于:所述传感器底座(1)的上表面开设有条形槽孔(11)。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及气体质量流量控制器技术领域,具体为一种超高压型气体质量流量控制器用传感器。

背景技术

气体质量流量控制器,即MassFlowController(缩写为MFC),是一个可以手动设定或与电脑连接自动控制的气体稳流装置,能在较宽的量程范围内快速而精确的控制气体流量,即使系统压力有波动或环境温度有轻微变化,也不会影响其正常的工作,原则上不需要温度和压力补偿,气体质量流量控制器(MFC)在石化工业、生化、半导体和集成电路工业、特种材料学科、医药、蔬果保鲜、加气饮料、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。

现有的气体质量流量控制器所采用的传感器,其耐高压性能差,不能很好的抗腐蚀,导致使用寿命短,连接不可靠,稳定性差。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足,本实用新型提供了一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,解决了现有的气体质量流量控制器所采用的传感器,其耐高压性能差,不能很好的抗腐蚀,导致使用寿命短,连接不可靠,稳定性差的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,包括传感器底座、T型支架、电路板、固定盖板、后壳、绝缘片、第一保温层、第二保温层和U型毛细管,所述传感器底座的上表面安装有T型支架,所述T型支架的一侧端面通过不锈钢螺栓固定安装有电路板,所述电路板的正下方设置有固定盖板,所述固定盖板也通过不锈钢螺栓安装在T型支架上,所述固定盖板垂直分布在传感器底座的上表面上,所述电路板的一侧端面设置有后壳,所述后壳也通过不锈钢螺栓安装在T型支架上,所述电路板与后壳接触,所述电路板和后壳的内侧设置有绝缘片、第一保温层和第二保温层,所述绝缘片的一端紧贴在后壳的内侧端面上,所述绝缘片的另一端紧贴在T型支架上,所述T型支架的上方设置有第一保温层和第二保温层,所述第一保温层位于绝缘片和第二保温层之间,所述第二保温层的一侧设置有U型毛细管,所述U型毛细管也安装在T型支架上,所述U型毛细管上设置有热敏电阻线圈和精密电阻线圈,所述热敏电阻线圈位于精密电阻线圈的一侧,所述U型毛细管的两端分别连接有第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉,所述第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉均安装在传感器底座上。

优选的,所述第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管连接。

优选的,所述第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉的头部均穿过传感器底座延伸至传感器底座的下方。

优选的,所述传感器底座和后壳均为一种不锈钢材质制成的构件。

优选的,所述U型毛细管为一种不锈钢材质制成的构件。

优选的,所述传感器底座的上表面开设有条形槽孔。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种。具备以下有益效果:

该超高压型气体质量流量控制器用传感器,第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管连接,使得第一传感器毛细管焊接钉和第二传感器毛细管焊接钉均与U型毛细管之间连接可靠稳定,便于传感器测量,同时不锈钢材质制成的传感器底座、后壳和U型毛细管使得该传感器工作的环境温度为0-65摄氏度,最大设计温度为80摄氏度,耐高压抗腐蚀,稳定性强,最大耐压50Mpa,同时电路板、固定盖板和后壳均通过不锈钢螺栓固定安装在T型支架上,全部采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定,使得传感器整体稳定性好,使用寿命长,用于高压型气体质量流量控制器和高压型气体质量流量计。

附图说明

图1为本实用新型的超高压型气体质量流量控制器用传感器的爆炸图;

图2为本实用新型的超高压型气体质量流量控制器用传感器的剖面示意图。

图中:1传感器底座、11条形槽孔、2T型支架、3电路板、4固定盖板、5后壳、6绝缘片、7第一保温层、8第二保温层、9U型毛细管、91热敏电阻线圈、92精密电阻线圈、93第一传感器毛细管焊接钉、94第二传感器毛细管焊接钉。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。

如图1-2所示,本实用新型提供一种技术方案:一种超高压型气体质量流量控制器用传感器,包括传感器底座1、T型支架2、电路板3、固定盖板4、后壳5、绝缘片6、第一保温层7、第二保温层8和U型毛细管9,传感器底座1和后壳5均为一种不锈钢材质制成的构件,不锈钢具有耐腐蚀及耐高温的特点,该传感器工作的环境温度为0-65摄氏度,最大设计温度为80摄氏度,耐高压抗腐蚀,稳定性强,最大耐压50Mpa,传感器底座1的上表面安装有T型支架2,传感器底座1的上表面开设有条形槽孔11,T型支架2的一侧端面通过不锈钢螺栓固定安装有电路板3,电路板3的正下方设置有固定盖板4,固定盖板4也通过不锈钢螺栓安装在T型支架2上,固定盖板4垂直分布在传感器底座1的上表面上,电路板3的一侧端面设置有后壳5,后壳5也通过不锈钢螺栓安装在T型支架2上,电路板3、固定盖板4和后壳5均通过不锈钢螺栓固定安装在T型支架2上,全部采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定,使得传感器整体稳定性好,使用寿命长,电路板3与后壳5接触,电路板3和后壳5的内侧设置有绝缘片6、第一保温层7和第二保温层8,绝缘片6的一端紧贴在后壳5的内侧端面上,绝缘片6的另一端紧贴在T型支架2上,T型支架2的上方设置有第一保温层7和第二保温层8,第一保温层7位于绝缘片6和第二保温层8之间,第二保温层8的一侧设置有U型毛细管9,U型毛细管9也安装在T型支架2上,U型毛细管9为一种不锈钢材质制成的构件,不锈钢具有耐腐蚀及耐高温的特点,该传感器工作的环境温度为0-65摄氏度,最大设计温度为80摄氏度,耐高压抗腐蚀,稳定性强,最大耐压50Mpa,U型毛细管9上设置有热敏电阻线圈91和精密电阻线圈92,热敏电阻线圈91位于精密电阻线圈92的一侧,传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿,通常在U型毛细管9上绕制两组热敏电阻线圈91,热敏电阻线圈91与精密电阻线圈92构成测量电桥,工作时给热敏电阻线圈91通电加热,当U型毛细管9中没有气体流动时,两组热敏电阻线圈91的温度相同,电桥平衡无信号输出,对应于流量值为零,当U型毛细管9中有气体流过时,处于上游的绕组和处于下游的绕组会发生不同的温度变化,从而使热敏电阻线圈91的阻值也产生不同改变,测量电桥输出一个差值信号,此信号的大小与流过传感器的质量流量成正比,将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等,U型毛细管9的两端分别连接有第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94,第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管9连接,采用毛细管焊接工艺,使得第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94均与U型毛细管9之间连接可靠稳定,便于传感器测量,第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94均安装在传感器底座1上,第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94的头部均穿过传感器底座1延伸至传感器底座1的下方,气体通过第一传感器毛细管焊接钉93进入U型毛细管9内,并通过第二传感器毛细管焊接钉94排出。

工作原理:传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量,无需温度压力补偿,通常在U型毛细管9上绕制两组热敏电阻线圈91,热敏电阻线圈91与精密电阻线圈92构成测量电桥,工作时给热敏电阻线圈91通电加热,当U型毛细管9中没有气体流动时,两组热敏电阻线圈91的温度相同,电桥平衡无信号输出,对应于流量值为零,当U型毛细管9中有气体流过时,处于上游的绕组和处于下游的绕组会发生不同的温度变化,从而使热敏电阻线圈91的阻值也产生不同改变,测量电桥输出一个差值信号,此信号的大小与流过传感器的质量流量成正比,将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门,闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。

综上可得,该超高压型气体质量流量控制器用传感器,第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94均采用毛细管焊接工艺与U型毛细管9连接,使得第一传感器毛细管焊接钉93和第二传感器毛细管焊接钉94均与U型毛细管9之间连接可靠稳定,便于传感器测量,同时不锈钢材质制成的传感器底座1、后壳5和U型毛细管9使得该传感器工作的环境温度为0-65摄氏度,最大设计温度为80摄氏度,耐高压抗腐蚀,稳定性强,最大耐压50Mpa,同时电路板3、固定盖板4和后壳5均通过不锈钢螺栓固定安装在T型支架2上,全部采用耐高温的不锈钢螺栓进行机械固定,使得传感器整体稳定性好,使用寿命长,用于高压型气体质量流量控制器和高压型气体质量流量计。

需要说明的是,在本文中,诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来,而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且,术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含,从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素,而且还包括没有明确列出的其他要素,或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下,由语句“包括一个……”限定的要素,并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

设计图

一种超高压型气体质量流量控制器用传感器论文和设计

相关信息详情

申请码:申请号:CN201920064407.9

申请日:2019-01-15

公开号:公开日:国家:CN

国家/省市:14(山西)

授权编号:CN209181849U

授权时间:20190730

主分类号:G01F 1/699

专利分类号:G01F1/699;G01F15/18

范畴分类:31H;

申请人:山西仁荷微电子科技有限公司

第一申请人:山西仁荷微电子科技有限公司

申请人地址:030600 山西省晋中市山西示范区晋中开发区汇通产业园区迎宾西街和田商务大厦十一层1101、1102、1103、1105、1106、1107、1111、1112室

发明人:刘志新

第一发明人:刘志新

当前权利人:山西仁荷微电子科技有限公司

代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中

类型名称:外观设计

标签:;  ;  ;  ;  ;  ;  ;  ;  

一种超高压型气体质量流量控制器用传感器论文和设计-刘志新
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