导读:本文包含了离子溅射论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:离子,涂层,薄膜,偏压,离子束,反射率,结构。
离子溅射论文文献综述
赵海生[1]（2018）在《磁化—离子溅射复合技术强化高速钢刀具性能的研究》一文中研究指出高速钢刀具是适用于切削或者钻削的一种硬度和强度极高的机械工具。在机械工业生产中所使用的的刀具大多数用来切削铁质材料,刀具的质量和品质越优越,市场所占有的比例也就越大。目前大多数高速钢凭借其独特的工艺和性能已经在市场中占据重要的地位,但已有研究发现以传统工艺制造的高速钢刀具很难有效提升极限加工精度。磁化处理技术是磁化频率、磁场强度、磁化时间为参数并且变化的一种手段。然而尽管磁场辅助在加工过程中有诸多优越性,但是仍存在少许不足之处。高速钢刀具伴随着钻削或者切削速度的提升,切削或者钻削效果往往不尽人意,切削后的工件尺寸达不到所需要的工艺要求,这就需要我们探究如何提升高速钢刀具的性能参数。而离子溅射镀膜技术被广泛地用于制备各种功能薄膜,以及提高机械零件表面的耐磨性能、耐腐蚀性能、抗氧化性能等。离子溅射和磁化在单一强化高速钢的条件下,优势很明显,但是仍有些不足。所以,本课题研究在预磁处理的基础上溅射镀膜TiN薄膜的复合强化处理对高速钢刀具性能的影响。本课题实验材料使用W6Mo5Cr4V2高速钢刀具,使用简易自制的磁化设备对高速钢刀具进行预磁处理,第一,研究磁化参数对刀具表面的洛式硬度和显微组织的影响;第二,为了获得在复杂多变的工艺条件下最优的溅射镀膜参数,进行在不同镀膜参数条件下溅射镀膜TiN膜层的实验。在基体预磁化的基础上,再重新离子溅射镀膜,,然后在其复合表面基体部位进行实验研究,研究刀具在预磁处理的基础上溅射镀膜的表面摩擦磨损性能和显微组织的变化。在本次正交试验所取的溅射离子参数范围内,通过实验得出提升W6Mo5Cr4V2高速钢刀具膜层结合力的最优化工艺参数为基体负偏压80V,氮气分压0.25Pa,沉积时间60min,沉积温度250℃,弧电流65A。利用金相显微镜观察高速钢材料的组织形貌,通过切削试验来探究刀具复合处理后钻削性能得到提升的机理。试验结果表明:高速钢刀具经过预先磁化处理后对其减少摩擦磨损有很大的影响,而且对于经过预磁镀膜复合后的刀具硬度也有很大的提升,在本试验中,在磁化处理参数为15Hz时,刀具磨损量最少。在高速钢钻头钻削45~#钢试验中,经过磁化镀膜复合处理后的钻头刀具在加工工件时的表面质量和未处理后的表面质量相比有很大的优化,工件表面粗糙度降低幅度为26.5%~42.2%,且经过复合处理过的钻头对工件表面质量有较大的变化,实验中设置实验工艺参数为磁场频率10Hz,磁化时间为30s;基体负偏压80V,氮气分压0.25Pa,沉积时间60min,沉积温度250℃,弧电流65A时,工件表面质量最好。(本文来源于《江西理工大学》期刊2018-05-23）
黄彪[2]（2018）在《离子溅射新型类金刚石Ta-C涂层的性能及应用研究》一文中研究指出类金刚石涂层是一种亚稳态的非晶碳膜,其主要是由不同含量的sp~3、sp~2键组成。因为其具有硬度高、耐磨性好、弹性模量高以及摩擦系数低等与金刚石类似的性能,从而很多场合代替金刚石使用,可以用来降低生产成本。类金刚石涂层根据sp~2和sp~3含量不同可以分为Ta-C涂层(无氢类金刚石涂层)和氢化类金刚石涂层,Ta-C涂层的sp~3键(80%~90%)高于氢化类金刚石涂层,其主要成分为四面体碳(Tetrahedral Carbon)。本文以YG10C硬质合金为基体材料,Ti为打底层,改变Ta-C涂层制备过程中氩离子刻蚀时间、石墨靶溅射时间研究其对涂层硬度、厚度、结合强度、摩擦性能的影响,并通过研究选取较优的氩离子刻蚀时间和石墨靶溅射时间工艺参数制备Ta-C涂层刀具进行现场切削运用,与目前运用较广泛的氢化类金刚石涂层刀具进行对比切削,验证本研究中工艺参数的优劣。主要研究工作概括如下:1.硬质合金基体表面Ta-C涂层的制备及性能表征研究。以99.9%纯度Ti靶和99.9%纯度石墨靶为原材料,在氩气环绕的低温炉腔内运用离子溅射技术在硬质合金表面制备了不同工艺参数的Ta-C涂层。采用扫描电镜、光学显微镜、球磨仪厚度测量仪、维氏硬度计、拉曼光谱仪以及压痕仪器对Ta-C涂层的表面形貌、厚度、硬度以及结合强度进行了表征。实验结果表明:经上述仪器测试氩离子刻蚀30min、石墨溅射时间55min时制备的Ta-C涂层综合性能较优,维氏硬度可以达到8870HV,通过压痕实验测得其在硬质合金基体上的附着强度达到HF1。该研究内容为Ta-C涂层的进一步应用奠定了一定的理论基础。2.Ta-C涂层的在干摩擦条件下的性能研究。在硬质合金基体表面制备的Ta-C涂层与氧化锆陶瓷珠对磨材料采用UMT-3往复运动摩擦试验机研究干摩擦条件下Ta-C涂层的摩擦学性能,并采用拉曼光谱仪对Ta-C涂层以及经过摩擦磨损实验之后的氧化锆对磨副表面进行测试。实验结果表明:石墨靶溅射55min时制备的Ta-C涂层摩擦系数较低达到0.13,对磨副表面形成了石墨转移膜,对Ta-C涂层起到了润滑作用。3.Ta-C涂层的应用研究。首先对比在氩离子刻蚀30min下,石墨靶不同溅射时间制备得到的Ta-C涂层的切削运用,然后将石墨靶溅射时间制备得到的切削性能较优的Ta-C涂层刀具与氢化类金刚石涂层刀具进行干式切削效果对比。以2A50铝合金作为切削实验材料,切削实验以VMC-1000ΙΙ机床为载体。结果表明:石墨靶溅射时间为55min时制备的Ta-C涂层切削运用效果较好,工件平均粗糙度达到0.692μm。与氢化类金刚石涂层刀具对比,Ta-C涂层铣刀较氢化类金刚石涂层刀具使用寿命提高2倍以上。(本文来源于《上海应用技术大学》期刊2018-05-21）
王熠,叶盛英,凡明朗,李利钦,崔晓雷[3]（2017）在《离子溅射银对光电协同灭青霉菌的影响》一文中研究指出为解决果蔬采后易受微生物作用而腐败变质的问题,该文进行了纳米二氧化钛(TiO_2)光催化技术灭活园艺产品冷藏环境中青霉菌的研究:以活性炭纤维(activated carbon fiber,ACF)为载体,以粉末浸渍-提拉法制备TiO_2-ACF薄膜,采用离子溅射法在ACF薄膜上作贵重金属银沉积处理,研究表面溅射与底层溅射纳米Ag粒子及施以外加电压处理对TiO_2-ACF薄膜光催化灭活青霉菌的影响及机理。结果显示,不同的溅射方式对试验结果有不同的影响,其中底层溅射效果较好,120 s时光催化灭活青霉菌速率最高;外加电压可提高TiO_2-ACF薄膜光催化速率,75 V是最优值,且光电催化作用效果优于单独光催化和电催化的总和。对负载的ACF薄膜表征分析,发现离子溅射较均匀地实现了纳米Ag-TiO_2混合粒子在ACF薄膜的表面及内部负载。研究结果为纳米TiO_2光催化技术在灭活园艺产品冷藏环境中青霉菌的实际应用提供参考。(本文来源于《农业工程学报》期刊2017年06期）
谢畅[4]（2016）在《喷砂酸蚀表面钽离子溅射处理植体的动物实验研究》一文中研究指出研究背景有别于固定义齿、活动义齿及固定-活动联合义齿等缺牙修复方式,种植义齿以其在维持牙槽骨健康,使义齿拥有相似于自然牙的咬合力,不损伤邻牙,固位力强及美观舒适等优势,已成为缺牙修复的首选方法之一。虽然随访显示钛种植体10年成功率已达90-95%,但种植失败相关的病例仍时有报道。研究表明种植体周围炎主要表现为软组织炎症,骨组织进行性吸收和植体周骨袋的形成,为导致种植体松动失败的重要原因。基于此,开发抗菌性能优越、有利于成骨的各类抗菌种植体表面处理技术已成为种植体研究的重要方面。钛及钛合金材料凭借其良好的生物相容性、耐腐蚀性等优点,成为最常用的种植体材料。然而长期研究结果发现钛基种植体仍存在生物活性差、与周围骨组织的结合强度低、愈合时间长等问题,这些问题降低了患者的生活质量且影响着患者的工作和生活。为了进一步改善钛及钛合金种植体的生物活性及骨传导性,获得更好的成骨效果及优越的抗菌性能,结合多种表面处理方法对植体进行处理是当今种植体表面处理发展的一大趋势。喷砂酸蚀(Sand Blast and Acid Etching, SLA)表面具有良好的机械生物相容性和骨组织引导性,近些年来,其良好的属性已经得到了口腔种植界的公认并成为国际上使用最为广泛的种植体表面之一。喷砂酸蚀植体表面可形成二级粗糙度：一级粗糙度与骨陷窝类似,对成骨细胞的附着利；二级粗糙度可以通过刺激成骨细胞增殖分化,对骨结合的形成有利。此外,体内试验显示喷砂酸蚀处理可显着增加种植体的扭矩值。但粗糙表面会增强与微生物的作用,导致种植体周围炎以及材料表面腐蚀等；喷砂酸蚀表面会嵌留下一些不利于骨结合的颗粒等,以上这些不足促使着口腔种植学者们继续对种植体表面处理的方法深入研究。近年来,具有“亲金属”元素之称的钽(Ta)以其极佳的生物相容性、稳定性及优良的抗腐蚀性能逐渐被引入口腔领域。研究表明MTT比色法评价钽涂层浸提液对L929细胞毒性为0级,且钽涂层能通过阻止钛离子的释放而改善其生物相容性。Kim将多孔钽加载到钛种植体上制成组合式牙科种植体,犬颌骨内可观察到多孔钽内有明显的骨组织长入。细菌黏附是植入物感染的始动因素,研究表明金黄色葡萄球菌与表皮葡萄球菌在钽表面的黏附力显着低于钛合金、不锈钢等,大大降低了因感染导致的植入体失败率。骨组织是一种高度有序分层组装的组织,其由纳米级单元的胶原纤维、矿物盐离子等组装成微米级单元的骨板、哈弗斯系统,再由上述微米级单元组装成松质骨、皮质骨等组织结构。因此,从仿生学角度看,在植体表面构建具有仿生效果的微-纳米表面对提高植体的早期骨结合有利。微-纳米级的表面改性是促进钛种植体成骨性和长期稳定性的最有前景的方式。离子溅射作为一种有效形成纳米表型的方法被广泛用于半导体及金属材料表面,通过形成纳米级的表面而改善其性能并添加新的功能。该技术最近被引入生物工程领域以在金属植体表面形成粗糙表面,并显示出有效的体外生物相容性。研究目的本研究拟通过离子溅射的方法在喷砂酸蚀形成粗糙表面的基础上形成含钽的纳米复合结构,并分析其表面理化性能；通过犬胫骨植入实验,测试种植体-骨界面结合强度并对植体周围骨组织进行形态学分析,评价喷砂酸蚀植体表面钽离子溅射处理对植体骨结合的影响；通过建立犬颌骨种植体周围炎模型探讨钽离子溅射喷砂酸蚀植体在种植体周围炎模型中的表现及对常规治疗的反应,从而了解该种表面处理的应用前景并为其提供实验依据。本论文包括以下叁章内容：第一章钽离子溅射喷砂酸蚀植体表面处理及表面性状研究目的：本研究拟构建钽离子溅射纯钛植体、钽离子溅射喷砂酸蚀植体,与喷砂酸蚀植体比较,观察并分析其微观形貌、元素组成等方面。方法；1.实验用植体的制作及表面处理：纯钛条按Dentium SuperLine系列FX4008型种植体数据加工,随机分3组处理。钽离子溅射植体组：在5×104 Pa气压、100℃环境、800 V偏压中用高纯度金属钽(99.99%)颗粒在高浓度氩气流(99.99%)中以60 W直流电作用1 h；喷砂酸蚀植体组：4.5×105Pa气压下用200 μm氧化铝颗粒轰击纯钛植体30 s；于18%盐酸与49%硫酸混液中60℃水浴加30 min；钽离子溅射酸蚀喷砂植体组：随机选取处理好的喷砂酸蚀植体,以钽离子溅射植体组同等条件处理。2.种植体表面形貌观察及元素分析：场发射扫描电子显微镜(FE-SEM)观察各组样本的表面形貌。X射线能谱仪(EDS)分析各组表面元素组成及含量。X射线光电子能谱仪(XPS)分析各组表面元素化合状态。结果：1. FE-SEM观察可见喷砂酸蚀植体组表面为微米级的多孔网状结构；钽离子溅射植体组表面为纳米网状结构；钽离子溅射喷砂酸蚀植体组表面为微纳米网状结构。2.EDS分析显示喷砂酸蚀植体表面不存在Ta离子;钽离子溅射植体表面含93.397%的Ta离子；喷砂酸蚀植体表面在钽离子溅射处理后,其表面有约33.208%的Ta离子结合。3.XPS图谱可见喷砂酸蚀植体表面不含Ta元素峰谱,钽离子溅射植体和钽离子溅射喷砂酸蚀植体表面含Ta元素峰谱。结论：经钽离子溅射处理的喷砂酸蚀植体可获得表面含有Ta元素的微纳米复合表面。第二章钽离子溅射喷砂酸蚀表面对种植体骨结合影响的动物实验研究目的：通过Beagle犬胫骨实验,分析钽离子溅射喷砂酸蚀植体植入犬胫骨后与骨组织的相互反应及植体周围骨形成的情况,评价喷砂酸蚀植体表面钽离子溅射处理对植体骨结合的影响。方法：1.实验动物分组：随机将6只Beagle犬分为3组,每组2只。2.种植体植入：犬两侧胫骨膝关节端骨骺线下5mm处起,每侧胫骨预备6个种植窝,间距8mm。随机植入实验一制备的叁种表面处理的植体各24枚。3.共振频率分析测量：在植体完全就位后,及植体植入后第4、8、12周时用Osstel共振频率分析仪测量并记录植体的ISQ值。4.处死实验动物：按组分别在胫骨植入植体后第4、8、12周时用空气栓塞法处死。5.种植体拔出力测试：分离胫骨标本,每组实验动物随机选出叁种不同处理表面的植体各2枚测试其拔出力。6.组织切片观察分析：除去拔出力测试外的全部胫骨标本制作不脱钙硬组织切片,甲苯胺蓝染色。观察种植体周骨组织形态,并对骨组织形态行计量学指标的观测。7.统计方法：用SPSS 22.0统计分析软件行统计学处理,结果以x±s表示。整体分析采用重复测量的方差分析；各指标各时间点组间比较：当满足方差齐性时整体分析采用单向方差分析,两两比较用LSD法；方差不齐时,整体分析用近似F检验Welch检验,两两比较用Games-Howell检验；各组内不同时间点比较采用重复测量的方差分析。假设检验为双侧检验,认为P<0.05差异有统计学意义。结果：1.实验过程中无Beagle犬意外死亡,植体存留率达100%。2.胫骨标本大体观察可见植体顶部覆盖螺丝部分被周围骨组织和纤维组织等包埋。随时间延长覆盖螺丝周围的骨组织增多。3.共振频率测量：在0周时各组植体ISQ值无统计学差异；4、8、12周时钽离子溅射喷砂酸蚀组ISQ值显着大于钽离子溅射组；8、12周时钽离子溅射喷砂酸蚀组ISQ值与喷砂酸蚀组无统计学差异。4.拔出力结果显示：在4、8、12周时,钽离子溅射组的拔出力显着小于喷砂酸蚀组及钽离子溅射喷砂酸蚀组；喷砂酸蚀组的拔出力显着小于钽离子溅射喷砂酸蚀组。5.4周时,植体螺纹区可见新生编织骨。8周时,骨组织与新生骨间骨量增多,编织骨改建。12周时,新生骨趋于成熟。密质骨区新生骨密度高于松质骨区,钽离子溅射喷砂酸蚀组植体周新生骨密度高于酸蚀喷砂组,钽离子溅射组植体周新生骨密度最低。6.在4、8、12周时,钽离子溅射组的BIC值显着小于喷砂酸蚀组及钽离子溅射喷砂酸蚀组；喷砂酸蚀组的BIC值显着小于钽离子溅射喷砂酸蚀组。结论：经钽离子溅射处理的喷砂酸蚀种植体可有效提高植体的骨结合率,增加植体的稳定性。第叁章钽离子溅射酸蚀喷砂植体对实验性种植体周围炎的影响目的：通过Beagle犬颌骨种植体周围炎模型比较钽离子溅射喷砂酸蚀植体与喷砂酸蚀植体在种植体周围炎的表现,评价喷砂酸蚀植体表面钽离子溅射处理对种植体周围炎的影响。方法：1.拔牙：微创拔除6只Beagle犬双侧下颌各8颗前磨牙。2.植体植入：愈合8周后,6只犬分别按从左侧远中到右侧远中的顺序依次植入STTSTSTS,TSSTSTST,STTTSSTS,TSSSTTST,STTSTSTS,SSTTSTST(其中S表示喷砂酸蚀植体,T表示钽离子溅射喷砂酸蚀植体)。3.分组：二期术后从左侧远中到右侧远中依次将植体记为1-8号,其中1、2、3、6、7、8号为实验组,植体基台颈部缠绕4-0丝线制造种植体周围炎模型；3、6号植体为药物治疗的阳性对照组；4、5号植体为非绑线的基线组。每周2次对4、5号植体行菌斑控制,对3、6号植体盐酸米诺环素龈周上药,并检查绑线植体颈部丝线有无脱落。最后一次探诊检查1周后处死实验动物。绑线的T植体记为A组,S植体记为B组；绑线并经盐酸米诺环素治疗的T植体记为C组；T植体记为D组;S植体记为E组。4.临床指标测量：在安放修复基台后2、4、6、8周时,分别检测种植体周软组织临床指标,包括：牙龈指数(gingival index, GI)、菌斑指数(plaque index, PI)、改良出血指数(1nodified Sulcus Bleeding Index,mSBI)、种植体周探诊深度(probing depth, PD)。5.骨缺损测量：切开黏膜,暴露种植体与骨缺损区,直视下用牙周探针及千分尺分别测量缺损深度(Defect depth, DD)及缺损宽度(Defect width, DW)。6. Micro-CT扫描：Beagle犬处死后分离出下颌骨,行Micro-CT扫描,观察植体周围骨组织的情况。7.组织切片观察：制作带植体不脱钙硬组织切片,甲苯氨蓝染色。光学显微镜观察种植体颈部骨结构及骨吸收情况。8.统计方法：同第二章。结果：1.实验过程中无Beagle犬意外死亡。植体植入后均未出现排斥反应。2.GI：B组的GI显着大于A组、C组；第4周时A组的GI显着大于C组；基线组的D组与E组无统计学差异。3.PI：B组的PI显着大于C组；第4、6周时A组PI显着大于C组；第4、6、8周时B组PI显着大于A组；D组和E组无统计学差异。4. mSBI:B组的mSBI显着大于A组、C组；第6周时A组mSBI显着大于C组；D组和E组无统计学差异。5.PD：B组的PD显着大于A组、C组；第4、6、8周时A组PD显着大于C组；D组和E组无统计学差异。6.DD和DW：B组DD和DW均显着大于A组、C组；A组的DD和DW显着大于C组；D组和E组无统计学差异。7.Micro-CT检查：B组与A组植体颈部均可见明显的垂直骨吸牙槽嵴高度降低,B组较A组植体周骨吸收更为明显,舌侧较颊侧骨吸收更为明显,C组颈部骨吸收较A组轻。基线组D组和E组种植体周围骨接触良好。8.植体周骨组织形态学检查：A、B、C组植体颈部可见牙槽骨吸收,B组植体颈部牙槽骨吸收最明显。D组和E组植体颈部未见明显骨吸收。结论：经钽离子溅射处理的喷砂酸蚀植体较酸蚀喷砂植体相比能延缓种植体周围炎的发生发展并减轻种植体周围炎的症状。(本文来源于《南方医科大学》期刊2016-05-13）
谢畅,张强,张宇[5]（2015）在《钽离子溅射酸蚀喷砂表面对种植体骨结合影响的动物实验研究》一文中研究指出目的:通过Beagle犬胫骨实验,评价酸蚀喷砂植体表面钽离子溅射处理对植体骨结合的影响。方法:犬两侧胫骨膝关节端骨骺线下5mm处起,每侧胫骨随机植入两种表面处理的植体共6枚。分别通过共振频率分析测量、拔出力测试和组织切片观察分析对骨结合情况进行研究。结果:在0周时各组植体ISQ值无统计学差异;4、8、12周时钽离子溅射酸蚀喷砂组ISQ值显着大于钽离子溅射组;8、12周时钽离子溅射酸蚀喷砂组ISQ值与酸蚀喷砂组无统计学差异;在4、8、12周时,钽离子溅射组的拔出力显着小于酸蚀喷砂组及钽离子溅射酸蚀喷砂组;酸蚀喷砂组的拔出力显着小于钽离子溅射酸蚀喷砂组;在4、8、12周时,钽离子溅射组的BIC值显着小于酸蚀喷砂组及钽离子溅射酸蚀喷砂组,酸蚀喷砂组的BIC值显着小于钽离子溅射酸蚀喷砂组。结论:经钽离子溅射处理的酸蚀喷砂种植体可有效提高植体的骨结合率,增加植体的稳定性。(本文来源于《第十次全国老年口腔医学学术年会论文汇编》期刊2015-12-02）
王兴,王静辉,白雪[6]（2015）在《一种真空离子溅射镀膜设备控制软件的设计》一文中研究指出目前国内外的真空离子镀膜控制软件,都不具有重构功能,导致设备的功能有限,也不能任意修改镀膜程序,且自动化程度也不高;针对这种情况,设计了一种控制软件,以工业计算机为核心,使用Visual Basic.net编程语言编制软件,采用专家系统结构,在Windows操作系统环境下,通过计算机标准接口,控制真空设备中各种常用的部件,可根据产品的需求灵活配置真空镀膜设备;建立了控制指令集,可支持用户自选的光学膜厚仪,具有自主编程功能,可按不同工艺重构镀膜程序;该控制软件已经成功的应用于真空离子溅射镀膜设备,实现了计算机对镀膜设备的自动化智能控制,以及镀膜过程的24小时无人值守。(本文来源于《计算机测量与控制》期刊2015年08期）
公发全,李刚,谭艳楠,张敏,周徐阳[7]（2015）在《铝薄膜结构第一镜氢离子溅射特性研究》一文中研究指出采用电子束蒸发镀膜工艺,在不同的基底材料上镀制了Al和Al2O3/Al薄膜,研制了国际热核聚变实验堆光学诊断中用具有较高反射率薄膜第一镜。通过中频脉冲偏压方法产生氢等离子体,对薄膜第一镜在氢等离子溅射下性能及特性进行比较分析。研究结果表明:在本实验氢离子溅射条件下,第一镜样品表面污染物的沉积速度大于溅射速度,样品表面沉积了少量的真空室内物质,通过X射线光电子能谱分析证实金属污染物均为氧化物,对光谱反射率影响较小。而由于基底和膜层结构的不同,薄膜第一镜自身结构的稳定性差异较大,其中Al/SS304和Al2O3/Al/Si O2样件表现出很好的耐等离子溅射稳定性,可以成为第一镜的备选方案。(本文来源于《真空科学与技术学报》期刊2015年08期）
段小明,贾德昌,井楠,周玉,杨治华[8]（2014）在《织构h-BN复合陶瓷的力学及离子溅射损伤特性研究》一文中研究指出以片状h-BN为原料,莫来石为烧结助剂,在不同压力条件下采用热压烧结法制备了具有明显晶粒取向的h-BN织构陶瓷。利用XRD、SEM等分析手段表征了材料的物相、织构化程度以及微观形貌;利用万能试验机、热膨胀仪研究h-BN织构陶瓷各向异性的力学、热学性能;通过等离子体溅射实验,研究了h-BN织构陶瓷抗等离子体溅射性能,分析了受离子溅射后材料表面的物相、微观形貌的特点,并对材料的溅射(本文来源于《第十八届全国高技术陶瓷学术年会摘要集》期刊2014-11-19）
吕子啸[9]（2014）在《离子溅射镀膜机工件架系统设计研究》一文中研究指出随着我国制造行业的快速发展,离子溅射镀膜机已经被广泛的运用于半导体集成电路、太阳能光伏、显示器、LED、触摸屏、化工及医药制造等行业中,因此,离子溅射镀膜机对我国制造行业的发展具有重要作用。本文从磁控溅射离子镀膜机的优点入手,对磁控溅射离子镀膜机工件架系统设计进行研究。(本文来源于《科技风》期刊2014年20期）
姜金龙,陈娣,王琼,杨华,魏智强[10]（2014）在《氩离子溅射刻蚀对Ti-Si-C纳米复合薄膜XPS分析的影响》一文中研究指出通过中频非平衡磁控溅射Ti80Si20复合靶在氩气和甲烷混合气氛中沉积Ti-Si-C复合薄膜。采用X射线衍射仪、Raman光谱和X射线光电子能谱分析薄膜微结构。结果显示:制备的薄膜为非晶碳(a-C:Si:H)包裹约10 nm TiC晶粒的复合结构,氩离子溅射刻蚀对XPS分析结果有显着影响。随氩离子刻蚀溅射刻蚀时间增加,薄膜表面C、O原子含量明显降低,而Ti、Si原子含量增加。氩离子溅射刻蚀导致薄膜非晶碳相发生石墨化转变,即sp3C-C(H)/sp2C-C比率减小,同时,C-Ti*/C-Ti和C-(Ti+Ti*)/C-C强度比明显增加。(本文来源于《稀有金属材料与工程》期刊2014年04期）
离子溅射论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
类金刚石涂层是一种亚稳态的非晶碳膜,其主要是由不同含量的sp~3、sp~2键组成。因为其具有硬度高、耐磨性好、弹性模量高以及摩擦系数低等与金刚石类似的性能,从而很多场合代替金刚石使用,可以用来降低生产成本。类金刚石涂层根据sp~2和sp~3含量不同可以分为Ta-C涂层(无氢类金刚石涂层)和氢化类金刚石涂层,Ta-C涂层的sp~3键(80%~90%)高于氢化类金刚石涂层,其主要成分为四面体碳(Tetrahedral Carbon)。本文以YG10C硬质合金为基体材料,Ti为打底层,改变Ta-C涂层制备过程中氩离子刻蚀时间、石墨靶溅射时间研究其对涂层硬度、厚度、结合强度、摩擦性能的影响,并通过研究选取较优的氩离子刻蚀时间和石墨靶溅射时间工艺参数制备Ta-C涂层刀具进行现场切削运用,与目前运用较广泛的氢化类金刚石涂层刀具进行对比切削,验证本研究中工艺参数的优劣。主要研究工作概括如下:1.硬质合金基体表面Ta-C涂层的制备及性能表征研究。以99.9%纯度Ti靶和99.9%纯度石墨靶为原材料,在氩气环绕的低温炉腔内运用离子溅射技术在硬质合金表面制备了不同工艺参数的Ta-C涂层。采用扫描电镜、光学显微镜、球磨仪厚度测量仪、维氏硬度计、拉曼光谱仪以及压痕仪器对Ta-C涂层的表面形貌、厚度、硬度以及结合强度进行了表征。实验结果表明:经上述仪器测试氩离子刻蚀30min、石墨溅射时间55min时制备的Ta-C涂层综合性能较优,维氏硬度可以达到8870HV,通过压痕实验测得其在硬质合金基体上的附着强度达到HF1。该研究内容为Ta-C涂层的进一步应用奠定了一定的理论基础。2.Ta-C涂层的在干摩擦条件下的性能研究。在硬质合金基体表面制备的Ta-C涂层与氧化锆陶瓷珠对磨材料采用UMT-3往复运动摩擦试验机研究干摩擦条件下Ta-C涂层的摩擦学性能,并采用拉曼光谱仪对Ta-C涂层以及经过摩擦磨损实验之后的氧化锆对磨副表面进行测试。实验结果表明:石墨靶溅射55min时制备的Ta-C涂层摩擦系数较低达到0.13,对磨副表面形成了石墨转移膜,对Ta-C涂层起到了润滑作用。3.Ta-C涂层的应用研究。首先对比在氩离子刻蚀30min下,石墨靶不同溅射时间制备得到的Ta-C涂层的切削运用,然后将石墨靶溅射时间制备得到的切削性能较优的Ta-C涂层刀具与氢化类金刚石涂层刀具进行干式切削效果对比。以2A50铝合金作为切削实验材料,切削实验以VMC-1000ΙΙ机床为载体。结果表明:石墨靶溅射时间为55min时制备的Ta-C涂层切削运用效果较好,工件平均粗糙度达到0.692μm。与氢化类金刚石涂层刀具对比,Ta-C涂层铣刀较氢化类金刚石涂层刀具使用寿命提高2倍以上。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
离子溅射论文参考文献
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