溶胶-凝胶法制备隔板玻璃三层减反膜

论文摘要

以钛酸正丁酯、正硅酸乙酯为前驱体,在薄膜设计软件的辅助下,采用溶胶-凝胶法在K9光学玻璃上制备了λ/4-λ/2-λ/2膜系宽带减反膜。该膜层的光学性能良好,在500～900 nm波长范围内的平均透过率为99.25%,透过率增益随入射角增加而增大,斜入射光入射角从0°增至60°仍能有效覆盖钕玻璃的主吸收峰,此时平均透过率增益从7.2%增至10.2%;在150℃下进行热处理后,膜层具有一定的耐擦拭性能,表面均匀性良好,均方根粗糙度为4.00 nm。

论文目录

• 1 引 言
• 2 实 验
•   2.1 涂膜液制备
•   2.2 三层减反膜的制备
•   2.3 性能测试
• 3 结果讨论
•   3.1 膜层的设计
•   3.2 膜层的折射率
•   3.3 工艺条件对薄膜性能的影响
•   3.4 三层膜的减反性能
•   3.5 膜层的表面粗糙度
•   3.6 耐擦拭性能
• 4 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 熊怀,唐永兴,胡丽丽,沈斌,李海元

关键词: 材料,溶胶凝胶法,减反膜,膜层设计,薄膜

来源: 中国激光 2019年07期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑

专业: 材料科学,工业通用技术及设备

单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光物理重点实验室,中国科学院大学材料与光电研究中心,中国科学院上海光学精密机械研究所高功率激光单元技术研发中心

分类号: TB383.2

页码: 144-150

总页数: 7

文件大小: 2734K

下载量: 173