导读:本文包含了原子氢论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译,主要关键词:原子,电化学,氢原子,偏振,光刻,乙烷,谐波。
原子氢论文文献综述
田壮壮,周晓平,宋国林[1](2018)在《锂薄膜的第一性原理计算:量子尺寸效应和原子氢的吸附》一文中研究指出采用第一性原理方法计算Li (110)、(100)和(111)叁个表面方向3至30层自由薄膜的表面能和氢原子的吸附能.随着层厚变化出现量子振荡现象,即量子尺寸效应.重点计算Li(110)表面吸附氢原子吸附高度、吸附氢原子前后费米能级处的态密度和功函数.这些量都随着层厚变化出现明显的量子振荡,且与表面能或吸附能的振荡有明显的相关性.计算发现Li(110)薄膜表面的功函数由于吸附氢原子而降低了约0.9 eV,吸附的氢原子拉低了最外层Li原子和真空层的静电势,导致吸附氢原子后功函数下降.(本文来源于《计算物理》期刊2018年06期)
宋源[2](2016)在《极紫外多层膜表面碳污染原子氢清洗技术研究》一文中研究指出极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography-EUVL)是未来22nm节点以下的主流光刻技术。在曝光过程中,光刻机内部EUV多层膜表面会沉积碳污染,不仅会导致光学元件反射率下降,芯片产量降低,还会影响光刻质量。随着光源功率的不断提高,EUV多层膜表面碳污染也越来越严重,如何降低碳污染对光学元件的危害逐步成为各相关实验室的研究重点。目前主要是通过清洗的方式将EUV多层膜表面的碳污染清除,降低危害。常用的清洗技术有射频-等离子体清洗、紫外光辐照清洗和原子氢清洗等,由于原子氢清洗具有对样品二次损害较小的优点,因此将原子氢清洗极紫外多层膜表面碳污染作为本文的主要研究内容。本论文对EUV多层膜表面碳污染原子氢清洗技术进行了研究,深入探讨了原子氢清洗碳污染的机理,并搭建原子氢清洗碳污染实验平台,利用原子氢实现了多层膜表面碳污染的清洗,主要研究内容如下:1.以分子动力学为基础,从物理和化学两个方面对原子氢清洗EUV多层膜表面多种形态(金刚石、石墨和聚合物等)碳污染的机理进行深入研究,并建立原子氢清洗碳污染的数学理论模型。利用模型对不同清洗条件下原子氢清洗碳污染的清洗速率进行合理预测和评估,为原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染实验提供理论指导。2.搭建了原子氢清洗碳污染实验平台。通过物理气相沉积(PVD)的方法在基底(如EUV多层膜光学元件、石英天平晶片和蓝宝石等)表面沉积石墨型碳层模拟碳污染。基于原子氢清洗碳污染实验平台,设计不同清洗条件下(如工作距离、基底温度和原子氢激发源功率等)原子氢清洗碳污染实验并利用石英天平测量速率变化。深入分析实验结果,与数学理论模型进行对比,得到各清洗条件对速率的影响规律。3.提出了适用于原子氢清洗碳污染实验平台的最佳清洗方案。用该方案对EUV多层膜碳污染样品进行清洗,并对比清洗前后样品反射率和表面粗糙度变化,评估原子氢清洗多层膜碳污染样品的清洗效果。4.基于椭圆偏光法研究了测量EUV多层膜样品表面碳污染厚度的方法,为未来在线测量和评估碳污染清洗过程中厚度变化提供理论基础。根据多层膜碳污染样品建立物理结构模型,针对各膜层材料选取相应的色散模型,利用椭偏仪基于建立的模型对多层膜样品清洗前后表面碳污染厚度值进行拟合测量,并对比分析不同色散模型的测量结果精度,选择出精度较高的色散模型。本论文研究了原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染的机理,通过实验分析了影响原子氢清洗碳污染的速率和效果的条件以及因素,并基于椭圆偏光法测量技术研究了测量EUV多层膜样品表面碳污染厚度的方法。为原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染提供了理论依据,对未来开展在线清洗EUV多层膜表面碳污染工作具有重要意义和参考价值。(本文来源于《中国科学院长春光学精密机械与物理研究所》期刊2016-10-01)
罗化峰,凌开成[3](2014)在《煤高温快速液化过程中的单原子与双原子氢转移机理》一文中研究指出氢转移对煤的加氢液化至关重要,理解氢转移机理对于改善煤液化过程具有重要意义。在微型反应釜中通过考察氢气的溶解、溶剂类型以及不同类型催化剂对煤高温快速液化的影响,揭示了煤高温快速液化过程中单原子氢和双原子氢的转移机理。结果表明,在以四氢萘、氢气为条件的高温快速液化过程中,主要的活性氢来源于溶剂所提供的单原子;在以四氢萘、氮气为条件的高温快速液化过程中,不同催化剂对溶剂提供单原子氢的影响不同。在以四氢萘和萘、氢气为条件的高温快速液化过程中,双原子氢基本未参与液化反应,溶解并不是其参与液化反应的主要影响因素。以萘为溶剂、氢气气氛下的高温快速液化过程中,双原子氢参与反应需要一定的时间。在以萘或四氢萘、氢气为条件的高温快速液化过程中通过加入一定量的催化剂,可以促使双原子氢快速参与反应。(本文来源于《化学反应工程与工艺》期刊2014年02期)
文金淼,李永红[4](2013)在《叁氟乙烷与氟原子氢提取反应的动力学研究》一文中研究指出采用双水平直接动力学方法研究了氢提取反应CH3CF3+F→CH2CF3+HF的反应机理.首先用MPW1K/6-311+G(d,p)方法优化了驻点的几何构型,并在相同水平上进行了频率分析,利用内禀反应坐标理论获得了最小的反应能量途径;随后,为了得到更准确的能量信息,采用MCG3-MPWPW91//MPW1K方法进行了单点能量校正;最后,根据变分过渡态理论计算了该反应在200~2 000K温度范围内的速率常数.结果表明,理论计算值与已有的实验值吻合.(本文来源于《化学研究》期刊2013年05期)
齐琳琳,孟洪波,岳广涛[5](2013)在《原子氢推进剂研究进展》一文中研究指出与通常的氢氧发动机相比,采用原子氢推进剂可以使比冲提高几百秒。通过介绍运载火箭采用原子氢推进剂的发展前景、原子氢推进剂火箭的起飞质量和干重,以及原子氢推进剂火箭设计的最佳方案,在比较宽的混合比范围、固氢颗粒中原子态含量范围、液氦载体含量范围估算火箭发动机性能,可以得到混合比为0时,作为单元推进剂的火箭起飞质量最低。原子氢推进剂以其优良的比冲性能给航天运载器带来质的飞跃,但对低温技术提出挑战。(本文来源于《导弹与航天运载技术》期刊2013年03期)
魏贤勇,宗志敏,周仕禄,倪中海,孙林兵[6](2011)在《煤加氢液化过程中的单原子与双原子氢转移》一文中研究指出氢转移对煤的加氢液化至关重要。大量的研究结果表明,催化剂不仅可以加快氢转移反应的速度,而且影响氢转移反应的历程:温和条件下金属硫化物和活性炭促进单原子氢转移,导致煤中特定桥键的选择性断裂,而金属催化双原子氢转移,造成煤中芳环的加氢。传统的观点认为促进煤的加氢液化的供氢化合物对单原子氢转移起着显着的抑制作用。(本文来源于《中国科技论文在线》期刊2011年12期)
牛智红,任正伟,贺振宏[7](2008)在《原子氢辅助分子束外延GaAs(331)A表面形貌演化(英文)》一文中研究指出研究了GaAs高指数面(331)A在原子氢辅助下分子束外延形貌的演化.原子力显微镜测试表明:在常规分子束外延情况下,GaAs外延层台阶的厚度和台面的宽度随衬底温度的升高而增加,增加外延层厚度会导致台阶的密度和台面的宽度增加然后饱和.而在原子氢辅助分子束外延情况下,当GaAs淀积量相同时GaAs外延层台阶的密度增大宽度减小.认为这是由于原子氢的作用导致Ga原子迁移长度的减小.在GaAs(331)A台阶基底上生长出InAs自组织纳米线,用光荧光测试研究了其光学各项异性特征.(本文来源于《光子学报》期刊2008年06期)
李建国[8](2007)在《原子氢对AZ91D镁合金微电偶腐蚀演化过程的影响机理 获2006年国家自然科学基金研究计划项目—青年科学基金项目》一文中研究指出哈尔滨工程大学腐蚀与防护实验室于2005年成立,目前承担国家级科研课题2项,企业横向科研课题2项,初步形成5人科研团队。 项目负责人:张涛,博士,副教授、硕士生导师。近7年来一直从事镁合金腐蚀电化学机理的基础研究工作。作为项目负责人承担国防9(本文来源于《科技日报》期刊2007-07-26)
康帅[9](2007)在《受限氢原子、氢分子离子特性研究》一文中研究指出外磁场和外加受限环境对原子性质有重要影响,相关研究是原子物理的基础研究方向之一,在理解量子混沌、量子尺寸效应和形状效应中有着重要的意义。采用量子力学理论对受限原子进行研究涉及变量不可分离薛定谔方程的求解、复杂边界条件及界面条件的处理等基本理论问题,因而有重要的学术意义。同时,外磁场和受限环境中原子性质的研究与其他学科(如:天体物理、凝聚态物理、等离子体物理等)有密切关系。本文利用B-spline基矢展开方法对氢原子抗磁谱、不同外势形式下的氢原子和氢分子离子体系进行了较为系统的研究,得到了一些有意义的结果。主要研究内容包括:1、对受限在均匀外磁场中的氢原子,计算了其高Rydberg态-40cm?1到零场电离阈的高精度抗磁谱,并和以往方法的结果作了比较,显示了B-spline方法的效率远优于其它方法;对其Rydberg态高密能谱作了统计分析,研究了其量子混沌特性。2、对受限在无限深椭球势阱中的氢原子,讨论了基态和低激发态能量随受限椭球大小和形状变化的一般规律,分析了量子尺寸效应和量子形状效应的起因。3、对受限在GaAs ? Ga1?xAlxAs球形量子点中的类氢原子,研究了量子点大小、不同偏心位置对类氢杂质能谱的影响;通过分波分析,对低激发非零l态能量随偏心距离的“异常”变化规律作了定量的解释。4、对受限在GaAs ? Ga1?xAlxAs球形量子点中的氢分子离子,研究了受限氢分子离子能谱随量子点大小、不同核间距的变化特性;提出了通过选择合适大小和核间距的类氢分子离子杂质系统实现电荷量子比特的准二能级系统的方案。(本文来源于《中国科学院研究生院(武汉物理与数学研究所)》期刊2007-06-01)
崔磊[10](2007)在《用TDDFT方法模拟氢原子、氢分子和氮分子高次谐波的产生》一文中研究指出随着强激光技术的发展,激光与原子分子相互作用的研究已经成为物理学中一个新的热点。实验表明在超强超短激光脉冲的作用下,原子分子会出现一系列微扰理论无法解释的新现象。其中高次谐波的产生,由于可以作为产生真空远紫外线和软X射线的可能途径,受到人们的极大关注。对原子分子高次谐波产生的研究可以系统地促进非微扰理论的建立和发展,使人们更好地理解强激光场中新的物理现象和物理机制,同时又为设计简便的高频相干激光源提供理论依据。人们通常用含时薛定谔方程描述激光和原子分子相互作用的简化模型。但是随着系统电子数和自由度的增加,此方法很快就超出了当前的计算能力。正在发展中的含时密度泛函理论(TDDFT)由于其物理思想明确、理论基础严密、计算实现便利、适用范围广泛而备受关注,并有望成为处理多电子系统线性和非线性含时响应行为的标准工具。本文采用含时密度泛函方法,结合赝势模型和电子交换相关作用的广义梯度近似,模拟了氢原子、氢分子和氮分子在超强飞秒激光脉冲作用下的高次谐波的产生现象,并研究了激光脉冲形状对氢原子高次谐波的影响以及激光脉冲偏振方向对氢分子和氮分子高次谐波的影响。计算结果表明氢原子、氢分子和氮分子的高次谐波谱都和典型的原子高次谐波谱结构相似,具有“下降-平台-截止”的结构和偶次谐波被禁闭仅出现奇次谐波的选择性特征;不同的脉冲形状会导致氢原子谐波谱性质的变化;氢分子和氮分子的谐波谱强度随着θ(激光偏振方向与分子轴向夹角)的增大而减小。这与相关的实验和理论结果基本一致。本工作为我们应用含时密度泛函理论去研究、揭示和解释更加丰富的原子分子非线性响应现象奠定了基础。(本文来源于《扬州大学》期刊2007-05-01)
原子氢论文开题报告
(1)论文研究背景及目的
此处内容要求:
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景,再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题,并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例:
极紫外光刻技术(Extreme ultraviolet lithography-EUVL)是未来22nm节点以下的主流光刻技术。在曝光过程中,光刻机内部EUV多层膜表面会沉积碳污染,不仅会导致光学元件反射率下降,芯片产量降低,还会影响光刻质量。随着光源功率的不断提高,EUV多层膜表面碳污染也越来越严重,如何降低碳污染对光学元件的危害逐步成为各相关实验室的研究重点。目前主要是通过清洗的方式将EUV多层膜表面的碳污染清除,降低危害。常用的清洗技术有射频-等离子体清洗、紫外光辐照清洗和原子氢清洗等,由于原子氢清洗具有对样品二次损害较小的优点,因此将原子氢清洗极紫外多层膜表面碳污染作为本文的主要研究内容。本论文对EUV多层膜表面碳污染原子氢清洗技术进行了研究,深入探讨了原子氢清洗碳污染的机理,并搭建原子氢清洗碳污染实验平台,利用原子氢实现了多层膜表面碳污染的清洗,主要研究内容如下:1.以分子动力学为基础,从物理和化学两个方面对原子氢清洗EUV多层膜表面多种形态(金刚石、石墨和聚合物等)碳污染的机理进行深入研究,并建立原子氢清洗碳污染的数学理论模型。利用模型对不同清洗条件下原子氢清洗碳污染的清洗速率进行合理预测和评估,为原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染实验提供理论指导。2.搭建了原子氢清洗碳污染实验平台。通过物理气相沉积(PVD)的方法在基底(如EUV多层膜光学元件、石英天平晶片和蓝宝石等)表面沉积石墨型碳层模拟碳污染。基于原子氢清洗碳污染实验平台,设计不同清洗条件下(如工作距离、基底温度和原子氢激发源功率等)原子氢清洗碳污染实验并利用石英天平测量速率变化。深入分析实验结果,与数学理论模型进行对比,得到各清洗条件对速率的影响规律。3.提出了适用于原子氢清洗碳污染实验平台的最佳清洗方案。用该方案对EUV多层膜碳污染样品进行清洗,并对比清洗前后样品反射率和表面粗糙度变化,评估原子氢清洗多层膜碳污染样品的清洗效果。4.基于椭圆偏光法研究了测量EUV多层膜样品表面碳污染厚度的方法,为未来在线测量和评估碳污染清洗过程中厚度变化提供理论基础。根据多层膜碳污染样品建立物理结构模型,针对各膜层材料选取相应的色散模型,利用椭偏仪基于建立的模型对多层膜样品清洗前后表面碳污染厚度值进行拟合测量,并对比分析不同色散模型的测量结果精度,选择出精度较高的色散模型。本论文研究了原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染的机理,通过实验分析了影响原子氢清洗碳污染的速率和效果的条件以及因素,并基于椭圆偏光法测量技术研究了测量EUV多层膜样品表面碳污染厚度的方法。为原子氢清洗EUV多层膜表面碳污染提供了理论依据,对未来开展在线清洗EUV多层膜表面碳污染工作具有重要意义和参考价值。
(2)本文研究方法
调查法:该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法:用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法:通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法:通过调查文献来获得资料,从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法:依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法:对研究对象进行“质”的方面的研究,这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法:通过具体的数字,使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法:运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法:这是社会科学用来分析社会现象的一种方法,从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法:通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
原子氢论文参考文献
[1].田壮壮,周晓平,宋国林.锂薄膜的第一性原理计算:量子尺寸效应和原子氢的吸附[J].计算物理.2018
[2].宋源.极紫外多层膜表面碳污染原子氢清洗技术研究[D].中国科学院长春光学精密机械与物理研究所.2016
[3].罗化峰,凌开成.煤高温快速液化过程中的单原子与双原子氢转移机理[J].化学反应工程与工艺.2014
[4].文金淼,李永红.叁氟乙烷与氟原子氢提取反应的动力学研究[J].化学研究.2013
[5].齐琳琳,孟洪波,岳广涛.原子氢推进剂研究进展[J].导弹与航天运载技术.2013
[6].魏贤勇,宗志敏,周仕禄,倪中海,孙林兵.煤加氢液化过程中的单原子与双原子氢转移[J].中国科技论文在线.2011
[7].牛智红,任正伟,贺振宏.原子氢辅助分子束外延GaAs(331)A表面形貌演化(英文)[J].光子学报.2008
[8].李建国.原子氢对AZ91D镁合金微电偶腐蚀演化过程的影响机理获2006年国家自然科学基金研究计划项目—青年科学基金项目[N].科技日报.2007
[9].康帅.受限氢原子、氢分子离子特性研究[D].中国科学院研究生院(武汉物理与数学研究所).2007
[10].崔磊.用TDDFT方法模拟氢原子、氢分子和氮分子高次谐波的产生[D].扬州大学.2007