高精度气体静压抛光轴部件设计

论文摘要

超精密平面抛光技术对光学元件加工具有重要意义。超精密平面抛光机床的加工精度与抛光轴的回转精度具有直接关系。通过分析制造工艺、安装与维护成本、工艺试验等对抛光轴的驱动方式进行设计;分析和计算了气体静压轴承的结构参数;对上静压板、芯轴、转台壳体等抛光轴关键部件进行静力学分析。经过分析计算,所设计的高精度气体静压抛光轴满足了各项需求指标,为超精密平面抛光机床设计提供指导。

论文目录

• 0 引言
• 1 抛光轴总体方案设计
•   1.1 伺服电机带传动
•   1.2 力矩电机直接驱动
• 2 抛光轴气体静压轴承设计
•   2.1 根据抛光轴总体设计方案,抛光轴的轴向承载力为:
•   2.2 抛光轴的径向承载为:
• 3 抛光轴关键零部件静态特性分析
•   3.1 上静压板静态特性分析
•   3.2 芯轴静态特性分析
•   3.3 转台壳体静力学特性分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 曹明琛,赵家宁,刘孟奇,赵强,白金峰,赵凌宇,顾亚文,谢瑞清,赵惠英

关键词: 超精密平面抛光机床,抛光轴,气体静压,设计

来源: 内燃机与配件 2019年17期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 金属学及金属工艺,仪器仪表工业

单位: 北京微纳精密机械有限公司,西安交通大学机械工程学院,中国工程物理研究院激光聚变中心

基金: 国家科技重大专项“大口径平面快速抛光机床研制”(2017ZX04022001-202),国防科工局基础产品创新计划车用动力科研专项(DEDPZF)

分类号: TH74;TG580.692

DOI: 10.19475/j.cnki.issn1674-957x.2019.17.070

页码: 143-146

总页数: 4

文件大小: 2823K

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