全文摘要
本实用新型公开了一种矽晶片装载架,包括支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,第一架体固定于支撑架的一侧部,支撑架的上端部设置有两个间隔分布的滑轨,第二架体的滑动连接于滑轨,丝杆的一端通过轴承转动连接于第一架体的下部,丝杆的杆部螺杆连接于第二架体的下部,丝杆的另一端固定于手摇柄,第一架体的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽,第二架体的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽。本实用新型有益效果:本实用新型设置有支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,通过手摇柄和丝杆可调节第一架体和第二架体之间间距,进而可放置不同尺寸的矽晶片,第一放置槽和第二放置槽用于放置矽晶片。
主设计要求
1.一种矽晶片装载架,其特征在于:包括支撑架(1)、第一架体(2)、第二架体(3)、丝杆(7)、滑轨(6)和手摇柄(8),所述第一架体(2)固定于所述支撑架(1)的一侧部,所述支撑架(1)的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨(6),所述第二架体(3)的滑动连接于所述滑轨(6),所述丝杆(7)的一端通过轴承转动连接于所述第一架体(2)的下部,所述丝杆(7)的杆部螺杆连接于所述第二架体(3)的下部,所述丝杆(7)的另一端固定于所述手摇柄(8),所述第一架体(2)的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽(10),所述第二架体(3)的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽(11。
设计方案
1.一种矽晶片装载架,其特征在于:包括支撑架(1)、第一架体(2)、第二架体(3)、丝杆(7)、滑轨(6)和手摇柄(8),所述第一架体(2)固定于所述支撑架(1)的一侧部,所述支撑架(1)的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨(6),所述第二架体(3)的滑动连接于所述滑轨(6),所述丝杆(7)的一端通过轴承转动连接于所述第一架体(2)的下部,所述丝杆(7)的杆部螺杆连接于所述第二架体(3)的下部,所述丝杆(7)的另一端固定于所述手摇柄(8),所述第一架体(2)的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽(10),所述第二架体(3)的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽(11。
2.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:每排所述第一放置槽(10)和第二放置槽(11)均在同一纵平面上。
3.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)和第二架体(3)的截面形状均为L型。
4.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)和第二架体(3)的下部前后均设置有导向轴(12),所述导向轴(12)固定于所述第一架体(2),所述导向轴(12)滑动连接于所述第二架体(3)。
5.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第一架体(2)的上部前后端均固定有导向筒(4),所述第二架体(3)上部前后端均固定有与导向筒(4)配合连接的导向杆(5)。
6.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述手摇柄(8)套装有防滑套(9)。
7.如权利要求6所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述防滑套(9)的外部设置有多个环形分布的防滑凸起(13)。
8.如权利要求1所述的一种矽晶片装载架,其特征在于:所述第二架体(3)的下部设置有与滑轨(6)配合滑动连接的滑槽(14)。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及电子元件技术领域,尤其是一种矽晶片装载架。
背景技术
硅片是制作集成电路的重要材料,通过对硅片进行光刻、离子注入等手段,可以制成各种半导体器件,利用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力,科学技术的发展不断推动着半导体、自动化和计算机等技术的发展,硅片的应用非常广泛,涉及航空航天、工业、农业和国防等多个领域。硅片的制作工艺复杂,对其质量要求较高,其中,晶片清洗是生产晶片的重要步骤之一,是获取高质量晶片的关键,晶片装载架是晶片清洗过程中,用于装载晶片的装置。
目前,现有晶片装载架不便于安装和拆卸,使用不便,且不能放置多种尺寸的晶片。
因此,对于上述问题有必要提出一种矽晶片装载架。
实用新型内容
针对上述现有技术中存在的不足,本实用新型的目的在于提供一种矽晶片装载架。
一种矽晶片装载架,包括支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,所述第一架体固定于所述支撑架的一侧部,所述支撑架的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨,所述第二架体的滑动连接于所述滑轨,所述丝杆的一端通过轴承转动连接于所述第一架体的下部,所述丝杆的杆部螺杆连接于所述第二架体的下部,所述丝杆的另一端固定于所述手摇柄,所述第一架体的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽,所述第二架体的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽。
与现有技术相比,本实用新型有益效果:本实用新型设置有支撑架、第一架体、第二架体、丝杆、滑轨和手摇柄,通过手摇柄和丝杆可调节第一架体和第二架体之间间距,进而可放置不同尺寸的矽晶片,第一放置槽和第二放置槽用于放置矽晶片。
进一步的,每排所述第一放置槽和第二放置槽均在同一纵平面上。
采用进一步的技术方案有益效果:便于矽晶片的放置。
进一步的,所述第一架体和第二架体的截面形状均为L型。
进一步的,所述第一架体和第二架体的下部前后均设置有导向轴,所述导向轴固定于所述第一架体,所述导向轴滑动连接于所述第二架体。
采用进一步的技术方案有益效果:导向轴起到导向作用。
进一步的,所述第一架体的上部前后端均固定有导向筒,所述第二架体上部前后端均固定有与导向筒配合连接的导向杆。
采用进一步的技术方案有益效果:导向杆和导向筒进一步的对第一架体和第二架体起到导向作用。
进一步的,所述手摇柄套装有防滑套,所述防滑套的外部设置有多个环形分布的防滑凸起。
采用进一步的技术方案有益效果:防滑凸起对防滑套起到防滑作用。
进一步的,所述第二架体的下部设置有与滑轨配合滑动连接的滑槽。
采用进一步的技术方案有益效果:第二架体的滑槽便于与滑轨滑动连接。
附图说明
图1是本实用新型提供的矽晶片装载架结构图;
图2是本实用新型的俯视图;
图3是本实用新型的第二架体侧面结构图;
图4是本实用新型的手摇柄。
图中附图标记:1、支撑架;2、第一架体;3、第二架体;4、导向筒;5、导向杆;6、滑轨;7、丝杆;8、手摇柄;9、防滑套;10、第一放置槽;11、第二放置槽;12、导向轴;13、防滑凸起;14、滑槽。
具体实施方式
需要说明的是,在不冲突的情况下,本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
在本实用新型的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本实用新型和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本实用新型的限制。此外,术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中,除非另有说明,“多个”的含义是两个或两个以上。
在本实用新型的描述中,需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以下结合附图对本实用新型的实施例进行详细说明,但是本实用新型可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
如图1并结合图2至图3所示,一种矽晶片装载架,包括支撑架 1、第一架体2、第二架体3、丝杆7、滑轨6和手摇柄8,所述第一架体2固定于所述支撑架1的一侧部,所述支撑架1的上端部设置有两个间隔分布的所述滑轨6,所述第二架体3的滑动连接于所述滑轨 6,所述丝杆7的一端通过轴承转动连接于所述第一架体2的下部,所述丝杆7的杆部螺杆连接于所述第二架体3的下部,所述丝杆7的另一端固定于所述手摇柄8,所述第一架体2的上部设置有多个间隔分布的第一放置槽10,所述第二架体3的上部设置有多个间隔分布的第二放置槽11。
与现有技术相比,本实用新型有益效果:本实用新型设置有支撑架1、第一架体2、第二架体3、丝杆7、滑轨6和手摇柄8,通过手摇柄8和丝杆7可调节第一架体2和第二架体3之间间距,进而可放置不同尺寸的矽晶片,第一放置槽10和第二放置槽11用于放置矽晶片。
优选地,每排所述第一放置槽10和第二放置槽11均在同一纵平面上。
采用优选地技术方案有益效果:便于矽晶片的放置。
优选地,所述第一架体2和第二架体3的截面形状均为L型。
优选地,所述第一架体2和第二架体3的下部前后均设置有导向轴12,所述导向轴12固定于所述第一架体2,所述导向轴12滑动连接于所述第二架体3。
采用优选地技术方案有益效果:导向轴12起到导向作用。
优选地,所述第一架体2的上部前后端均固定有导向筒4,所述第二架体3上部前后端均固定有与导向筒4配合连接的导向杆5。
采用优选地技术方案有益效果:导向杆5和导向筒4进一步的对第一架体2和第二架体3起到导向作用。
优选地,所述手摇柄8套装有防滑套9,所述防滑套9的外部设置有多个环形分布的防滑凸起13。
采用优选地技术方案有益效果:防滑凸起13对防滑套9起到防滑作用。
优选地,所述第二架体3的下部设置有与滑轨6配合滑动连接的滑槽14。
采用优选地技术方案有益效果:第二架体3的滑槽14便于与滑轨6滑动连接。
工作流程:手摇手摇柄8将第一架体2和第二架体3调节至合适间隔,然后矽晶片分别放入各个第一放置槽10和第二放置槽11上。以上所述仅为本实用新型的优选实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换,或直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920120713.X
申请日:2019-01-23
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:44(广东)
授权编号:CN209461428U
授权时间:20191001
主分类号:H01L 21/673
专利分类号:H01L21/673;H01L21/677
范畴分类:38F;23E;
申请人:佛山市南海益晶科技有限公司
第一申请人:佛山市南海益晶科技有限公司
申请人地址:528000 广东省佛山市南海里水镇宏岗沥口东兴路13号之四
发明人:范群意
第一发明人:范群意
当前权利人:佛山市南海益晶科技有限公司
代理人:张伶俐
代理机构:42241
代理机构编号:武汉明正专利代理事务所(普通合伙)
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签:丝杆论文;