论文摘要
用磁控溅射的方法在石英基底上制备了金(Au)膜,研究了Au膜在近激光损伤阈值(LIDT)飞秒脉冲激光辐照下的物相结构和表面形貌。结果表明:所制备的Au膜为(111)面取向生长的薄膜;近LIDT的激光辐照使辐照区的Au膜形成大晶粒,并由(111)单一取向变为多晶结构;Au膜晶粒尺寸的增大会导致表面粗糙度增加。实验结果为明确Au膜在飞秒激光作用下的损伤过程及后期应用提供了依据。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 崔云,张晗宇,赵元安,晋云霞,朱美萍,邵建达
关键词: 薄膜,飞秒激光,激光损伤阈值,损伤形貌
来源: 中国激光 2019年02期
年度: 2019
分类: 基础科学,工程科技Ⅰ辑,工程科技Ⅱ辑,信息科技
专业: 物理学,材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学
单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所强激光材料重点实验室薄膜光学实验室
基金: 中国科学院战略性先导科技专项B类(XDB1603)
分类号: TB383.2;TN249
页码: 65-70
总页数: 6
文件大小: 3060K
下载量: 148
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