平面微型超级电容器石墨烯电极制备与表征

论文摘要

为了研究化学气相沉积法（CVD）制备石墨烯电极性能,通过对CVD工艺参数的改进,成功地制备出了符合全固态平面微型超级电容器离子传输机制所需要的石墨烯薄膜电极。对比相同生长时间,不同甲烷浓度的石墨烯薄膜的性能;对比相同甲烷浓度,不同生长时间的石墨烯薄膜性能。结果表明,温度1 000℃、甲烷流量35 sccm、氢气流量10 sccm、生长时间60 min时,制备出的石墨烯薄膜质量和性能最好。此时石墨烯薄膜具有较低的薄膜方阻（60.28Ω/sq-155.75Ω/sq）,厚度为1.25 nm。为平面微型超级电容器的进一步研究提供了重要参考。

论文目录

• 0 引 言
• 1 石墨烯电极制备
•   1.1 石墨烯制备
•     1.1.1 铜基底预处理
•     1.1.2 退火处理
•     1.1.3 石墨烯的生长
•   1.2 石墨烯的转移
• 2 石墨烯电极表征
•   2.1 拉曼光谱表征
•     2.1.1 不同碳源浓度拉曼光谱分析
•     2.1.2 不同生长时间拉曼光谱分析
•   2.2 原子力显微镜表征
•   2.3 导电性表征
• 3 结 论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张光宇,尹雁,赵鹏飞,刘琳婧,李闯,吕胤霖,陈玉娟,朱大福,杨昕瑞

关键词: 石墨烯,化学气相沉积,平面微型超级电容器

来源: 哈尔滨理工大学学报 2019年01期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑

专业: 电力工业

单位: 哈尔滨理工大学应用科学学院

基金: 黑龙江省自然科学基金(F200831),黑龙江省大学生创新创业训练计划项目(201510214050)

分类号: TM53

DOI: 10.15938/j.jhust.2019.01.022

页码: 132-137

总页数: 6

文件大小: 1162K

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