Co3O4-ZnO p-n异质结构低温丙酮气体传感器

论文摘要

研究了不同掺杂浓度的Co3O4-ZnO纳米复合材料的丙酮气敏特性,并讨论了可见光照射下的光电响应及丙酮气敏响应机理。采用溶胶-凝胶法,制备了Co3O4掺杂质量分数分别为0、2.13%、4.13%和6.13%的Co3O4-ZnO纳米复合材料,利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜、能谱仪和分光光度计对其物相和表面形貌进行了表征。结果表明:掺杂Co3O4提高了ZnO厚膜的灵敏度和选择性,在30℃的工作温度下,Co3O4掺杂质量分数为4.13%的Co3O4-ZnO样品对体积分数为10-4的丙酮的灵敏度为24.36。在可见光照射下,光激发效果明显增强,其灵敏度高达37.24。由Co3O4掺杂质量分数为4.13%的Co3O4-ZnO制成的传感器表现出优异的丙酮传感特性,有望应用于低功率丙酮气体传感器。

论文目录

• 0 引言
• 1 实验
•   1.1 制备
•   1.2 表征
•   1.3 测试
• 2 结果与讨论
•   2.1 物相
•   2.2 气敏特性
•   2.3 光电气敏特性
• 3 机理分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 韩楠,潘国峰,郑洁,王如

关键词: 传感器,光电响应,气敏性能,异质结

来源: 半导体技术 2019年05期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 材料科学,自动化技术

单位: 河北工业大学电子信息工程学院,天津市电子材料与器件重点实验室

基金: 国家科技重大专项资助项目(2016ZX02301003-004-007),天津市自然科学基金资助项目(17JCTPJC54500),河北省高等学校科学技术研究重点项目(ZD2016123)

分类号: TP212;TB34

DOI: 10.13290/j.cnki.bdtjs.2019.05.010

页码: 379-385+400

总页数: 8

文件大小: 2709K

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