冶金法提纯多晶硅退火工艺优化的数学模型分析与试验验证

论文摘要

冶金法制备多晶硅过程中,通过对不同退火温控方案进行数学建模,探求优化的退火理论温度控制函数与曲线。数学模型表明,对硅铸锭直接进行保温,依靠自然热平衡退火,会使内部应力大于产生位错的临界应力;采用加热元件对硅铸锭适当加热保温可减缓降温速率。通过比较,选择较低的退火温度1 236℃和较短的退火时间8.52 ks作为试验退火温控方案。试验验证表明,该退火方案得到的多晶硅铸锭目视裂纹较少,少数载流子寿命与电阻率具有明显优势。

论文目录

• 0 引言
• 1 数学建模
•   1.1 针对第一种退火工艺的建模
•   1.2 针对第二种退火工艺的建模
• 2 数学模型求解与讨论
•   2.1 第一种退火工艺数学模型求解
•   2. 2 第二种退火工艺数学模型求解
•   2.3 求解结果讨论
• 3 实验
•   3.1 实验结果
•   3.2 分析与讨论
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 朱徐立,徐隆,苏骑,吴虹琼

关键词: 多晶硅,冶金法,退火,建模,试验

来源: 宇航材料工艺 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑

专业: 无机化工

单位: 厦门城市职业学院机械与自动化工程系,厦门理工学院软件工程学院

基金: 福建省中青年教师教育科研项目(JAT171051)

分类号: TQ127.2

页码: 23-27

总页数: 5

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