晶体生长过程高精度温度控制系统设计

论文摘要

目前晶体生长装置通常采用PLC进行控制,但常规PLC的温度测量精度达不到要求的控制精度。采用PLC和高精度智能温度控制表结合,使生长槽温度精度达到±0.01℃。同时设计顺序降温控制,在规定的时间内,可进行阶段性的降温达到设定的温度。该系统已在实际生产中使用,满足了高品质晶体生长的要求。

论文目录

• 0 引言
• 1 晶体生长系统的总体结构与控制要求
•   1.1 晶体生长系统的总体结构
•   1.2 晶体生长系统的控制要求
• 2 晶体生长系统的硬件架构
• 3 晶体生长系统的软件设计
•   3.1 温度控制
•   3.2 顺序降温
•   3.3 电机控制
•   3.4 液位控制
• 4 结语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 沈正阳,潘丰

关键词: 晶体生长,温度控制,顺序控制,系统设计

来源: 机械制造与自动化 2019年03期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技

专业: 化学,自动化技术

单位: 江南大学轻工过程先进控制教育部重点实验室

分类号: O78;TP273

DOI: 10.19344/j.cnki.issn1671-5276.2019.03.056

页码: 220-222+228

总页数: 4

文件大小: 1008K

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