低温下生物衬底上制备半导体氧化物薄膜

半导体材料由于其优异的特性,近年来成为了材料科学与物理、化学、生物、电子信息技术等交叉学科研究的热点。本文研究了在生物衬底上制备半导体氧化物薄膜材料的工艺与技术,实现了低温下生物衬底上氧化物半导体薄膜材料的制备与研究。

1 生物蛋白衬底的制备

1.1 玉米蛋白简介。

1.2 实验部分

2 基于玉米蛋白衬底的氧化锌薄膜制备

3 基于玉米蛋白衬底的氧化锌薄膜材料的表征。

类型: 期刊论文

作者: 敬天宇,李琦,阮颖杰,艾大鹏,王超

关键词: 半导体材料,生物衬底,低温

来源: 科学技术创新 2019年16期

年度: 2019

分类: 基础科学,工程科技Ⅱ辑,工程科技Ⅰ辑,信息科技

专业: 材料科学,工业通用技术及设备,无线电电子学

单位: 吉林建筑大学电气与计算机学院,大陆汽车电子(长春)有限公司

基金: 吉林省大学生创新创业训练计划项目2018S1108,吉林省科技厅科技项目20170101111JC,吉林省教育厅科技项目JJKH20170243KJ

分类号: TB383.2;TN304

页码: 36-37

总页数: 2

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