一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备论文和设计-张逸杰

全文摘要

本实用新型提供了一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备，备用支撑设备包括主体和杆件，所述杆件的一端可伸缩的连接在所述主体上，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠，该备用支撑设备的结构简单，便于操作。

主设计要求

1.一种用于气相沉积设备的备用支撑设备，其特征在于，包括主体和杆件，所述杆件的一端可伸缩的连接在所述主体上，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠。

设计方案

2.如权利要求1所述的备用支撑设备，其特征在于，所述主体包括一连接孔，所述连接孔具有内螺纹，所述杆件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述杆件的一端螺纹连接在所述主体的连接孔中。

3.如权利要求2所述的备用支撑设备，其特征在于，还包括把手，所述把手用于带动所述杆件旋转进入或离开所述连接孔，所述把手固定连接在所述杆件的另一端，所述把手背离所述杆件的表面用于与所述气相沉积设备抵靠。

4.如权利要求3所述的备用支撑设备，其特征在于，所述把手包括至少3组孔洞，所述至少3组孔洞在所述把手的周向上均匀分布，每组所述孔洞包括两个关于所述把手的中心轴对称分布的孔洞，使得外力作用于每组所述孔洞中时可旋转所述把手。

5.如权利要求1所述的备用支撑设备，其特征在于，还包括耐磨损层，所述耐磨损层至少形成于所述备用支撑设备与所述气相沉积设备相抵靠的表面上。

6.如权利要求4所述的备用支撑设备，其特征在于，还包括一扳手，所述扳手卡合在每组所述孔洞中，外力作用于所述扳手上以旋转所述把手。

7.如权利要求6所述的备用支撑设备，其特征在于，所述扳手包括主柱和位于所述主柱两侧的两个辅柱，所述两个辅柱固定于所述主柱的一端，且分别设置于所述主柱相对的两侧上，所述主柱与两个辅柱在所述主柱的一端形成一“凹”型凹陷。

8.一种带有备用支撑的气相沉积设备，其特征在于，包括：

至少两个如权利要求1-7中任一项所述的备用支撑设备；

反应腔室，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；

腔室支撑框，包括相对设置的第一支撑侧壁和第二支撑侧壁；

气缸，固定在所述第二支撑侧壁上，且与所述第二侧壁连接；

所述反应腔室位于所述腔室支撑框中，且所述第一侧壁与所述第一支撑侧壁相互抵靠；在所述气缸工作时，所述气缸在所述第二侧壁上施加的压力与第一支撑侧壁将所述反应腔室悬浮固定在所述腔室支撑框中，所述至少两个备用支撑设备位于所述第二支撑侧壁和第二侧壁之间，且所述备用支撑设备分别与其两侧的所述第二侧壁和第二支撑侧壁相互抵靠，在所述气缸无法工作时，所述至少两个备用支撑设备与第一支撑侧壁将所述反应腔室悬浮固定在所述腔室支撑框中。

9.如权利要求8所述的带有备用支撑的气相沉积设备，其特征在于，所述备用支撑设备沿主体延伸方向的长度为所述第二支撑侧壁与所述第二侧壁之间间隔的距离。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体制造领域，特别涉及一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备。

背景技术

化学气相沉积是通过化学反应的方式，利用加热、等离子激励或光辐射等各种能源，在反应腔室内使气态或蒸汽状态的化学物质在气相或气固界面上经化学反应形成固态沉积物的技术。

化学气相沉积设备中，反应腔室通常固定在支撑框中，如图1所示，支撑框20例如包括前支撑侧壁21和后支撑侧壁22，反应腔室10设置在所述前支撑侧壁21和后支撑侧壁22之间，且所述反应腔室10被夹持固定在前支撑壁21与气缸所提供的压力F之间，使得反应腔室可以悬浮在支撑框中。气缸的驱动气体源包括主要驱动气体源(例如：厂务所提供的普氮)和备用驱动气体源(例如：压缩气体装置提供的压缩气体)。当厂务出现突发状况无法提供主要驱动气体源时，化学气相沉积设备会无缝切换为备用气体源，但是，当厂务出现突发状况，同时备用气体源也出现突发状况时，气缸没有了驱动气体源，使得反应腔室10无法悬浮而跌落，造成反应腔室内多个零部件以及与反应腔室连接的各种管道等均出现破损，造成严重的损失。

因此，本实用新型需要一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备可以在气缸无法提供夹持固定反应腔室的压力时，可以临时替代气缸提供该夹持固定反应腔室的压力。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型一方面提供一种备用支撑设备，包括主体和杆件，所述杆件的一端可伸缩的连接在所述主体上，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠。

可选的，所述主体包括一连接孔，所述连接孔具有内螺纹，所述杆件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述杆件的一端螺纹连接在所述主体的连接孔中。

可选的，还包括把手，所述把手用于带动所述杆件旋转进入或离开所述连接孔，所述把手固定连接在所述杆件的另一端，所述把手背离所述杆件的表面用于与所述气相沉积设备抵靠。

可选的，所述把手包括至少3组孔洞，所述至少3组孔洞在所述把手的周向上均匀分布，每组所述孔洞包括两个关于所述把手的中心轴对称分布的孔洞，使得外力作用于每组所述孔洞中时可旋转所述把手。

可选的，还包括耐磨损层，所述耐磨损层至少形成于所述备用支撑设备与所述气相沉积设备相抵靠的表面上。

可选的，还包括一扳手，所述扳手卡合在每组所述孔洞中，外力作用于所述扳手上以旋转所述把手。

进一步的，所述扳手包括主柱和位于所述主柱两侧的两个辅柱，所述两个辅柱固定于所述主柱的一端，且分别设置于所述主柱相对的两侧上，所述主柱与两个辅柱在所述主柱的一端形成一“凹”型凹陷。

本实用新型另一方面提供一种带有备用支撑的气相沉积设备，包括至少两个上述的备用支撑设备。

可选的，还包括：

反应腔室，包括相对设置的第一侧壁和第二侧壁；

腔室支撑框，包括相对设置的第一支撑侧壁和第二支撑侧壁；

气缸，固定在所述第二支撑侧壁上，且与所述第二侧壁连接；

进一步的，所述备用支撑设备沿主体延伸方向的长度为所述第二支撑侧壁与所述第二侧壁之间间隔的距离。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型提供了一种备用支撑设备包括主体和杆件，所述杆件的一端可伸缩的连接在所述主体上，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠，该备用支撑设备的结构简单，便于操作。进一步的，所述主体包括一连接孔，所述连接孔具有内螺纹，所述杆件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述杆件的一端螺纹连接在所述主体的连接孔中，主体和杆件以螺纹形式连接，使得该备用支撑设备更加的便于操作，此外，备用支撑设备还包括一扳手，外力通过扳手作用于把手上以旋转把手带动杆件在主体中上升或下降，以改变备用支撑设备的高度。

本实用新型提供了一种带有备用支撑的气相沉积设备，通过在支撑框第二支撑侧壁与所述第二侧壁之间设置至少两个备用支撑设备，在气缸无法提供使得反应腔室悬浮固定的压力F时，至少两个备用支撑设备可以临时替代气缸提供压力F以避免反应腔室因为缺乏支撑力而跌落而造成的严重的损失，同时备用支撑设备独立于气相沉积设备，可以进行独立操作。

附图说明

图1为一种气相沉积设备的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例的一种备用支撑设备的侧面示意图；

图3为本实用新型一实施例的一种备用支撑设备的局部剖面结构示意图；

图4为本实用新型一实施例的一种备用支撑设备的俯视结构示意图；

图5为本实用新型一实施例的扳手的结构示意图；

图6为本实用新型一实施例的一种带有备用支撑的气相沉积设备的结构示意图。

附图标记说明：

图1中：

10-反应腔室；20-支撑框；21-前支撑侧壁；22-后支撑侧壁；

图2-6中：

100-备用支撑设备；110-主体；111-连接孔；121-杆件；122-把手；130-扳手；131-主柱；132-辅柱；

200-反应腔室；210-第一侧壁；220-第二侧壁；

300-腔室支撑框；310-第一支撑侧壁；320-第二支撑侧壁；

400-气缸。

具体实施方式

下面将结合流程图和示意图对本实用新型的一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型，而仍然实现本实用新型的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。

在下列段落中参照附图以举例方式更具体地描述本实用新型。根据下面说明，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图2～4所示，本实施例提供了一种备用支撑设备100，使用于气相沉积设备。所述备用支撑设备100包括主体110，所述主体110例如是不锈钢主体，以利于提供一个较高的支撑力。所述主体110的形状例如是圆台、椭圆台、柱体或棱台，所述主体110包括一连接孔111，所述主体110沿其延伸方向的一个端面向内凹陷以形成所述连接孔，换言之，所述连接孔111可以为沿所述主体110延伸方向的通孔结构，所述连接孔111也可以为沿所述主体110延伸方向的孔洞结构，还可以理解为，所述连接孔111的深度小于等于所述主体110沿其延伸方向的长度(即高度)。所述连接孔111具有内螺纹。所述主体110沿其延伸方向的长度可以根据实际需要的尺寸进行变化，具体不作限定。在本实施例中，所述主体110的形状优选的为柱体，例如是圆柱体。

所述备用支撑设备100还包括杆件121，所述杆件121的一端可伸缩的连接在所述主体110上，所述杆件121的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠。所述杆件121例如是不锈钢杆件，以利于提供一个较高的支撑力。所述杆件121(例如是丝杆)的一端具有与所述连接孔111的内螺纹相匹配的外螺纹，使得杆件121可以在所述连接孔111中螺旋上升或下降。当使用所述备用支撑设备100时，所述杆件121的一端螺纹连接在所述主体110的连接孔111中。优选的，所述杆件121的长度小于等于所述主体110沿其延伸方向的长度。

可选的，所述备用支撑设备100还包括把手122，所述把手用于带动所述杆件旋转进入或离开所述连接孔，所述把手122固定连接在所述杆件121的另一端，且所述把手122背离所述杆件121的表面用于与所述气相沉积设备抵靠。所述把手122例如是不锈钢把手122，所述把手122的形状可以是具有一定厚度的圆形、椭圆形或多边形，所述把手122的厚度例如是大于等于0.5cm，以便于在手动旋转把手122时不易损坏。

所述把手122上具有至少3组孔洞，使得外力作用于每组所述孔洞中时可带动所述丝杆121旋转。优选的，所述至少3组孔洞与把手122的中心的夹角相同，即，所述至少3组孔洞在所述把手122的周向上均匀分布，在手动旋转把手122时，当部分把手122被遮挡时，可以正常的旋转手动螺栓。每组孔洞包括两个关于所述把手的中心轴对称分布的孔洞，使得外力作用于每组所述孔洞中时可旋转所述把手。优选的，所述每组孔洞的两个孔洞之间的距离大于等于所述把手122例如是具有一定厚度的圆形的直径的1\/4倍。在本实施例中，所述把手122具有四组缺口，且所述把手122例如是十字型把手。

所述备用支撑设备100还包括耐磨损层，所述耐磨损层例如是特氟龙涂层，所述耐磨损层至少形成于所述备用支撑设备100与所述气相沉积设备相抵靠的表面上，进一步的，所述耐磨损层至少形成于所述把手122背离所述杆件121的表面上，以防止划伤气相沉积设备与所述备用支撑设备100相抵靠的表面。

图5为本实施例的扳手的结构示意图。如图5所示，可选的，所述备用支撑设备10还包括一扳手130，所述扳手130例如是不锈钢扳手，所述扳手130卡合在所述把手122每组孔洞中，可通过外力作用于每组孔洞之间的把手122上来旋转所述把手122，以使得所述手动螺栓的杆件121在所述主体110的连接孔111中旋转。所述扳手130包括主柱131和位于所述主柱131两侧的两个辅柱132，所述主柱131例如是四棱柱，所述两个辅柱132固定于所述主柱131的一端，且分别位于所述主柱131相对的两侧壁上，所述主柱131与两个辅柱132在所述主柱131的一端形成一“凹”型凹陷，即，所述两个辅柱132的一端的端顶高于所述主柱131在同一端的端顶。所述凹陷的深度大于等于所述把手122厚度的一半，所述凹陷的宽度(即所述两个辅柱132之间的间距)与所述每组所述孔洞之间的宽度相同。优选的，所述主柱131暴露在所述两个辅柱132外的长度大于等于5cm，当然该长度可以根据实际需求变化，具体不作限定。

在本实施例中，备用支撑设备包括主体、杆件、把手和扳手，主体包括一具有内螺纹的连接孔，所述杆件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述杆件的一端螺纹连接在所述主体的连接孔中，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠，且所述杆件的另一端与所述气相沉积设备相抵靠的表面上具有耐磨损层，所述把手上具有至少3组孔洞，扳手130通过每组的孔洞对把手提供外力使得杆件可以在连接孔中旋转，从而调节了备用支撑设备沿其延伸方向的长度。可知，备用支撑设备结构简单，便于操作。

图6为本实施例的一种带有备用支撑的气相沉积设备的结构示意图。如图6所示，本实施例还提供了一种带有备用支撑的气相沉积设备，所述气相沉积设备例如是化学气相沉积设备。所述带有备用支撑的气相沉积设备包括反应腔室200、腔室支撑框300和气缸400。所述反应腔室200例如是长方体结构，所述反应腔室200包括相对设置的第一侧壁210和第二侧壁220，所述腔室支撑框300包括第一支撑侧壁310以及与之对应的第二支撑侧壁320，所述反应腔室200位于所述腔室支撑框300中，且所述反应腔室200的第一侧壁210与所述第一支撑侧壁310相互抵靠。可选的，所述第二侧壁220上设置有与所述反应腔室200连接的其他结构，例如是支撑结构，其用于连接反应腔室200内的通气管道以将反应腔室200中的气体排出，同时用于避免气缸400所施加的外力直接作用在反应腔室200上。所述气缸400固定在所述第二支撑侧壁320上，且所述气缸400通过支撑结构与所述反应腔室200的第二侧壁220连接。在所述气缸400工作时，其在所述第二侧壁220上施加一压力F，使得所述反应腔室200可以克服重力作用而悬浮固定在所述腔室支撑框300中。所述气缸400的驱动气体源包括主要驱动气体源(例如：厂务所提供的普氮)和备用驱动气体源(例如：压缩气体装置提供的压缩气体)，所述主要驱动气体源通过气缸400可提供的压力例如为80psig(磅)，所述备用驱动气体源通过气缸400可提供的压力例如为60psig(磅)。

同时请参阅图2～5，所述带有备用支撑的气相沉积设备还包括至少两个备用支撑设备100，在所述气缸400出现状况无法保证反应腔室200悬浮时，其用于临时替代所述气缸400提供反应腔室200悬浮的压力。可知，所述备用支撑设备100独立于气相沉积设备，使得其可以单独操作，并且可以临时替代气缸400对反应腔室200提供压力，避免了无替代时造成的反应腔室200跌落造成的严重损失。所述备用支撑设备100位于所述第二支撑侧壁320与所述第二侧壁220之间，且所述备用支撑设备100沿主体延伸方向的长度例如为所述第二支撑侧壁320与所述第二侧壁220之间的距离，即，所述备用支撑设备100的主体110沿主体延伸方向的长度与所述把手122的厚度小于等于所述第二支撑侧壁320与所述第二侧壁220之间的距离。

优选的，所述备用支撑设备100的主体110沿主体延伸方向的长度与所述把手122的厚度等于所述第二支撑侧壁320与所述第二侧壁220之间的距离。所述备用支撑设备100的把手122背离主体110的一侧的表面与所述第二侧壁220相互抵靠，所述备用支撑设备100的主体110背离所述把手122的一侧的表面与所述第二支撑侧壁320相互抵靠；或者，所述备用支撑设备100的把手122背离主体110的一侧的表面与所述第二支撑侧壁320相互抵靠，所述备用支撑设备100的主体110背离所述把手122的一侧的表面与所述第二侧壁220相互抵靠。在所述气缸400无法工作时(即，所述气缸400无法提供压力F时)，所述至少两个备用支撑设备100共同提供压力F与第一支撑侧壁310相互配合将所述反应腔室200悬浮固定在所述腔室支撑框300中。

优选的，所述至少两个备用支撑设备100位于所述第二侧壁220的中心点的对称位置上，例如，所述带有备用支撑的气相沉积设备包括两个备用支撑设备100时，所述两个备用支撑设备100与所述第二侧壁220的中心点在同一直线上除气缸400连接位置外的位置，且距离所述第二侧壁220的中心点的距离相同；再例如，所述带有备用支撑的气相沉积设备包括三个备用支撑设备100时，所述三个备用支撑设备100组成一等边三角形，且所述第二侧壁220的中心点位于该等边三角形的中心位置。在本实施例中，所述带有备用支撑的气相沉积设备包括两个备用支撑设备100。

当所述至少两个备用支撑设备100共同提供压力F时，所述主体110的两个底面的直径例如均是2cm～4cm。在本实施例中，所述至少两个备用支撑设备100共同提供压力F为60psig(磅)，所述主体110两个底面的直径优选的均为3cm～4cm。所述连接孔111孔壁的厚度范围在1～3cm之间，以避免由于孔壁太薄造成支撑强度不够无法正常支撑被支撑物，所述把手122的厚度例如是大于等于0.5cm。在其他实施例中，上述各尺寸可以根据备用支撑设备100需要提供的压力F的具体取值进行变换。

综上所述，本发明提供了一种备用支撑设备包括主体和杆件，所述杆件的一端可伸缩的连接在所述主体上，所述杆件的另一端用于与所述气相沉积设备抵靠。本实用新的备用支撑设备的结构简单，便于操作。进一步的，所述主体包括一连接孔，所述连接孔具有内螺纹，所述杆件的一端具有与所述内螺纹相匹配的外螺纹，所述杆件的一端螺纹连接在所述主体的连接孔中，主体和杆件以螺纹形式连接，使得该备用支撑设备更加的便于操作，此外，备用支撑设备还包括一扳手，外力通过扳手作用于把手上以旋转把手带动杆件在主体中上升或下降，以改变备用支撑设备的高度。

本发明提供了一种带有备用支撑的气相沉积设备，通过在支撑框第二支撑侧壁与所述第二侧壁之间设置至少两个备用支撑设备，在气缸无法提供使得反应腔室悬浮固定的压力F时，至少两个备用支撑设备可以临时共同提供压力F以避免反应腔室因为缺乏支撑力而跌落而造成的严重的损失。

可以理解的是，虽然本发明已以较佳实施例披露如上，然而上述实施例并非用以限定本发明。对于任何熟悉本领域的技术人员而言，在不脱离本发明技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案作出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本发明技术方案保护的范围内。

设计图

一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备论文和设计

一种备用支撑设备及带有备用支撑的气相沉积设备论文和设计-张逸杰

全文摘要

主设计要求

设计方案

设计说明书

设计图

相关信息详情

猜你喜欢