全文摘要
本实用新型的自动化工作系统，包括工作站及主线搬送装置。工作站用以对待测基板进行工艺作业，且包括框架、支线轨道及两工艺设备。支线轨道连接框架。两工艺设备连接支线轨道，且可沿支线轨道移动，并用以执行工艺作业。主线搬送装置包括主轨道、第一搬送台及第二搬送台。主轨道连接工作站的框架，且穿过工作站的框架。主轨道位在支线轨道上方。第一搬送台及第二搬送台连接主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送待测基板。第一搬送台搬送待测基板置两工艺设备。第二搬送台搬送待测基板离开两工艺设备。
主设计要求
1.一种自动化工作系统，其特征在于，包括：一工作站，用以对待测基板进行一工艺作业，且包括一框架、一支线轨道及两工艺设备，该支线轨道连接该框架，该两工艺设备连接该支线轨道，且能够沿该支线轨道移动，并用以执行该工艺作业；及一主线搬送装置，包括一主轨道、一第一搬送台及一第二搬送台，该主轨道连接该工作站的框架，且穿过该工作站的框架，该主轨道是位于该支线轨道上方，该第一搬送台及该第二搬送台连接该主轨道，且分别沿主轨道移动，并在空中搬送该待测基板，该第一搬送台搬送该待测基板至该两工艺设备，该第二搬送台搬送该待测基板离开该两工艺设备。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920034012.4
申请日:2019-01-08
公开号:公开日:国家:TW
国家/省市:71(台湾)
授权编号:CN209601621U
授权时间:20191108
主分类号:B65G 49/07
专利分类号:B65G49/07
范畴分类:32F;
申请人:东捷科技股份有限公司
第一申请人:东捷科技股份有限公司
申请人地址:中国台湾台南市新市区南科五路6号3楼
发明人:陈赞仁;郭中一;吴至钦
第一发明人:陈赞仁
当前权利人:东捷科技股份有限公司
代理人:梁挥;祁建国
代理机构:11006
代理机构编号:北京律诚同业知识产权代理有限公司
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：工作站论文;