基于有限元方法氟塑料卡盘设计分析

论文摘要

由于硫酸与双氧水混合溶液（SPM,Sulfuric-Peroxide Mixture）具有极强的氧化和腐蚀性,一般材质的单片卡盘不再适用,氟塑料广泛应用于SPM工艺,但其弹性模量相对于金属较小,为保证该类卡盘的良好性能,采用有限元方法,通过数值模拟研究影响其形变因素,并在此基础上,提出了四种优化结构,能有效地提升卡盘性能;与金属相比,氟塑料的线性膨胀系数较大,采用热力耦合方法,研究氟塑料卡盘在高温下形变,比如PTFE（聚四氟乙烯）材质卡盘的最大径向位移在设计温度下约增加34.5%。因此,为保证氟塑料卡盘性能,温度不可忽略。

论文目录

• 1 影响氟塑料卡盘的因素
•   1.1 存在问题
•   1.2 氟塑料参数
•   1.3 模型建立与数值分析
• 2 结构优化
• 3 热力耦合分析
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 王迪,陈仲武,刘建民,高津平

关键词: 硫酸与双氧水混合溶液,氟塑料卡盘,形变,结构优化,热力耦合

来源: 电子工业专用设备 2019年04期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅰ辑

专业: 有机化工

单位: 中国电子科技集团公司第四十五研究所

分类号: TQ320.7

页码: 55-60

总页数: 6

文件大小: 3200K

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