全文摘要
本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。包括安装机构及热场填充机构；安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。本实用新型本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。
主设计要求
1.一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，包括安装机构及热场填充机构；所述安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链机构与锁紧机构，外部套设有外壳体；所述连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；所述热场填充机构包括填充物，热场填充机构与所述铰链机构相连；所述直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。
设计方案
1.一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，包括安装机构及热场填充机构；
所述安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链机构与锁紧机构，外部套设有外壳体；所述连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；
所述热场填充机构包括填充物，热场填充机构与所述铰链机构相连；
所述直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。
2.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，所述安装座顶部设有多个真空抽气口。
3.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，所述波纹管为焊接波纹管。
4.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，所述气动直线运动机构包括气缸，气缸上设有安装板，安装板与外壳体后端连接，气缸杆设有伸出安装板，伸出安装板与端盖连接。
5.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，所述的丝杆直线运动机构包括电机，电机通过电机安装板固设于外壳体前部，电机输出轴通过联轴器和丝杆机构连接；丝杆机构滑块上设有连杆，连杆和连杆安装板连接；连杆安装板和端盖连接。
6.根据权利要求1所述的一种单晶炉热场缺口外部填充机构，其特征在于，所述的手动直线运动机构包括把手，把手设于端盖后端。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备技术领域，尤其是涉及一种单晶炉热场缺口外部填充机构。
背景技术
单晶炉是一种在惰性气体(氮气，氩气)为主环境中，用加热器将多晶硅等多晶材料融化，用直拉法生长无错位单晶的设备。因各种原因需要在热场开一个或多个缺口，方便其进行作业，但热场缺口会影响单晶炉内部热场温度和通过缺口损失热量，从而影响单晶硅的生产品质，提高能耗。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中的不足，提供一种单晶炉热场缺口外部填充机构。
为解决上述技术问题，本实用新型采用的解决方案是：
提供一种单晶炉热场缺口外部填充机构，包括安装机构及热场填充机构；
安装机构设于直线运动机构上；安装机构包括安装座，安装座内部中空，内部沿水平方向设有一连接杆，安装座前端设有铰链结构与锁紧机构，外部套设有外壳体；连接杆前端连接热场填充机构，后端伸出安装座并与端盖相连，伸出部分外罩设有波纹管；波纹管前后端分别与外壳体和端盖相连；
热场填充机构包括填充物，热场填充机构与铰链机构相连；
直线运动机构为气动直线运动机构、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。
作为一种改进，安装座顶部设有多个真空抽气口。
作为一种改进，波纹管为焊接波纹管。
作为一种改进，填充物材料为碳或石墨。
作为一种改进，气动直线运动机构包括气缸，气缸上设有安装板，安装板与外壳体后端连接，气缸杆设有伸出安装板，伸出安装板与端盖连接。
作为一种改进，丝杆直线运动机构包括电机，电机通过电机安装板固设于外壳体前部，电机输出轴通过联轴器和丝杆机构连接；丝杆机构滑块上设有连杆，连杆和连杆安装板连接；连杆安装板和端盖连接。
作为一种改进，手动直线运动机构包括把手，把手设于端盖后端。
与现有技术相比，本实用新型的技术效果是：
本实用新型可在不需要停炉的情况下实现热场缺口的填充，减低能耗，提高单晶硅生产品质。
附图说明
图1为单晶炉热场缺口外部填充机构的结构示意图。
图2为热场填充机构的结构示意图。
图3为安装座的结构示意图。
图4为气动直线运动机构的结构示意图。
图5为丝杆直线运动机构的结构示意图。
图6为手动直线运动机构的结构示意图
附图标记：1-主炉室，2-热场，3-阀门，4-安装机构，5-热场填充机构，6-填充物，7-连接杆，8-安装座，9-铰链机构，10-锁紧机构，11-气动直线运动机构，12-端盖，13-波纹管，14-外壳体，15-真空抽气口，16-气缸，17-气缸安装板，18-气缸伸出杆，19-伸出安装板，20-电机，21-电机安装板，22-联轴器，23-丝杆运动机构，24-连杆，25-连杆安装板，26-把手。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式进行详细描述。
如图1所示，一种单晶炉热场缺口外部填充机构，包括安装机构4及热场填充机构5；
安装机构4设于直线运动机构上；如图3所示，安装机构4包括安装座8，安装座8内部中空，安装座8顶部设有多个真空抽气口15。安装座8内部沿水平方向设有一连接杆7，前端设有铰链机构9与锁紧机构10，外部套设有外壳体14；连接杆7前端连接热场填充机构5，后端伸出安装座8并与端盖12相连，伸出部分外罩设有波纹管13；波纹管13前后端分别与外壳体14和端盖12相连。
热场填充机构5包括填充物6，填充物6材料为碳或石墨。热场填充机构5与铰链机构9相连；
直线运动机构为气动直线运动机构11、丝杆直线运动机构或手动直线运动机构。
如图4所示，气动直线运动机构设有气缸16，气缸上设有安装板17，安装板17于外壳体14连接，气缸杆18设有伸出安装板19，伸出安装板18于端盖12连接；
如图5所示，的丝杆直线运动机构设有电机20，电机20于电机安装板21连接固定在外壳体14上，电机20通过联轴器22和丝杆运动机构23连接，带动丝杆运动机构23直线运动，丝杆运动机构23滑块上设有连杆24，连杆24和连杆安装板25连接；连杆安装板25和端盖12连接。
如图6所示，的手动直线运动机构设有把手26，把手26安装在端盖上12上。
本实用新型的使用方法包括：
主炉室1上的阀门处于关闭状态，将热场填充机构5绕着铰链9旋转到和安装座8前端面贴合，用锁紧机构10将热场填充机构5安装到位，通过抽气口15对热场填充机构5进行抽真空和充氩气操作，热场填充机构5内部环境达到合适要求时，通过气动装置打开阀门4。启动直线运动机构11，直线运动机构11可以是气动直线运动机构或者丝杆直线运动机构或者手动运动机构，通过直线运动机构11将填充物6伸入热场2合适位置，达到热场2密封保温的作用。需要使用此缺口时，启动直线运动机构11，将热场2填充物6缩回到热场填充机构5中，关闭阀门4，解除锁紧机构10与热场填充机构5的连接，通过铰链9将热场填充机构5旋转到合适位置。
最后需要注意的是，以上列举的仅是本实用新型的具体实施例。显然，本实用新型不限于以上实施例，还可有很多变形。本领域的普通技术人员能从本实用新型公开的内容中直接导出或联想到的所有变形，均应认为是本实用新型的保护范围。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920009441.6
申请日:2019-01-04
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:33(浙江)
授权编号:CN209836365U
授权时间:20191224
主分类号:C30B15/14
专利分类号:C30B15/14;C30B29/06
范畴分类:25P;
申请人:浙江晶盛机电股份有限公司
第一申请人:浙江晶盛机电股份有限公司
申请人地址:312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
发明人:胡建荣;高宇;傅林坚;曹建伟;叶钢飞;倪军夫;王鹏飞;阮文星;春伟博
第一发明人:胡建荣
当前权利人:浙江晶盛机电股份有限公司
代理人:周世骏
代理机构:33212
代理机构编号:杭州中成专利事务所有限公司 33212
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计