导读:本文包含了微机械系统论文开题报告文献综述及选题提纲参考文献，主要关键词:传感器,换能器,电子技术,MEMS
微机械系统论文文献综述
[1]（2014）在《英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器》一文中研究指出(2014-127-英国-63)该系统显着优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电(本文来源于《电脑与电信》期刊2014年06期）
[2]（2014）在《英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器》一文中研究指出(2014-127-英国-63)该系统显着优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电(本文来源于《电脑与电信》期刊2014年05期）
畅艺峰,杨银堂,李跃进[3]（2005）在《基于微机械系统的多芯片组件封装和特性模拟(英文)》一文中研究指出基于微机械系统(MEMS)的噪声估算,提出了一种可用于微机械系统的多芯片组件(MCM)封装技术,并对封装完成后的信号噪声、输入端相对延时、接收信号的电磁干扰强度等特性进行模拟。仿真结果表明,相对已有MEMS封装技术,本文提出的多芯片组件封装技术具有显着优点。文中封装尺寸182.88mm×121.92mm。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊2005年03期）
池寅生[4]（2005）在《飞秒脉冲激光在微机械系统中脱附和加工的机理研究》一文中研究指出自从飞秒脉冲激光的出现,基于这一新型超强超短脉冲激光的技术和应用得到了迅猛发展。飞秒脉冲激光及其技术为科学研究、实验方法和工程应用提供了前所未有的全新的工具和手段。飞秒脉冲激光由于在较小的光能能量密度下具有极高的光强、加热时热扩散区域极小、可对物质在原子、分子水平上操纵以及对物质在微小区域内某些重要属性进行改变与处理等特点,将在微机电系统(MEMS)和微纳米器件的加工制造等众多领域中具有重要的应用前景。随着半导体器件尺寸的日益减小,在微机电系统(MEMS)制造中,为了防止器件失效,将吸附在器件固体表面上的杂质分子和残留水分子进行脱附清除具有重要的意义。本文将飞秒脉冲激光技术应用于对MEMS器件表面的吸附分子(杂质)进行脱附,以辐射传热和固体导热的微观能量输运机理和基于短脉冲激光导致的原子分子激发态的微观脱附机理为基础,讨论了飞秒和纳秒脉冲激光不同的加热机理、脱附机理及其数学模型;借鉴Brown运动的思想,从随机过程角度,建立了短脉冲激光(包括飞秒脉冲激光和纳秒脉冲激光)对金属基体吸附层的杂质进行脱附的随机过程物理模型。针对飞秒和纳秒脉冲激光不同的加热和脱附模型,本文探讨了相关的数值计算方法并设计了算法,对其过程及结果进行数值模拟。比较了飞秒和纳秒脉冲激光辐射下,基体电子、声子不同的温度分布规律,吸附分子的脱附概率随激光辐射时间的演化规律及其对基体晶格的热影响,得到了飞秒脉冲激光更适用于对MEMS或其它微系统中杂质进行脱附;比较了不同飞秒脉冲激光参数条件(如波长、最大光能能量密度、光强、脉冲时间宽度)对吸附分子脱附概率的影响,获得了在一定条件下,可以通过改变激光参数,提高吸附分子的脱附概率;提出了运用双脉冲飞秒激光技术,通过选取合适的双脉冲飞秒激光的间隔时间,同样既可以提高吸附分子的脱附概率,也能有效的阻止过高的声子温度所导致的晶格热破坏。本文还根据飞秒脉冲激光的非平衡态加热的特性,模拟了加热金属薄膜时,晶格的温度场分布及其随时间变化规律。揭示了材料性能参数是影响飞秒激光加热状态的重要因素。根据文中定义的熔化深度,获得了飞秒脉冲激光最大光能能量密度与熔化深度的关系图,对飞秒脉冲激光进行微加工作了初步的探讨。(本文来源于《东南大学》期刊2005-03-01）
季国顺,张永康[5]（2002）在《微机械系统建模与仿真技术研究》一文中研究指出简要分析了微电子机械系统建模仿真的原因,指出了微电子机械建模仿真需要克服的四个方面技术难题,即尺度效应、开发快速的表面力计算方法、多物理场耦合分析、宏模型的建立,为微电子机械系统的建模仿真指明了研究方向。详细分析了微电子机械系统建模仿真的技术关键,多物理场耦合计算的理论方法和器件及系统宏观模型的建立,介绍了用于MEMS系统级模拟仿真的宏模型建立的几种方法,最后结合硬件描述语言VHDL＿AMS提出了建立微电子机械系统模型实现系统级模拟的方法。(本文来源于《光学精密工程》期刊2002年06期）
田扬超,刘刚,洪义麟,付绍军[6]（1999）在《自润滑微机械系统研究》一文中研究指出介绍了一种制作含有固体润滑剂的自润滑微电子机械的新方法。这种自润滑微电子机械克服了液体润滑剂在微电子机械中的副作用，能够有效地减少微电子机械接触面的微摩擦力和微电子机械的磨损，从而延长微电子机械的寿命。测试了以ＭｏＳ２作为固体润滑剂的Ｎｉ微电子机械的摩擦系数和磨损，结果显示加入ＭｏＳ２的微电子机械的摩擦系数与磨损仅为未加ＭｏＳ２同类微机械的２／３～１／２与１／１０～３／４。(本文来源于《微细加工技术》期刊1999年02期）
李呈德,左铁钏[7]（1998）在《微机械系统叁维微结构的激光加工技术》一文中研究指出介绍了激光掩模投影直刻技术，聚焦激光束光栅扫描技术及激光辅助化学气相沉积等在微机械加工技术中的应用。(本文来源于《微细加工技术》期刊1998年04期）
李宝明,梁正和,卢秉恒[8]（1998）在《微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度分析》一文中研究指出研制了一种低成本、高精度的双层精密弹性微动工作台及其闭环控制系统，并对其精度进行了分析。试验结果表明其分辨力优于０．１μｍ，定位精度优于±０．５μｍ，可作为一般微机械系统中的精密工作台。(本文来源于《机械科学与技术》期刊1998年04期）
路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民[9]（1998）在《几种微机械系统组装技术》一文中研究指出简要讨论了微机械系统的叁种组装技术，即玻璃吸附针尖、微夹钳和具有人手功能的微机械手。把第一、二种技术有机结合是满足目前微机械系统组装需求的有效捷径。(本文来源于《功能材料与器件学报》期刊1998年02期）
战长青,罗台秦,刘理天,钱佩信[10]（1997）在《适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片》一文中研究指出双金属效应是一种基本的物理效应，这一效应在硅微机械装置上的应用，有力地弥补了硅材料不具备压电效应，电信号难以直接转换为机械驱动力的缺陷。本文将介绍我们研制的铝硅双金属膜片．膜片尺寸为4mm×4mm×（20μm单晶硅＋10μm金属铝）．实验和分析结果表明，铝硅双金属膜片具有优越的力学特性，能提供足够大的动力和位移。这种集成的单片驱动结构不仅在材料及工艺上与IC工艺完全兼容，而且通过调整有关结构参数及工艺参数，可使该结构在5伏电压下稳定工作，为实现硅微机械系统（MEMS）奠定了基础．这种驱动方式是目前制造微阀门、微流量泵等需要大动力、大位移的硅微机械及其系统的理想驱动结构．(本文来源于《半导体学报》期刊1997年06期）
微机械系统论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
(2014-127-英国-63)该系统显着优于石英晶体微天平(QCM)的特性,具有紧凑的尺寸、电子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而,其广泛应用仍然受限于对温度的依赖性。最近剑桥大学研究人员已经开发出一种新颖的薄膜体声波谐振器(FBAR)装置,该装置通过使温度和质量负荷在一个单一设备同时进行测量,而不增加其尺寸或复杂性,克服对温度的依赖。通过使用一种新颖的多层器件结构和电
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
微机械系统论文参考文献
[1]..英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器[J].电脑与电信.2014
[2]..英国剑桥大学项目2014-LI-JQ-004基于微机械系统(MEMS)的体声波(BAW)传感器[J].电脑与电信.2014
[3].畅艺峰,杨银堂,李跃进.基于微机械系统的多芯片组件封装和特性模拟(英文)[J].功能材料与器件学报.2005
[4].池寅生.飞秒脉冲激光在微机械系统中脱附和加工的机理研究[D].东南大学.2005
[5].季国顺,张永康.微机械系统建模与仿真技术研究[J].光学精密工程.2002
[6].田扬超,刘刚,洪义麟,付绍军.自润滑微机械系统研究[J].微细加工技术.1999
[7].李呈德,左铁钏.微机械系统叁维微结构的激光加工技术[J].微细加工技术.1998
[8].李宝明,梁正和,卢秉恒.微机械系统中精密弹性微动工作台的研制及其精度分析[J].机械科学与技术.1998
[9].路敦武,黄惠杰,沈蓓军,杨良民.几种微机械系统组装技术[J].功能材料与器件学报.1998
[10].战长青,罗台秦,刘理天,钱佩信.适合硅微机械系统(MEMS)的集成驱动结构──铝硅双金属膜片[J].半导体学报.1997