论文摘要
采用自行搭建的脉冲热蒸发化学气相沉积(PSE-CVD)系统,制备了薄膜状的氧化亚铜样品。通过使用XRD、SEM和XPS三种检测手段分别从晶相鉴别、微观特征和元素构成的方面对沉积的样品迚行了表征。结果证实脉冲热蒸发化学气相沉积法能够制备出高纯度的氧化亚铜。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 潘冠福
关键词: 氧化亚铜,脉冲热蒸发化学气相沉积
来源: 当代化工 2019年08期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
单位: 煤科院节能技术有限公司,煤炭资源开采与环境保护国家重点实验室,国家能源煤炭高效利用与节能减排技术装备重点实验室
基金: 中国煤炭科工集团有限公司科技创新创业资金专项青年项目《微波加热气相沉积法制备SCR催化剂研发》,2018QN004
分类号: TQ131.21
DOI: 10.13840/j.cnki.cn21-1457/tq.2019.08.017
页码: 1704-1706+1710
总页数: 4
文件大小: 1338K
下载量: 310
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标签:氧化亚铜论文; 脉冲热蒸发化学气相沉积论文;