导读:本文包含了各向异性腐蚀论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:各向异性,微电子,微结构,磁阻,表面,机械,转轴。
各向异性腐蚀论文文献综述
吕战鹏[1]（2019）在《微结构各向异性对核电不锈钢在高温水中应力腐蚀开裂的影响》一文中研究指出核电站核岛中有很多关键构件采用不锈钢制作,比如堆内构件、管道、堆焊层等,其服役性能对于核电站结构完整性和安全可靠性至关重要。核电站实际运行情况表明,来源于加工装配、表面处理和焊接等导致的形变硬化是导致水冷堆核电站不锈钢构件应力腐蚀开裂的重要因素。研究形变硬化导致的微结构各向异性对不锈钢在高温水中的应力腐蚀开裂的影响有利于明确应力腐蚀开裂控制因素以及提高预测准确度。一些研究表明预形变奥氏体不锈钢在高温水中的沿晶应力腐蚀开裂行为与预形变方法、预形变程度、应力强度因子、温度、水化学条件以及腐蚀电位等多种因素有关。已有结果表明,冷加工不锈钢沿着T-L取向的扩展速率显着高于在T-S取向的扩展速率。也有报道在模拟压水堆一回路水中,冷加工不锈钢CT试样在S-L取向的应力腐蚀裂纹扩展速率比其他取向的要高。实验研究发现含氢、除氧和含氧高温水中单向轧制不锈钢的取向对应力腐蚀开裂扩展速率有显着影响:T-L取向的紧凑拉伸(CT)试样应力腐蚀开裂扩展速率较快,断口上沿晶开裂比例较高;L-T取向试样时,应力腐蚀开裂主裂纹仍然主要表现为沿轧制方向(L方向)扩展。单向轧制不锈钢与多向轧制不锈钢在含氧高温水中均表现出高应力腐蚀扩展速率,而在含氢高温水中单向轧制不锈钢的应力腐蚀开裂扩展速率显着高于多向轧制不锈钢。结果表明微结构的各向异性对于应力腐蚀开裂扩展路径和开裂速率起到的关键性作用,而这种作用与高温水的氧化性密切相关。(本文来源于《第十届全国腐蚀大会摘要集》期刊2019-10-24）
郭玉刚,吴佐飞,田雷[2]（2019）在《硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法》一文中研究指出针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的过载保护结构设计。(本文来源于《传感器与微系统》期刊2019年03期）
严一峰[3]（2018）在《基于连续CA方法的硅各向异性腐蚀仿真》一文中研究指出随着新技术的发展,对于微传感器,微执行器和微系统新的器件结构和新的应用,也被称微机电系统(MEMS),出现了对于计算机辅助工程与设计系统不断增长的需求。刻蚀工艺仿真作为MEMS CAD重要的组成部分被广泛研究,国内外学者针对单晶硅各向异性腐蚀的过程提出了多种仿真模型,总体可以概括为几何模型和原子模型,以这些模型为基础开发了众多工艺仿真的软件,一些已经被集成进MEMS CAD。以不同模型为基础的刻蚀工艺仿真,核心的差异在与模拟精度和模拟效率的不同,权衡两者即可为特定的模拟场景选用合适的模型,实现了降低一个器件从概念转化为商业产品所需要的成本并提高了工艺水平。本文重点研究了连续CA模型,在连续CA模型的基础了建立了单晶硅的二维和叁维各向异性腐蚀算法。在单晶硅的二维各向异性腐蚀模拟中,使用C语言进行算法的编程并通过Matlab实现模拟结果的输出。在单晶硅的叁维各向异性腐蚀模拟中,本文所抽象的叁维各向异性腐蚀算法中单晶硅表面为(100)晶面,边缘沿<110>取向,使用Java语言对腐蚀算法进行了计算机编程,并通过PhotoShop根据控制台上元胞阵列的高度值输出叁维的腐蚀结果图,腐蚀算法根据单晶硅的结构使用动静态结合的方式存储硅衬底,在动态CA方法的基础上进一步提高了模拟效率,根据输入的掩膜图形以及腐蚀速率计算不同类型原子的生命值,当生命值小于0时,该原子被移除,其相邻原子未在腐蚀面的被加入至腐蚀前端面。二维各向异性腐蚀模拟中,根据连续CA模型中模拟精度和模拟效率的影响要素对腐蚀算法进行分析和改进,包括参数D的确定,元胞阵列的密度,动态算法与静态CA算法的比较以及时间补偿的引入。结果表明,模拟结果和实验结果以及理论分析一致,通过时间补偿改进的算法,使得模拟精度得到了本质提升,经硅二维各向同性的横向腐蚀模拟验证,圆形单开口的模拟结果在使用原模型时模拟结果为八变形,经过补偿后,模拟结果为预期的圆形。叁维各向异性腐蚀模拟中,使用了几种常用掩膜对单晶硅叁维腐蚀进行了凹面模拟和凸面模拟,模拟结果和实验结果吻合较好,凸面模拟中,考虑了快腐蚀晶面上的原子类型,对台面直角结构的切削问题进行了深入研究,非台面直角结构的切削中,选用圆形掩膜进行了模拟,简单分析了其切削的规律,为复杂图形的补偿设计奠定了良好的基础。(本文来源于《南京邮电大学》期刊2018-11-14）
刘伟伟,吕菲,常耀辉,李聪,宋晶[4]（2018）在《MEMS中硅各向异性腐蚀特性研究》一文中研究指出在碱性溶液中硅单晶片因晶向不同其刻蚀速率出现差异,利用这一特点制作叁维结构器件;刻蚀速率与叁维结构的形状和精度相关,刻蚀的表面粗糙度与器件的性能有关;根据各向异性腐蚀机理可知,刻蚀速率强烈依赖单晶晶向,刻蚀温度和刻蚀液的组分也会对刻蚀速率产生显着影响;表面粗糙度主要是因为刻蚀时表面被反应生成的氢气泡覆盖,局部区域不能参加化学反应,导致这一区域出现凸起;在刻蚀液中加入添加剂使气泡迅速脱离反应表面能有效降低表面粗糙度,但刻蚀液不同所适用的添加剂不同。(本文来源于《电子工业专用设备》期刊2018年04期）
黄娇[5]（2018）在《Nb对Zr-Sn系锆合金腐蚀各向异性行为的影响》一文中研究指出锆合金的热中子吸收截面小,并具有良好的高温力学性能和耐腐蚀性能,是压水堆核电站中的重要结构材料,被广泛用作核燃料元件的包壳。锆是密排六方(hcp)结构的金属,它的各项性质都存在各向异性。同样的,锆合金在腐蚀时也存在各向异性。另外,锆合金在加工成材的过程中会产生织构,这种晶粒的择优取向将影响锆合金的耐腐蚀性能。本工作主要通过研究Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr-xNb合金在360℃/18.6 MPa不同浓度LiOH水溶液中腐蚀后样品轧面(S_N),垂直于轧向的截面(S_R)和垂直于横向的截面(S_T)上的氧化膜厚度随腐蚀时间的变化关系,研究Nb对Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金在不同LiOH浓度的水溶液中腐蚀各向异性的影响规律。利用EBSD、HRSEM和HRTEM研究了Nb对金属基体显微组织的影响和氧化膜的断口形貌;利用O、N、H分析仪、金相显微镜和二次离子质谱仪(SIMS)研究了Nb对Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金腐蚀吸氢的影响;利用SIMS和XPS研究了Nb与Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金中C、Sn、Fe、Cr及H元素的交互作用,从Nb与H以及锆合金中其他元素交互作用的角度探究了Nb抑制Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金腐蚀各向异性的机理。得到的主要结果和结论如下:(1)Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr-xNb合金分别在360℃/18.6 MPa去离子水、360℃/18.6 MPa/0.01 M LiOH和0.04 M LiOH水溶液中腐蚀时,Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金S_N面上的氧化膜生长速率都明显比S_R和S_T面上的快,表现出明显的腐蚀各向异性特征。添加Nb可以抑制该合金的腐蚀各向异性,但增加溶液中LiOH浓度会加速Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr-xNb合金的腐蚀,在上述叁种水化学条件下完全抑制Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金腐蚀各向异性所需添加的Nb含量分别为0.15%、0.50%和1.0%,说明抑制腐蚀各向异性需要添加的Nb含量与LiOH浓度呈正相关,LiOH浓度越高,抑制腐蚀各向异性需要添加的Nb含量也越高。添加Nb虽然可以抑制Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金S_N面上的氧化膜生长速率,但同时也会增加S_R和S_T面上氧化膜的生长速率。(2)四种合金中都存在典型的轧制织构,即S_N面存在(0001)晶粒的择优取向,S_R面和S_T面分别存在(1-210)和(10-10)晶粒的择优取向;添加Nb对Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金的织构影响不显着。(3)添加Nb会使Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金中主要第二相结构类型由fcc-Zr(Fe,Cr)_2逐渐转变为hcp-Zr(Fe,Cr,Nb)_2,随着Nb含量升高,合金中第二相的Nb/Fe比升高,但Fe/Cr比变化不大。Zr(Fe,Cr)_2第二相氧化后,Fe主要向氧化膜外表面扩散,且Fe的扩散速率比Cr快。添加0.15%Nb后,少量Nb进入Zr(Fe,Cr)_2第二相中可以抑制该第二相氧化后Fe的扩散。随着Nb含量增加,进入Zr(Fe,Cr)_2第二相中Nb含量增加,这种抑制作用更加明显。(4)Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr-xNb合金腐蚀后氧化膜都由柱状晶和等轴晶组成,等轴晶主要分布区域在靠近氧化膜外表面,柱状晶在氧化膜中占的比例较大,氧化膜中会存在微孔隙与微裂纹。(5)在360℃/18.6 MPa去离子水中和360℃/18.6 MPa/0.01 M LiOH水溶液中腐蚀后,Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr-xNb合金的吸氢分数随腐蚀时间增加都呈下降趋势,长期腐蚀后含Nb合金的吸氢分数都小于Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金,说明添加Nb可以降低Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金的吸氢。(6)合金元素在氧化膜中的存在形式、分布和浓度对氧化膜中缺陷浓度和氧化膜中应力以及腐蚀介质的传输有重大影响。合金元素在Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金S_N面和S_T面的分布存在各向异性,添加Nb降低了氧化膜中C浓度并缩小S_N面和S_T面氧化膜中C的浓度差异,降低H通过氧化膜的传输速率或改变氢在氧化物中的存在形式,抑制Fe向S_N面的偏聚而促进其向S_T面的偏聚,促使Sn趋向于在S_T面偏聚,改变了Fe和Sn在S_T和S_N面的浓度差,进而调整了因为Fe和Sn浓度差异导致的氧的传导速率的不同。Nb通过与H和合金中其他元素的交互作用改变氧化膜中各个元素的存在形式或浓度差异,影响氧化膜中空位浓度和氧化膜中应力以及腐蚀介质的传输速率,进而影响合金S_N面和S_T面的腐蚀速率,实现对Zr-0.75Sn-0.35Fe-0.15Cr合金腐蚀各向异性的抑制作用。(本文来源于《上海大学》期刊2018-04-01）
严一峰,方玉明[6]（2018）在《硅各向异性腐蚀的仿真模型研究》一文中研究指出为了在硅衬底上加工出多样的微结构,满足微机电系统的发展,硅各向异性腐蚀的仿真模型被大量研究。从衬底模型、腐蚀规则的制定、腐蚀速率、时间步长的角度出发,介绍了这些要素对几何模型和原子模型所包含多种仿真方法的模拟精度和模拟效率的影响,归纳了各种仿真方法的适用场合和特点,并为提出更优化的方案提供了方向。其中连续CA方法和MC方法揭示了腐蚀的本质,模拟精度高,叁维处理能力强,被广泛应用。而原子模型算法简单,运算速度快,在对结构简单的MEMS仿真中也得到应用。所有仿真方法都可在权衡精度和效率的利弊后做出改进。(本文来源于《电子科技》期刊2018年02期）
韩焕鹏,杨静,杨洪星[7]（2017）在《MEMS用硅单晶缺陷对各向异性腐蚀的影响》一文中研究指出为了满足微电子机械系统(MEMS)器件制作要求,各向异性腐蚀加工后的硅衬底需具有良好的表面质量。针对MEMS用硅单晶在各向异性腐蚀加工过程中出现的腐蚀表面粗糙、不平整问题,采用常规直拉(Cz)单晶、掺锗直拉单晶和磁场直拉单晶等不同工艺制备了多种硅单晶样品,并测试了其常规电参数、氧杂质浓度和微缺陷等参数。针对各种硅单晶样品,模拟了器件制作过程中各向异性腐蚀实验,获得了硅单晶的腐蚀表面情况,对比得出了影响硅单晶各向异性腐蚀质量的关键因素在于硅单晶内的氧杂质浓度及氧沉淀密度的控制,并从原子表面能和应力等方面推断晶体中氧沉淀缺陷对各向异性腐蚀质量的影响机理。(本文来源于《微纳电子技术》期刊2017年10期）
谢世敬[8]（2017）在《锆合金腐蚀各向异性的机理研究》一文中研究指出一般来讲,在热处理过程中,一些合金元素可能会偏聚到样品表面。在氧化、腐蚀过程中,合金元素的表面偏聚又可能会影响到氧的吸附,从而影响到样品的耐腐蚀性能。因此,合金元素的表面偏聚可能也是影响锆合金耐腐蚀性能的一个因素。在本文中,我们利用X射线光电子能谱仪(XPS)检测了具有(0001)[10(?)0]和(0001)[11(?)0]织构的Zr-4(Zr-1.17 Sn-0.23 Fe-0.11 Cr,wt.%)和B合金(Zr-0.88Sn-0.85 Nb-0.12 Fe-0.01 Cr,wt.%)片状样品在298 K,773 K和873 K真空加热时,样品的轧面(S_N),垂直于轧向的截面(S_R)和平行于轧向的截面(S_T)上Sn含量的变化,研究了合金元素Sn的表面偏聚问题。结果显示Zr-4样品的Sn表面偏聚呈现各向异性特征,在样品不同面上的偏聚程度大小顺序为:S_R≈S_T＞S_N利用大晶粒Zr-4(直径0.2-0.8 mm)样品的实验结果也同样显示Sn表面偏聚的各向异性特征,在不同晶面上Sn偏聚程度的规律为(10(?)0)(11(?)0)(0001),与具有织构的多晶样品的规律一致。利用断键理论计算得到的结果,也证实α-Zr中Sn表面偏聚存在各向异性特征,其规律与实验所得到的规律一致。而B合金片状样品在加热到773 K时未检测到Sn的表面偏聚,但是在加热到873K时,尽管B合金的Sn含量比Zr-4的低,但Sn的表面偏聚却比Zr-4样品的更加明显,不过其各向异性特征却不如Zr-4样品的显着。我们认为B合金添加Nb后形成了较多的第二相,当样品加热至773 K时,合金元素Sn首先偏聚在相界面上,因此没有检测到Sn表面偏聚。而B合金在873 K时出现明显的Sn表面偏聚现象,这可能与固溶在α-Zr中的Nb能促进Sn扩散有关。通过利用密度泛函理论(DFT)计算Zr_(53)Sn_1和Zr_(52)Sn_1Nb_1的混合热结果证实了Nb的这种作用。在773 K/10.3 MPa的过热蒸汽中腐蚀时,Zr-4样品的耐腐蚀性能呈现各向异性特征,S_N面主要出现均匀腐蚀,而S_R和S_T面主要发生疖状腐蚀。Zr-4大晶粒样品经过773 K过热蒸汽中腐蚀1 h后,用原子探针层析技术(APT)检测了氧化膜较厚区域(将发展为疖状腐蚀斑的区域)与氧化膜较薄区域(腐蚀70 h后也不会形成疖状腐蚀斑的区域)的氧化膜与基体界面(O/M)的元素成分。结果显示在氧化膜较厚区域的O/M界面有较为明显的Sn偏聚,而在氧化膜较薄区域的O/M界面却没有检测到明显的Sn偏聚。由此,提出了与O/M界面Sn偏聚相关的Zr-4样品疖状腐蚀机制,而Zr-4样品出现疖状腐蚀的各向异性也主要与Sn在O/M界面偏聚的各向异性有关。B合金样品在773 K/10.3 MPa的过热蒸汽中腐蚀时,S_N,S_R和S_T面都只出现均匀腐蚀,并且无各向异性特征,分析认为合金元素Nb的添加使得B合金含有较多第二相,阻止了Sn在O/M界面偏聚是造成这种现象的主要原因。在633 K/18.6 MPa的0.01 M LiOH水溶液中腐蚀时,采用测量氧化膜厚度随腐蚀时间变化的方法研究了Zr-4和B合金样品3个不同表面的耐腐蚀性能,结果显示它们都是均匀腐蚀。但是Zr-4样品3个不同面的耐腐蚀性能呈现各向异性特征,S_N面有明显的腐蚀转折,而S_R和S_T面的腐蚀转折却不及S_N面的明显;可是B合金样品3个不同的表面却没有耐腐蚀性能的各向异性特征。分别从氧化膜断口形貌、氧化膜中微观裂纹分布、氧化膜内外表面形貌、氧化膜中Li~+浓度分布、氧化膜中合金元素分布以及氧化膜中氧化锆晶粒之间的取向差讨论了这些因素对氧化膜生长的影响。认为在不同取向的基体晶粒表面上生成的氧化膜存在不同的晶粒取向差可能是造成Zr-4样品氧化膜生长各向异性的主要原因。而B合金样品不出现腐蚀各向异性可能与Nb在氧化膜中的氧化锆晶粒晶界上偏聚有关,但是由于实验条件限制未能得到有效的实验结果,因此在文中只作试探性地讨论。(本文来源于《上海大学》期刊2017-07-01）
陈金宝[9]（2017）在《基于各向异性腐蚀的单晶硅拉曼基底的制作及其特性研究》一文中研究指出随着人们生活水平的逐步提高,中国人的食物资源愈发丰富,食品安全也越来越受到人们的重视。传统的检测技术已无法满足人们的要求,研发一种快速、无损的检测农药和食品添加剂残留的技术迫在眉睫。拉曼光谱作为分析物质分子结构的重要工具,特别是表面增强拉曼光谱(SERS)发现以来。SERS效应不仅克服了表面荧光的干扰,而且拉曼特征谱线的强度得到极大的增加。SERS技术大规模推广的关键在于SERS活性基底的制备。虽然拉曼基底已逐步实现商业化,但价格昂贵,且没有大面积的尺寸均匀、形貌可控、增强效果显着、制作简便的拉曼活性基底。本文利用碱溶液对单晶硅表面的各向异性腐蚀性,在单晶硅表面制备出尺寸均匀、覆盖面广、形貌可控的单晶硅表面微结构。使用常见的制绒试剂NaOH溶液,添加一种新型的添加剂硼砂(Na2B4O7·10H2O),通过控制变量试验对混合溶液中NaOH浓度、Na2B4O7·10H2O浓度、反应时间和温度进行探索。得到最佳的制备条件为:NaOH浓度为2wt%,反应温度为85℃,反应时间为25min,添加剂浓度为2.2wt%。腐蚀后得到的单晶硅绒面金字塔覆盖率约为99.0%,且均匀性高,平均尺寸仅为3.54μm,达到制备SERS活性基底的要求。使用真空镀膜仪在制备好的单晶硅表面微结构上沉降厚度不同的纳米金薄膜,制成纳米金厚度不同的单晶硅表面增强拉曼基底。使用QE65 pro拉曼光谱仪对单晶硅基底的增强性能进行测试,测试结果表明最佳的厚度(此处用溅射时间来表示)为20m A电流条件下镀膜5.5min。最佳膜厚的单晶硅拉曼基底对亚甲基蓝乙醇溶液检测极限低至1×10-5mol/L,且此浓度下亚甲基蓝探针分子的特征峰都可以进行分辨。SERS的测试结果表明单晶硅拉曼基底具有良好的拉曼活性。同时该微结构制备简单,成本低廉,大小和形貌均可以得到比较好的控制。为降低食品检测的成本提供一种可能,具有潜在的应用价值。(本文来源于《云南师范大学》期刊2017-05-20）
陈靓[10]（2017）在《基于各向异性磁电阻的非接触式转轴腐蚀电流检测技术研究》一文中研究指出舰船在海洋中航行时船壳会发生电化学腐蚀。采用阴极保护技术可以减小船壳腐蚀,但会产生腐蚀电流,并在舰船周围激发轴频电场。由于电场探测技术的发展和电场引信水雷的存在,轴频电场给舰船安全性带来了威胁。精确检测螺旋桨传动轴腐蚀电流的大小,是研究舰船外部电场和磁场的重要基础。然而传动轴腐蚀电流幅值变化范围大,检测环境复杂,干扰较大,精确测量转轴电流有较大难度。同时,为保证传动轴结构完整,不能使用采样电阻等简单方法进行电流测量。基于此,本文设计了一种非接触式的电流检测系统,具有高稳定性,高精度,抗干扰的特点。通电导线周围会产生环形磁场,通过检测磁场可以间接反映被测电流的大小。作者基于该原理,针对舰船螺旋桨传动轴腐蚀电流检测需求,设计了一个具有差分结构的空间测磁系统,实现在不接触传动轴的条件下间接检测传动轴腐蚀电流。作者选择性能优越、应用广泛的AMR(各向异性磁阻效应)传感器作为本系统的敏感元件。并使用双传感器对被测电流进行检测,通过差分处理后,可以消除环境磁场中对传感器产生的共模干扰。本文首先针对舰船螺旋桨传动轴电流产生的磁场进行了仿真,主要仿真了电流检测系统的可行性,传感器的安装方向,传感器的安装宽度,安装过程中的误差对实验结果的影响。针对这些仿真结果,对传感器安装条件提出了一些要求。然后,针对螺旋桨传动轴腐蚀电流检测范围和精度的要求,设计了高信噪比的硬件系统和信号处理软件。作者搭建了模拟的测试环境,对整个电流检测系统进行了实验验证。结果表明,系统可以检测±2A的电流,分辨率可达2mA,线性度优于全量程的0.5%,该系统能够有效检测螺旋桨传动轴腐蚀电流,并且系统具有良好的稳定性、线性度,以及较高的分辨率。在复杂的测量环境中,有一定的抗干扰能力。(本文来源于《华中科技大学》期刊2017-02-01）
各向异性腐蚀论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
针对单晶硅(100)晶面在氢氧化钾(KOH)腐蚀液中各向异性腐蚀时的削角问题,进行了一项凸角补偿实验。通过不同尺寸与形状组合的〈110〉条形补偿结构,对长方形凸台进行补偿,最终获取具有期望效果的补偿结构。该方法应用于压力传感器芯片的过载保护结构设计。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
各向异性腐蚀论文参考文献
[1].吕战鹏.微结构各向异性对核电不锈钢在高温水中应力腐蚀开裂的影响[C].第十届全国腐蚀大会摘要集.2019
[2].郭玉刚,吴佐飞,田雷.硅(100)晶面各向异性腐蚀的凸角补偿方法[J].传感器与微系统.2019
[3].严一峰.基于连续CA方法的硅各向异性腐蚀仿真[D].南京邮电大学.2018
[4].刘伟伟,吕菲,常耀辉,李聪,宋晶.MEMS中硅各向异性腐蚀特性研究[J].电子工业专用设备.2018
[5].黄娇.Nb对Zr-Sn系锆合金腐蚀各向异性行为的影响[D].上海大学.2018
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[9].陈金宝.基于各向异性腐蚀的单晶硅拉曼基底的制作及其特性研究[D].云南师范大学.2017
[10].陈靓.基于各向异性磁电阻的非接触式转轴腐蚀电流检测技术研究[D].华中科技大学.2017
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