全文摘要
本实用新型公开了一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，及包括该PVC热水槽的湿法槽式清洗设备。所述PVC热水槽包括热水槽本体以及设置在所述热水槽本体内的内衬槽，所述内衬槽的各侧壁与热水槽本体的相应内壁之间均形成有一个变形间隙，所述内衬槽的底部设置有排液管，排液管的端部从热水槽本体的底部伸出。本实用新型结构简单、使用方便，通过在热水槽的槽体内设置一个PTFE内衬槽，有效地解决了现有热水槽在冷热交替的环境下，槽体容易萌生裂纹、产生破裂，从而产生漏液的问题，提高了热水槽的使用寿命。
主设计要求
1.一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，包括：热水槽本体（1）；以及设置在所述热水槽本体（1）内的内衬槽（2）；其中，所述内衬槽（2）的顶部开口，且其各侧壁与热水槽本体（1）的相应内壁之间均形成有一个用以吸收内衬槽（2）膨胀变形的变形间隙（3），所述内衬槽（2）的底部设置有排液管（4），所述排液管（4）的端部从所述热水槽本体（1）的底部伸出。
设计方案
1.一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，包括：
热水槽本体（1）；
以及设置在所述热水槽本体（1）内的内衬槽（2）；
其中，所述内衬槽（2）的顶部开口，且其各侧壁与热水槽本体（1）的相应内壁之间均形成有一个用以吸收内衬槽（2）膨胀变形的变形间隙（3），所述内衬槽（2）的底部设置有排液管（4），所述排液管（4）的端部从所述热水槽本体（1）的底部伸出。
2.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）和热水槽本体（1）的上端还设置有用以防止液体进入变形间隙的导流板（5）。
3.根据权利要求2所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述导流板（5）为上端面呈倾斜面的U形板。
4.根据权利要求3所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述导流板（5）的上端面向槽底方向倾斜。
5.根据权利要求2所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的上边缘与热水槽本体（1）的上边缘相齐平。
6.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的边角设有倒角部（6）。
7.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的材质为PTFE材料。
8.根据权利要求7所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述内衬槽（2）的壁厚为4mm-6mm。
9.根据权利要求1所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽，其特征在于，所述排液管（4）焊接固定在内衬槽（2）上。
10.一种湿法槽式清洗设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的具有防渗漏结构的PVC热水槽。
设计说明书
技术领域
本实用新型涉及湿法清洗技术领域，尤其涉及一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，及包括该PVC热水槽的湿法槽式清洗设备。
背景技术
在全球半导体产业向大陆转移的过程中，半导体设备国产化具有重要战略意义。随着国家政策与资金的持续支持，国产化设备持续的、高强度的研发投入和核心技术的自主掌握日益提升，其中尤其是湿法槽式清洗设备，凭借着国内资深工程师的多年经验，各种新设计、新创意的设备产品也应需而生。
由于湿法槽式清洗设备会大量使用强酸强碱等腐蚀性化学药品，设备液槽往往采用耐腐蚀的PVC塑料材质。生产过程中，设备液槽内会交替通入60℃以上的水和化学药液，由于PVC膨胀系数较大，在当设备液槽经常性处于冷热交替的环境条件下，其接液部分的材料在循环应力作用下，会逐渐产生局部永久性的累积损伤，从而萌生裂纹；同时，由于PVC耐高温性能较差，在60℃以上时，强度急剧下降，裂纹扩展速度加快，从而会使槽体产生破裂，发生漏液，造成严重的经济损失和安全隐患。
目前，部分湿法槽式清洗设备采用PTFE材料来替代PVC材料，但PTFE材料强度弱，不能承受高载荷，同时价格远超PVC材料，不适于大量使用。
发明内容
有鉴于此，本实用新型提供了一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，及包括该PVC热水槽的湿法槽式清洗设备，用以解决上述背景技术中存在的问题。
一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，包括：
热水槽本体；
以及设置在所述热水槽本体内的内衬槽；
其中，所述内衬槽的顶部开口，且其各侧壁与热水槽本体的相应内壁之间均形成有一个用以吸收内衬槽膨胀变形的变形间隙，所述内衬槽的底部设置有排液管，所述排液管的端部从所述热水槽本体的底部伸出。
优选的，所述内衬槽和热水槽本体的上端还设置有用以防止液体进入变形间隙的导流板。
优选的，所述导流板为上端面呈倾斜面的U形板。
优选的，所述导流板的上端面向槽底方向倾斜。
优选的，所述内衬槽的上边缘与热水槽本体的上边缘相齐平。
优选的，所述内衬槽的边角设有倒角部。
优选的，所述内衬槽的材质为PTFE材料。
优选的，所述内衬槽的壁厚为4mm-6mm。
优选的，所述排液管焊接固定在内衬槽上。
一种湿法槽式清洗设备，包括具有防渗漏结构的PVC热水槽。
本实用新型的有益效果是：
1、本实用新型结构简单、使用方便，通过在热水槽的槽体内设置一个PTFE内衬槽，有效地解决了现有热水槽在冷热交替的环境下，槽体容易萌生裂纹、产生破裂，从而产生漏液的问题，提高了热水槽的使用寿命，同时也降低了生产成本、减少安全隐患。
2、在热水槽和内衬槽的上端设置导流板，并将导流板的上端面设置为倾斜面，能够引导液体流入内衬槽内，流入变形间隙内。且在热水槽和内衬槽之间设置变形间隙，可以有效吸收内衬槽的膨胀变形，防止内衬槽膨胀而挤破热水槽本体，有效地保证热水槽的使用寿命。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
图1是本实用新型的立体结构示意图。
图2是本实用新型的正视图。
图3是本实用新型的横剖图。
图4是本实用新型的纵剖图。
图中标号的含义为：
1为热水槽本体、2为内衬槽、3为变形间隙、4为排液管、5为导流板、6为倒角部。
具体实施方式
为了更好的理解本实用新型的技术方案，下面结合附图对本实用新型实施例进行详细描述。
应当明确，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
下面通过具体的实施例并结合附图对本申请做进一步的详细描述。
在本申请的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“固定”等均应做广义理解，例如，“连接”可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
本说明书的描述中，需要理解的是，本申请实施例所描述的“上”、“下”、“左”、“右”等方位词是以附图所示的角度来进行描述的，不应理解为对本申请实施例的限定。此外，在上下文中，还需要理解的是，当提到一个元件连接在另一个元件“上”或者“下”时，其不仅能够直接连接在另一个元件“上”或者“下”，也可以通过中间元件间接连接在另一个元件“上”或者“下”。
本实用新型实施例给出一种具有防渗漏结构的PVC热水槽，以及包括该PVC热水槽的湿法槽式清洗设备。本申请的PVC热水槽通过在热水槽的槽体内设置一个PTFE内衬槽，有效地解决了现有热水槽在冷热交替的环境下，槽体容易萌生裂纹、产生破裂，从而产生漏液的问题。
参照图1-图4，图1为本实用新型的具有防渗漏结构的PVC热水槽的立体结构示意图，图2为PVC热水槽的正视图，图3为PVC热水槽的横剖图，图4为PVC热水槽的纵剖图。如图所示，所述具有防渗漏结构的PVC热水槽包括热水槽本体1和内衬槽2，内衬槽2设置在热水槽本体1内。
具体地，内衬槽2为一个顶部开口的结构，本实施例中，内衬槽2的壁厚为4mm-6mm，选用的材质是PTFE材料，PTFE材料耐腐蚀、耐高温性能突出，且韧性优良、不易产生疲劳裂纹，但膨胀系数较大。当内衬槽2水平放置到热水槽本体1内时，应使内衬槽2的各侧壁与热水槽本体1的相应内壁之间保留一定宽度的变形间隙3，变形间隙3可以有效吸收内衬槽2的膨胀变形，防止内衬槽2膨胀而挤破热水槽本体1。
由于热水槽本体1采用几块PVC板焊接而成，因此其各侧板的连接处、侧板与底板的连接处均存在有焊道。为了避开热水槽本体1上的焊接焊缝，可在内衬槽2的边角设置边角部6。
内衬槽2的底部设置有一个排液管4，排液管4的端部从热水槽本体1 的底部伸出。本实施例中，排液管4直接焊接固定在内衬槽2的底部，热水槽本体1上开设有一个通孔，当内衬槽放置到热水槽本体1内时，排液管4的端部从通孔内伸出，这样可使槽内液体直接从排液管4中排出，避免槽内液体进入热水槽本体1和内衬槽2之间的缝隙中。
内衬槽2和热水槽本体1的上端还设置有用以防止液体进入变形间隙3的导流板5。具体地，内衬槽2的上边缘与热水槽本体1的上边缘相齐平，导流板5卡在内衬槽2和热水槽本体1的上端，通过螺丝与内衬槽2和热水槽本体1进行固定。本实施例中，导流板5为上端面呈倾斜面的U形板，其上端面向槽底方向倾斜，这样液体能够沿着导流板5上端的倾斜面流入内衬槽内，不会流入变形间隙3内。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型保护的范围之内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201920120482.2
申请日:2019-01-24
公开号:公开日:国家:CN
国家/省市:31(上海)
授权编号:CN209199889U
授权时间:20190802
主分类号:H01L 21/67
专利分类号:H01L21/67
范畴分类:38F;23E;
申请人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司
第一申请人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司
申请人地址:200241 上海市闵行区紫海路170号
发明人:王雪松;许峯嘉;鄧信甫
第一发明人:王雪松
当前权利人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司;至微半导体（上海）有限公司
代理人:杜冰云
代理机构:31105
代理机构编号:上海智力专利商标事务所（普通合伙）
优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计
标签：导流板论文;