导读:本文包含了热敏薄膜论文开题报告文献综述、选题提纲参考文献及外文文献翻译，主要关键词:磁控溅射,薄膜,热敏,温度,射频,系数,电阻。
热敏薄膜论文文献综述
张逍博[1]（2018）在《Mn-(Co、Zn、Fe)-Ni系列热敏薄膜的制备以及光学、电学性能研究》一文中研究指出过渡金属氧化物由于其d轨道不完全填充,电子关联等复杂的内部电子相互作用导致了其丰富的物理特性,例如:金属绝缘体相变、高温超导现象、多铁性、铁磁性、巨磁电阻性等,多样的物理特性吸引了国内外科研学者的关注。以Mn为核心叁元或多元金属氧化物,作为过渡金属氧化物中的一大类,其实际应用也呈现多样化,例如:负温度系数热敏电阻传感器、光催化、汽车尾气探测器、湿度传感器等。同时伴随着其他基础科学的迅速发展,如计算机行业、信号传输信号处理等行业等,温度传感器行业也正向着微型化、薄膜化、智能化、低损耗、高效率、精准化的方向发展,因此对于Mn基热敏电阻薄膜式元器件的开发研究刻不容缓。本文通过化学溶液法和磁控溅射法制备Zn、Fe掺杂的Mn-Co-Ni-O金属氧化物薄膜,研究其掺杂浓度、溅射功率以及退火温度对于薄膜的光学、电学以及阳离子分布的影响。具体如下:(1)通过化学溶液法制备Mn_(1.56)Co_(0.96-x)Ni_(0.48)Fe_xO_4(x=0,0.15,0.2)系列薄膜,发现铁的掺杂不但能够不改变其相结构,而同时能够改善薄膜的微观形貌,使得薄膜的表面粗糙度降低,致密度提升,并首次通过椭圆偏振仪测试其在近红外区间的光吸收,发现薄膜在波长19 um处的强剩余吸收现象。(2)通过化学溶液沉积的方法在不同的退火温度条件下制备Mn_(1.5)Co_2Fe_(2.1)Zn_(0.4)O_8系列薄膜,退火温度在600℃到900℃的区间内,发现退火温度的提升有利于薄膜中的颗粒增大,改善其薄膜的致密性,但是当温度高于800℃时,过高的退火温度反而破坏了材料中的Mn~(3+)/Mn~(4+)和Fe~(2+)/Fe~(3+)离子对的平衡,产生过多的高价态离子,导致其电学性质变差。同时,我们针对其老化性能进行研究,发现在200℃条件下热处理500h,800℃退火的薄膜的电阻漂移仅仅只有1.02%。(3)通过磁控溅射的方法在不同的溅射功率条件下制备Mn_2Zn_(0.25)Ni_(0.75)O_4系列薄膜,控制其溅射功率,其他溅射条件一致。发现溅射功率的改变能够极大的影响着薄膜的表面形貌,在80W和200W功率下溅射的薄膜,前者由于功率太低导致薄膜的厚度过薄,导致其光吸收较弱,而后者却由于沉积速率过快,薄膜中的孔隙得不到有效填充,导致薄膜呈现多孔疏松结构,导致较差的电学稳定性。只有在120W功率条件下沉积的薄膜表面平滑结构致密,光学、电学性能优秀。同时我们通过XPS分析了其阳离子的分布情况,发现过低和过高的功率制备的薄膜,都导致薄膜中的阳离子倾向于高价态进行转变,导致其电学性质变差。(本文来源于《云南大学》期刊2018-05-01）
王成刚,宋广[2]（2017）在《非制冷红外焦平面探测器热敏薄膜技术研究进展》一文中研究指出近年来红外探测技术在军事和民用领域得到了迅速的发展,非制冷红外探测器以其低成本、小型化、非制冷等优势在红外探测系统发展中占据着重要的地位。本文总结了国内外非制冷红外探测器的发展现状,分析了两种主要的非制冷红外探测器技术路线的特点及差异,并给出了这两种技术路线后续发展趋势。(本文来源于《激光与红外》期刊2017年08期）
丁卓翰[3]（2017）在《缓冲层诱导生长高性能VO_2热敏薄膜》一文中研究指出VO_2(M)在68 ℃寸具有强烈的半导体-金属相变(SMT),同时伴随着电阻率的急剧变化(103～104),故VO_2(M)可是应用于非制冷红外探测器领域的最重要的材料之一。然而,较大的电阻温度系数对应的温度较高且温度区间狭窄,无法满足器件化应用需求。相比之下,VO_2(B)由于没有SMT现象引发的光电参数突变、热滞现象和1/f噪声,所以成为在非制冷红外探测器应用中表现出独特潜力的热敏材料。本文采用磁控溅射法制备VO_2薄膜。借助XRD、GIXRD、XPS、TEM、拉曼光谱、分光光度计和四探针电阻测试仪等手段对薄膜的物相,微结构以及电学性能进行了表征。论文主要包括以下方面的内容:利用实验室自制的VO_2纳米粉体烧结靶材制备了 VO_2薄膜,并探究了在磁控溅射法镀膜过程中,氧分压、退火温度、溅射时间对薄膜结构性能的影响。制备了具有高度取向的TiO_2(A)(101)缓冲层,并探索了该缓冲层在VO_2薄膜生长过程中对其晶体结构的影响。利用TiO_2(A)缓冲层所施加拉伸应变(约2.85%),成功地诱导制备了具有高TCR(-3.48%/K)和合适方块电阻电阻(18.97 kΩ)的VO_2(B)薄膜,并通过第一性原理计算对薄膜结构和形成机理进行了详细的研究。所制备的薄膜具有优异的热敏特性,有利于非制冷红外探测领的应用。初步探究了大面积制备TiO_2缓冲层诱导生长的VO_2热敏薄膜工作,制备了具有优异电学性能的可用于非制冷红外探测器领域的高性能VO_2(B)热敏薄膜。综上所述,我们对关于VO_2薄膜的制备工艺条件、缓冲层的诱导作用和大面积制备方面做了较为有意义的基础研究工作。(本文来源于《上海大学》期刊2017-05-01）
危韦[4]（2015）在《Mn-Co-Ni-O系热敏薄膜的磁控溅射方法制备及其光电性能研究》一文中研究指出以Mn,Co,Ni为主的尖晶石过渡族金属氧化物(AB2O4)是一种具有负温度系数的热敏材料,它具有较高的温度电阻(TCR),耐老化性能好,工作温度范围和光谱的反应范围广,能够长期稳定工作等优点,被广泛应用于温度测量计,辐射热测量计和非致冷型红外探测仪等精确测量仪器上。在Mn-Co-Ni-O系材料的制备方面,主要有物理方法和化学方法两种方法,其中高温固相法等物理方法已经具备了较为成熟的工艺体系。本文以高温固相合成法作为基础,以射频磁控溅射为主要手段,对Mn-Co-Ni-O系薄膜的制备工艺进行了摸索,并对所制备的Mn-Co-Ni-O系薄膜的物相结构,电学,光学性能以及它们之间的联系进行了研究。本文的研究工作主要从以下几个方面展开:(1)磁控溅射制备Mn-Co-Ni-O系薄膜使用磁控溅射方法在Si O2/Si衬底上生长Mn-Co-Ni-O系薄膜,通过对一系列工艺参数的摸索和比较,找出最佳的生长条件,并希望改变生长条件,对所制备的薄膜厚度进行控制。希望能对Mn-Co-Ni-O系陶瓷材料的微型化提供参考。(2)Mn-Co-Ni-O系薄膜的物相和形貌表征采用磁控溅射方法制备了一系列不同厚度的Mn-Co-Ni-O系薄膜,通过EDS,XRD,XPS等手段对不同厚度薄膜进行物相的定量和定性分析,发现不同厚度薄膜的Mn,Co,Ni元素比例没有太大区别,但样品中Mn3+和Mn4+的比例却发生了规律性的变化。采用FESEM,AFM对不同厚度薄膜进行形貌表征。(3)Mn-Co-Ni-O系薄膜的电学性能分析对厚度组Mn-Co-Ni-O系薄膜电学性能进行了研究。根据以往的研究表明,在薄膜材料中,随着薄厚的增加,薄膜材料的室温电阻(R0)和特征温度(T0,有些研究中称为B值)都会减小。但是按照这个趋势,块体材料的特征温度(T0)应该小于薄膜材料。实际上同种工艺参数制备块体材料的特征温度(B值)却相差不大,通过对一系列200nm-900nm左右薄膜研究,发现存在着这样一个线性关系:201/()cTμd-d或20ln()()cTμd-d,其中d为薄膜的厚度,dc为薄膜材料特征温度转折点(或B值转折点)的膜厚。并且,当材料由二维材料变为叁维的块体材料时依然适用。为了验证该曲线拟合的正确性,这里结合以往其他研究者的一些数据,发现大致符合这一规律。并结合霍尔效应测试对薄膜材料的载流子浓度,半导体类型分析,同时结合小极化子跃迁模型对这一现象进行解释。(4)Mn-Co-Ni-O系薄膜的光学性能分析采用红外椭圆偏振光谱仪器对不同厚度的Mn-Co-Ni-O系薄膜进行测量,得到一系列不同厚度样品的红外椭偏谱。通过仪器拟合得到近红外和可见光区域范围内薄膜光学系数的变化,并对不同厚度薄膜进行对比分析。(本文来源于《新疆大学》期刊2015-05-23）
陈雪颖,徐金宝,边亮,王磊,熊信谦[5]（2013）在《醇热反应低温合成锰钴镍热敏薄膜》一文中研究指出锰钴镍复合氧化物是一种具有半导体性质的热敏材料.本文采用金属有机沉积技术于室温条件下、在Si衬底上沉积一定厚度的Mn1.74Co0.72Ni0.54O4金属有机化合物薄膜,并通过醇热反应进行低温结晶化合成,可得到Mn1.74Co0.72Ni0.54O4结晶薄膜.通过X射线衍射、场发射扫描电子显微镜(FESEM)以及阻温特性等测试方法表征,讨论了醇热反应对锰钴镍热敏薄膜的物相结构、微观形貌以及电学性能的影响.X射线衍射图显示薄膜已出现尖晶石结构的特征峰.电镜照片说明结晶薄膜的表面较为平整、孔隙率低.阻温特性关系表明薄膜具有明显的负温度系数效应,室温(≈27°)电阻率约为303.13Ω·cm.(本文来源于《物理学报》期刊2013年19期）
何少伟,陈鹏杰,胡庆,董翔,蒋亚东[6]（2012）在《磁控溅射纳米VO_2(B相)热敏薄膜的制备》一文中研究指出利用磁控反应溅射镀膜方法在低温(250℃)条件下制备了主要成分为B相亚稳态二氧化钒(VO2)的薄膜材料。电学性能测试表明:室温下该薄膜的方块电阻为50kΩ左右,电阻温度系数为-2.4%/K,可以作为非致冷红外微测热辐射热计的热敏材料。(本文来源于《半导体光电》期刊2012年04期）
刘涛[7]（2012）在《氧化钒热敏薄膜的制备及结构性能研究》一文中研究指出VO_2是一种热敏功能材料，在68℃会发生从单斜结构半导体相向金红石结构金属相的可逆转变，同时伴随着光学、电学等性能的突变，其在光电开关、光存储、非制冷红外、智能窗等诸多方面有广阔的应用前景，使得VO_2薄膜的制备及性能的研究成为研究热点。第一章介绍了VO_2的晶体结构，相变机理及性能，并阐述VO_2薄膜作为一种新型薄膜材料的应用前景。第二章介绍了VO_2薄膜的常用制备方法，重点介绍了本文实验采用的磁控溅射法的镀膜机理及制备VO_2薄膜的实验过程，实验中采用的薄膜表征检测技术。第叁章研究直流磁控溅射法制备VO_2薄膜的工艺，重点研究了氧分压，溅射时间及基底对薄膜相变性能的影响，结果表明：当溅射功率为100W，溅射气压为1.5Pa，氧分压为3%，溅射时间为1h，并在氮气中450℃退火保温2小时的薄膜样品相变性能优异，VO_2含量最多。薄膜的可见光透过率随着溅射时间的减少而增加。第四章采用直流/射频反应磁控共溅射法制备了掺钨的VO_2薄膜及掺钛的VO_2薄膜；采用直流磁控溅射法，通入氮气作为掺杂源制备了掺氮的VO_2薄膜。实验结果表明：掺钨VO_2薄膜的相变温度降低到了37℃，掺钛VO_2薄膜的相变温度升高到了67℃，而掺氮VO_2薄膜的相变温度为55℃，掺杂后VO_2薄膜的相变性能都有所改变。第五章采用直流磁控溅射法制备了TiO_2/VO_2双层膜，还研究了在不同工艺下制备的TiO_2缓冲层对VO_X薄膜性能的影响。综合上述研究成果，用直流磁控溅射法在玻璃基片上先沉积TiO_2缓冲层，再用直流/射频反应磁控共溅射法制备掺钨VO_X薄膜，经过在氮气中退火，得到在TiO_2缓冲层上的掺钨VO_2智能玻璃，研究结果表明：在溅射气压为1Pa，氧分压为20%，Ti靶采用100W直流电源时，所制备的TiO_2缓冲层上的掺钨VO_2薄膜致密，晶粒大小均匀。掺钨VO_2薄膜样品的相变温度降低至35℃，可见光透过率较高，对红外光的屏蔽效果明显。(本文来源于《合肥工业大学》期刊2012-04-01）
马卫红,翟于嘉,蔡长龙[8]（2011）在《磁控溅射法制备镍热敏薄膜的工艺研究》一文中研究指出为了提高用作红外探测器敏感材料的镍膜的性能,采用直流磁控溅射的方法在载玻片上制备测辐射热计的热敏感薄膜-镍膜,靶材选用高纯镍(99.99%).采用四探针电阻特性测试仪测试了所制备的镍热敏薄膜在不同温度下的方块电阻,根据测试曲线计算薄膜的电阻温度系数(Temperature Coefficient of Resistance,TCR).研究了工作气压、氩气流量以及溅射功率对镍膜TCR的影响.实验研究表明,当溅射功率为225W,工作气压为1Pa,氩气流量为120sccm,溅射时间为3min时,制备出的镍膜方阻为2.9Ω/□,TCR为2.3×10-3/K.(本文来源于《西安工业大学学报》期刊2011年05期）
傅博,马炳和,邓进军,董拴成[9]（2011）在《柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究》一文中研究指出分析了热敏薄膜传感器测量流场温度和壁面剪应力的原理,选择聚酰亚胺为衬底材料,金属镍为热敏材料,提出了一种电镀引线的柔性热敏薄膜传感器阵列结构及其制作工艺。经热敏性能测试,该柔性热敏薄膜传感器阵列结构简单,可贴附于高曲率复杂表面,实现非破坏动态流场参数测量。(本文来源于《航空精密制造技术》期刊2011年04期）
宋秀娟,杨传仁,张继华,陈宏伟[10]（2008）在《NTC热敏薄膜的研究进展》一文中研究指出综述了负温度系数(NTC)热敏薄膜目前最常用的四种制备工艺,即:蒸发法(evaporation),磁控溅射法(magnetron sputtering),脉冲激光沉积法(PLD)和金属有机物热分解法(MOD),分析了这几种工艺的优缺点及国外的研究进展。并简要介绍了NTC热敏薄膜在传感器等方面的应用和发展前景。(本文来源于《电子元件与材料》期刊2008年08期）
热敏薄膜论文开题报告
（1）论文研究背景及目的
此处内容要求：
首先简单简介论文所研究问题的基本概念和背景，再而简单明了地指出论文所要研究解决的具体问题，并提出你的论文准备的观点或解决方法。
写法范例：
近年来红外探测技术在军事和民用领域得到了迅速的发展,非制冷红外探测器以其低成本、小型化、非制冷等优势在红外探测系统发展中占据着重要的地位。本文总结了国内外非制冷红外探测器的发展现状,分析了两种主要的非制冷红外探测器技术路线的特点及差异,并给出了这两种技术路线后续发展趋势。
（2）本文研究方法
调查法：该方法是有目的、有系统的搜集有关研究对象的具体信息。
观察法：用自己的感官和辅助工具直接观察研究对象从而得到有关信息。
实验法：通过主支变革、控制研究对象来发现与确认事物间的因果关系。
文献研究法：通过调查文献来获得资料，从而全面的、正确的了解掌握研究方法。
实证研究法：依据现有的科学理论和实践的需要提出设计。
定性分析法：对研究对象进行“质”的方面的研究，这个方法需要计算的数据较少。
定量分析法：通过具体的数字，使人们对研究对象的认识进一步精确化。
跨学科研究法：运用多学科的理论、方法和成果从整体上对某一课题进行研究。
功能分析法：这是社会科学用来分析社会现象的一种方法，从某一功能出发研究多个方面的影响。
模拟法：通过创设一个与原型相似的模型来间接研究原型某种特性的一种形容方法。
热敏薄膜论文参考文献
[1].张逍博.Mn-(Co、Zn、Fe)-Ni系列热敏薄膜的制备以及光学、电学性能研究[D].云南大学.2018
[2].王成刚,宋广.非制冷红外焦平面探测器热敏薄膜技术研究进展[J].激光与红外.2017
[3].丁卓翰.缓冲层诱导生长高性能VO_2热敏薄膜[D].上海大学.2017
[4].危韦.Mn-Co-Ni-O系热敏薄膜的磁控溅射方法制备及其光电性能研究[D].新疆大学.2015
[5].陈雪颖,徐金宝,边亮,王磊,熊信谦.醇热反应低温合成锰钴镍热敏薄膜[J].物理学报.2013
[6].何少伟,陈鹏杰,胡庆,董翔,蒋亚东.磁控溅射纳米VO_2(B相)热敏薄膜的制备[J].半导体光电.2012
[7].刘涛.氧化钒热敏薄膜的制备及结构性能研究[D].合肥工业大学.2012
[8].马卫红,翟于嘉,蔡长龙.磁控溅射法制备镍热敏薄膜的工艺研究[J].西安工业大学学报.2011
[9].傅博,马炳和,邓进军,董拴成.柔性热敏薄膜传感器阵列工艺研究[J].航空精密制造技术.2011
[10].宋秀娟,杨传仁,张继华,陈宏伟.NTC热敏薄膜的研究进展[J].电子元件与材料.2008
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