多元Cr-Mo-Si-C-N系列薄膜结构及摩擦学特性研究进展

论文摘要

从三元含Mo的Cr-Mo-N、Mo-Si-N、Mo-C-N薄膜到四元Cr-Mo-Si-N、Mo-Si-C-N薄膜,综述多元系列薄膜的结构、力学及摩擦学性能的研究进展;分析在不同气体压力、制备方法与参数、不同元素含量下薄膜结构的变化,阐述薄膜结构与其力学性能和摩擦学特性的关联。指出:多元Cr-Mo-Si-C-N系列薄膜结构、硬度、摩擦因数强烈受到薄膜中Mo、Si、C、N元素含量的影响,其中力学特性还与薄膜微结构紧密相关;薄膜的摩擦学特性与晶粒生长细化和作为润滑剂的无定形基质有关;在摩擦过程中发生的摩擦化学反应也有效地提高了薄膜的耐磨性。对于四元Cr-Mo-C-N和多元Cr-Mo-Si-C-N薄膜,建议进一步研究在水润滑与非润滑的不同条件下,例如在海水或者空气干摩擦环境下,是否由于薄膜结构组分的不同而有效地形成含Mo的氧化物的自润滑膜,以提高薄膜在更多场合下的适应性和减摩性。

论文目录

• 1 Cr-Mo-N、Mo-Si-N、Mo-C-N三元薄膜结构及其摩擦学特性
•   1.1 Cr-Mo-N薄膜结构、力学及摩擦学性能
•   1.2 Mo-Si-N薄膜结构、力学及摩擦学性能
•   1.3 Mo-C-N薄膜结构、力学及摩擦学性能
• 2 四元Cr-Mo-Si-N、Mo-Si-C-N薄膜结构及其摩擦学特性
•   2.1 Cr-Mo-Si-N薄膜结构及力学性能
•   2.2 Mo-Si-C-N薄膜结构、力学及摩擦学性能
• 3 结束语

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 张懋达,付永强,王谦之,周飞

关键词: 磁控溅射,薄膜,薄膜结构,摩擦学特性

来源: 润滑与密封 2019年04期

年度: 2019

分类: 工程科技Ⅱ辑,基础科学,工程科技Ⅰ辑

专业: 力学,材料科学,工业通用技术及设备

单位: 南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室,南京航空航天大学机电学院

基金: 国家自然科学基金项目(51775271)

分类号: O313.5;TB383.2

页码: 136-148

总页数: 13

文件大小: 4657K

下载量: 52