论文摘要
采用磁控溅射技术,以AISI304不锈钢为基体,通过在溅射过程中引入不同流量的N2,制备出不同程度N掺杂的Ta涂层,研究了少量N掺杂对Ta涂层微观结构、物相组成、力学及磨损性能的影响。结果表明,无N掺杂时,Ta涂层中的物相组成为α-Ta,晶粒粗大,（211）和（110）晶面竞争生长;N掺杂后涂层中的物相组成为TaN0.1,晶粒细小并呈（110）择优取向。少量N掺杂可以显著提高Ta涂层的硬度和弹性模量,并大幅度改善其抗磨损性能。涂层硬度和弹性模量的提高与晶粒细化、N原子固溶及涂层中存在的压应力有关。N掺杂后涂层的磨损机制由磨粒磨损向黏着磨损转变。
论文目录
文章来源
类型: 期刊论文
作者: 杨莎莎,杨峰,陈明辉,牛云松,朱圣龙,王福会
关键词: 涂层,磁控溅射,掺杂,磨损
来源: 金属学报 2019年03期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 金属学及金属工艺
单位: 中国科学院金属研究所,中国科学技术大学材料科学与工程学院,沈阳理工大学装备工程学院,东北大学沈阳材料科学国家研究中心东北大学联合研究分部
基金: 国家重点研发计划项目No.2017YFB0306100,国家自然科学基金项目Nos.51671053,51701223,装备预研教育部联合基金项目No.6141A020332-004,中央高校基本科研业务费专项基金项目No.N160205001~~
分类号: TG174.4
页码: 308-316
总页数: 9
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