热交换器升降机构以及晶体生长炉系统论文和设计-郭飞

全文摘要

本实用新型公开一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统，包括热交换器、固定件、升降机构。热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换，热交换器被构造为与炉体的壁面可滑动地配合。固定件被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构与固定件连接并与固定件保持相对位置，升降机构与热交换器传动连接，升降机构被构造为驱动热交换相对于炉体滑动，以改变升降机构相对于炉体的位置关系。本申请提供的技术方案可以用于解决现有晶体生长设备中热交换器位置的相对变化，导致影响晶体质量的问题。

主设计要求

1.一种热交换器升降机构，其特征在于，包括：热交换器，所述热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与所述晶体生长炉中的坩埚连接并与所述坩埚发生热交换，所述热交换器被构造为与所述炉体的壁面可滑动地配合；固定件，所述固定件被构造为与所述晶体生长炉保持相对位置；以及升降机构，所述升降机构与所述固定件连接并与所述固定件保持相对位置，所述升降机构与所述热交换器传动连接，所述升降机构被构造为驱动所述热交换相对于所述炉体滑动，以改变所述升降机构相对于所述炉体的位置关系。

设计方案

1.一种热交换器升降机构，其特征在于，包括：

热交换器，所述热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与所述晶体生长炉中的坩埚连接并与所述坩埚发生热交换，所述热交换器被构造为与所述炉体的壁面可滑动地配合；

固定件，所述固定件被构造为与所述晶体生长炉保持相对位置；以及

升降机构，所述升降机构与所述固定件连接并与所述固定件保持相对位置，所述升降机构与所述热交换器传动连接，所述升降机构被构造为驱动所述热交换相对于所述炉体滑动，以改变所述升降机构相对于所述炉体的位置关系。

2.根据权利要求1所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述固定件被构造为与所述炉体的底壁固定，所述固定件沿所述晶体生长炉的高度方向延伸；

所述固定件沿垂直于所述晶体生长炉的高度的方向上设置有安装板，所述升降机构安装于所述安装板上。

3.根据权利要求2所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述热交换器的截面呈矩形，所述热交换器具有相对的第一端和第二端；

所述第一端被构造为贯穿所述炉体的底壁并支撑于所述坩埚；

所述第二端与所述升降机构传动连接。

4.根据权利要求3所述的热交换器升降机构，其特征在于，包括：

滑动件，所述滑动件沿垂直于所述固定件的延伸方向延伸，所述滑动件沿所述固定件的延伸方向与所述固定件滑动配合；

所述第二端支撑于所述滑动件，所述升降机构与所述滑动件传动连接。

5.根据权利要求4所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述固定件的侧壁设置有滚珠导轨，所述滚珠导轨沿所述固定件的延伸方向延伸；

所述滑动件的一端与所述滚珠导轨滑动配合。

6.根据权利要求5所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述第二端与所述滑动件之间设置有测力装置，所述测力装置被构造为将所述热交换器支撑于所述滑动件并测量所述热交换器承受的力。

7.根据权利要求6所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述热交换器的周壁固定有测力定位板，所述测力定位板靠近所述第二端；

所述测力装置包括一个测力计和两个支撑柱，所述测力计的一端及两个所述支撑柱的一端分别固定于所述滑动件，所述测力计的测力端和两个所述支撑柱的另一端分别支撑于所述测力定位板；

所述测力计和两个所述支撑柱呈三角形阵列排布。

8.根据权利要求7所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述升降机构为固定于所述安装板上的气缸，所述气缸的伸缩杆与所述滑动件传动连接。

9.根据权利要求8所述的热交换器升降机构，其特征在于：

所述升降机构还包括套筒和弹簧体；

所述套筒套设于所述气缸的伸缩杆上并与所述伸缩杆可滑动地配合；

所述弹簧体固定于所述伸缩杆上并弹性支撑于所述套筒上。

10.一种晶体生长炉系统，其特征在于，包括：

炉体；

位于所述炉体内的坩埚；

密封管；以及

权利要求1-9任意一项所述的热交换器升降机构；

所述热交换器的一端贯穿所述炉体的壁面并与所述坩埚连接；

所述密封管套设于所述热交换器上，以使得所述热交换器与所述炉体之间保持密封；

所述固定件固定于所述炉体。

设计说明书

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备领域，具体而言，涉及一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统。

背景技术

传统的晶体生长设备，在设计之初，其热交换器的位置通过计算机模拟以及大量的实验数据总结来确定，设计完毕之后位置就固定下来了。在随后的使用过程中，热交换器的作用包括支撑坩埚，与外界交换热量的作用，随着晶体生长炉使用条件的不断变化，如热区中其余材料的变形等，最初固定下来的热交换器位置会发生相对的变化，甚至在单个炉次运行过程中，也会发生细微的相对变化，这种细微的相对变化对晶体生长来说是个不稳定因素，会造成坩埚中的液体散热不能有效满足晶体生长所需要的热场分布，坩埚也会发生相应的形变，最终严重影响到晶体质量。

实用新型内容

本实用新型提供了一种热交换器升降机构以及晶体生长炉系统，用于解决现有晶体生长设备中热交换器位置的相对变化，导致影响晶体质量的问题。

第一方面，提供了一种热交换器升降机构，其包括热交换器、固定件、升降机构。热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换，热交换器被构造为与炉体的壁面可滑动地配合。固定件被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构与固定件连接并与固定件保持相对位置，升降机构与热交换器传动连接，升降机构被构造为驱动热交换相对于炉体滑动，以改变升降机构相对于炉体的位置关系。

上述方案中，热交换器升降机构应用于晶体生长炉中，通过热交换器升降机构能够在不影响设备的气密性及设备的构造的条件下，改变热交换器在晶体生长炉中的相对位置，以满足晶体生长所需要的热场分布，保证晶体的质量。具体地，热交换器的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体与晶体生长炉中的坩埚连接并与坩埚发生热交换，其中，热交换器与炉体之间是可滑动地配合关系，其使得热交换器具有相对于炉体发生相对运动的前提，为使得热交换器能够根据需要在工作时或调试时，发生与炉体之间的相对位置的改变，设置有升降机构，其中，升降机构固定在固定件上，其中，固定件与晶体生长炉(即，可看作炉体)之间的相对位置固定，升降机构驱动热交换器做升降运动，从而使得热交换器与炉体具有一定位参考点(固定件，或者说升降机构在初始位置时，对热交换器的支撑点)、一最大位移点(即，升降机构在最大延伸高度时，热交换器所处的点)以及一最低位移点 (即，升降机构在最大收缩高度时，热交换器所处的点)，当在晶体生长炉工作中或者在晶体生长炉调试过程中，发现热交换器发生了位移或者热交换器与炉体之间的相对位置发生了变化，通过该升降机构对热交换器相对于炉体的位置进行调控，从而保证了所生长的晶体的质量。

在一种可能的实现方式中，固定件被构造为与炉体的底壁固定，固定件沿晶体生长炉的高度方向延伸；

固定件沿垂直于晶体生长炉的高度的方向上设置有安装板，升降机构安装于安装板上。

上述技术方案中，固定件固定于炉体上，则在实际应用时，热交换器升降机构中的结构是可以依托于晶体生长炉上的，其节约了占地面积，同时亦提高了操作热交换器进行升降的便捷性。其中，固定件的延伸方向的设计，以及升降机构相对于固定件的位置关系，能够使得升降机构以最小的升降行程满足热交换器的位移需求，节约了升降机构的能耗，提升了升降机构的效率。

可选地，在一种可能的实现方式中，热交换器的截面呈矩形，热交换器具有相对的第一端和第二端；

第一端被构造为贯穿炉体的底壁并支撑于坩埚；

第二端与升降机构传动连接。

上述技术方案中，给出了一种热交换器的形态，其以等距轮廓的方式贯穿炉体底壁，使得热交换器与炉体之间的气密性得到了保证并且其相对于炉体以及坩埚的方向是一定的，通过升降机构以最小的行程，使得热交换器支撑以及相对于炉体之间的位移变化得到最经济的效果，即，热交换器的升降行程与升降机构的升降行程一致，并且热交换器对坩埚的支撑力是完全地作用在坩埚竖直向下的作用力上的。

可选地，包括滑动件，滑动件沿垂直于固定件的延伸方向延伸，滑动件沿固定件的延伸方向与固定件滑动配合；

第二端支撑于滑动件，升降机构与滑动件传动连接。

上述技术方案中，热交换器与升降机构之间设置滑动件，其降低了热交换器(以及热交换器支撑的坩埚)对升降机构的磨损，通过将作用力由滑动件分散至升降机构以及固定件，提高了热交换器升降机构的使用寿命，并且通过滑动件的滑动设计，使得升降机构能够精准地作用于热交换器。

可选地，固定件的侧壁设置有滚珠导轨，滚珠导轨沿固定件的延伸方向延伸；

滑动件的一端与滚珠导轨滑动配合。

上述技术方案中，以滚珠导轨作为滑动的配合结构，使得该滑动件的摩擦阻力小，移动轻便，磨损小、精度保持性好。

可选地，第二端与滑动件之间设置有测力装置，测力装置被构造为将热交换器支撑于滑动件并测量热交换器承受的力。

上述技术方案中，热交换器通过测力装置完成与滑动件的配合，即，热交换器所承受的力或者说热交换器自身的重力以及所承载的力矩能够被测力装置测量，从而能够通过测力装置的测量的改变的数值与热交换器在正常工作情况下的数值进行比较，能够以数据的方向查看热交换器相对于炉体的位置关系是否发生改变，从而通过升降机构控制热交换器的位置。

在一种可能的实现方式中，热交换器的周壁固定有测力定位板，测力定位板靠近第二端；

测力装置包括一个测力计和两个支撑柱，测力计的一端及两个支撑柱的一端分别固定于滑动件，测力计的测力端和两个支撑柱的另一端分别支撑于测力定位板；

测力计和两个支撑柱呈三角形阵列排布。

上述技术方案中，提供了测量装置的具体结构以及分布方式，通过上述技术方案中的设计，使得测量装置能够准确地测量热交换器所承载的力矩，以及通过上述测力计的排布方式，能够稳定地支撑热交换器。

进一步地，在一种可能的实现方式中，升降机构为固定于安装板上的气缸，气缸的伸缩杆与滑动件传动连接。

上述技术方案中，由于是通过气缸的伸缩实现了升降运动，则，可通过气缸中气体的压缩量来精准的控制热交换器的升降行程。

进一步地，在一种可能的实现方式中，升降机构还包括套筒和弹簧体。套筒套设于气缸的伸缩杆上并与伸缩杆可滑动地配合。弹簧体固定于伸缩杆上并弹性支撑于套筒上。

上述技术方案中，通过套筒和弹簧体的设置，能够减缓升降机构与热交换器之间的冲击，同时，由于升降机构是由气缸完成升降运动的，故，通过套筒和弹簧体能够进一步地保证升降的精度。

第二方面，提供了一种晶体生长炉系统，晶体生长炉系统包括炉体、密封管以及第一方面以及第一方面中任意一种实现方式中的热交换器升降机构。热交换器的一端贯穿炉体的壁面并与坩埚连接。密封管套设于热交换器上，以使得热交换器与炉体之间保持密封。固定件固定于炉体。

上述技术方案中，提供了一种晶体生长炉系统，该晶体生长炉系统具有热交换器升降机构。其中，热交换器与炉体之间是可滑动地配合关系，其使得热交换器具有相对于炉体发生相对运动的前提，为使得热交换器能够根据需要在工作时或调试时，发生与炉体之间的相对位置的改变，设置有升降机构，其中，升降机构固定在固定件上，其中，固定件与晶体生长炉(即，可看作炉体)之间的相对位置固定，升降机构驱动热交换器做升降运动，从而使得热交换器与炉体具有一定位参考点(固定件，或者说升降机构在初始位置时，对热交换器的支撑点)、一最大位移点(即，升降机构在最大延伸高度时，热交换器所处的点)以及一最低位移点(即，升降机构在最大收缩高度时，热交换器所处的点)，当在晶体生长炉工作中或者在晶体生长炉调试过程中，发现热交换器发生了位移或者热交换器与炉体之间的相对位置发生了变化，通过该升降机构对热交换器相对于炉体的位置进行调控，从而保证了所生长的晶体的质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1为本实用新型实施例中晶体生长炉系统的结构示意图；

图2为本实用新型实施例中热交换器升降机构的结构示意图；

图3为本实用新型实施例中测力定位板的结构示意图；

图4为本实用新型实施例中升降机构的结构示意图。

图标：10-热交换器升降机构；11-热交换器；12-固定件；13- 升降机构；14-滑动件；15-测力计；15a-支撑柱；16-测力定位板； 20-晶体生长炉系统；21-炉体；22-坩埚；23-密封管；130-套筒；131- 弹簧体；160-盲孔。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本实用新型实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。

因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“内”、“下”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

需要说明的是，在不冲突的情况下，本实用新型中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

下面将对本申请中的技术方案进行描述。

本实施例提供一种晶体生长炉系统20，用于解决现有晶体生长设备中热交换器11相对位置的变化，导致影响晶体质量的问题。

其中，晶体生长炉系统20包括炉体21、坩埚22以及热交换器升降机构10，如图1中，图1示出了本实施例中晶体生长炉系统20 的具体结构。

其中，热交换器升降机构10解决了现有晶体生长设备中热交换器11相对位置的变化，导致影响晶体质量的问题，下文将详细描述热交换器升降机构10。

热交换器升降机构10包括热交换器11、固定件12、升降机构 13。热交换器11的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体21与晶体生长炉中的坩埚22连接并与坩埚22发生热交换，热交换器11被构造为与炉体21的壁面可滑动地配合。固定件12被构造为与晶体生长炉保持相对位置。升降机构13与固定件12连接并与固定件12保持相对位置，升降机构13与热交换器11传动连接，升降机构13被构造为驱动热交换相对于炉体21滑动，以改变升降机构13相对于炉体 21的位置关系。

其中，热交换器升降机构10应用于晶体生长炉中，通过热交换器升降机构10能够在不影响设备的气密性及设备的构造的条件下，改变热交换器11在晶体生长炉中的相对位置，以满足晶体生长所需要的热场分布，保证晶体的质量。具体地，热交换器11的一端被构造为贯穿晶体生长炉的炉体21与晶体生长炉中的坩埚22连接并与坩埚22发生热交换，其中，热交换器11与炉体21之间是可滑动地配合关系，其使得热交换器11具有相对于炉体21发生相对运动的前提，为使得热交换器11能够根据需要在工作时或调试时，发生与炉体21之间的相对位置的改变，设置有升降机构13，其中，升降机构13固定在固定件12上，其中，固定件12与晶体生长炉(即，可看作炉体 21)之间的相对位置固定，升降机构13驱动热交换器11作升降运动，从而使得热交换器11与炉体21具有一定位参考点(固定件12，或者说升降机构13在初始位置时，对热交换器11的支撑点)、一最大位移点(即，升降机构13在最大延伸高度时，热交换器11所处的点) 以及一最低位移点(即，升降机构13在最大收缩高度时，热交换器 11所处的点)，当在晶体生长炉工作中或者在晶体生长炉调试过程中，发现热交换器11发生了位移或者热交换器11与炉体21之间的相对位置发生了变化，通过该升降机构13对热交换器11相对于炉体 21的位置进行调控，从而保证了晶体的质量。

在图1中，即，在晶体生长炉系统20中，热交换器11的一端贯穿炉体21的壁面并与坩埚22连接。密封管23套设于热交换器11 上，以使得热交换器11与炉体21之间保持密封。固定件12固定于炉体21。通过热交换器升降机构10使得晶体生长炉系统20解决了现有晶体生长设备中热交换器11位置的变化，导致影响晶体质量的问题。

进一步地，在一些实施例中，固定件12被构造为与炉体21的底壁固定，固定件12沿晶体生长炉的高度方向延伸。固定件12沿垂直于晶体生长炉的高度的方向上设置有安装板，升降机构13安装于安装板上。需要说明的是的，固定件12固定于炉体21上，则在实际应用时，热交换器升降机构10中的结构是可以依托于晶体生长炉上的，其节约了占地面积，同时亦提高了操作热交换器11进行升降的便捷性。其中，固定件12的延伸方向的设计，以及升降机构13相对于固定件12的位置关系，能够使得升降机构13以最小的升降行程满足热交换器11的位移需求，节约了升降机构13的能耗，提升了升降机构 13的效率。

其中，在一些实施例中，热交换器11的截面呈矩形，热交换器 11具有相对的第一端和第二端，第一端被构造为贯穿炉体21的底壁并支撑于坩埚22，第二端与升降机构13传动连接。

其中，在上述一些实施例中，给出了一种热交换器11的形态，其以等距轮廓的方式贯穿炉体21底壁，使得热交换器11与炉体21 之间的气密性得到了保证并且其相对于炉体21以及坩埚22的方向是一定的，通过升降机构13以最小的行程，使得热交换器11支撑以及相对于炉体21之间的位移变化得到最经济的效果，即，热交换器11 的升降行程与升降机构13的升降行程一致，并且热交换器11对坩埚 22的支撑力是完全地作用在坩埚22竖直向下的作用力上的。在其他具体实施方式中，热交换器11的截面还可呈圆形。

进一步地，请结合图2，图2示出了本实施例中热交换器升降机构10在第一视角下的具体结构，需要说明的是，图2中示出了热交换器升降机构10的部分结构。

热交换器升降机构10包括滑动件14，滑动件14沿垂直于固定件12的延伸方向延伸，滑动件14沿固定件12的延伸方向与固定件 12滑动配合。第二端支撑于滑动件14，升降机构13与滑动件14传动连接。

其中，热交换器11与升降机构13之间设置滑动件14，其降低了热交换器11(以及热交换器11支撑的坩埚22)对升降机构13的磨损，通过将作用力由滑动件14分散至升降机构13以及固定件12，提高了热交换器升降机构10的使用寿命，并且通过滑动件14的滑动设计，使得升降机构13能够精准地作用于热交换器11。

可选地，在一些实施例中，固定件12的侧壁设置有滚珠导轨，滚珠导轨沿固定件12的延伸方向延伸；滑动件14的一端与滚珠导轨滑动配合。其中，以滚珠导轨作为滑动的配合结构，使得该滑动件14的摩擦阻力小，移动轻便，磨损小、精度保持性好。

可选地，请重新参考图1，在一些实施例中，第二端与滑动件14 之间设置有测力装置(下文详细解释)，测力装置被构造为将热交换器11支撑于滑动件14并测量热交换器11承受的力。

其中，上述一些实施例中，热交换器11通过测力装置完成与滑动件14的配合，即，热交换器11所承受的力或者说热交换器11自身的重力以及所承载的力能够被测力装置测量，从而能够通过测力装置的测量的改变的数值与热交换器11在正常工作情况下的数值进行比较，能够以数据的形式查看热交换器11相对于炉体21的位置关系是否发生改变，从而通过升降机构13控制热交换器11的位置。

可选地，在一些实施例中，请结合图1和图3，图3示出了测力定位板16的具体结构。

热交换器11的周壁固定有测力定位板16，测力定位板16靠近第二端，测力装置包括一个测力计15和两个支撑柱15a，测力计15 的一端及两个支撑柱15a的一端分别固定于滑动件14，测力计15的测力端和两个支撑柱15a的另一端分别支撑于测力定位板16，测力计15和两个支撑柱15a呈三角形阵列排布，其中，测力定位板16 具有三个呈三角形阵列排布的盲孔160，测力计15和两个支撑柱15a 分别嵌设于盲孔160中。

其中，提供了测量装置的具体结构以及分布方式，通过上述技术方案中的设计，使得测量装置能够准确地测量热交换器11所承载的力矩，以及通过上述测力计15的排布方式，能够稳定地支撑热交换器11。需要说明的是，本实施例中的测力的计量程为0—150kg，分辨率为0.01kg--1kg。

进一步地，在一些实施例中，升降机构13为固定于安装板上的气缸，气缸的伸缩杆与滑动件14传动连接。其中，由于是通过气缸的伸缩实现了升降运动，则，可通过气缸中气体的压缩量来精准的控制热交换器11的升降行程。在其他具体实施方式中，升降机构13 还可以通过油缸、液压缸、机械升缩杆等其他结构实现升降功能。需要说明的是，本实施例中的气缸通过压缩空气系统提供气压，其中，压缩空气系统能提供给升降机构13的力范围为0-3000N。例如1000N、 2000N等。其中，压缩空气系统所使用的压缩空气的压力范围为：0 —5Mpa。例如3Mpa等。

进一步地，请参考图4，图4示出了本实施例中升降机构13的具体结构。升降机构13还包括套筒130和弹簧体131。套筒130套设于气缸的伸缩杆上并与伸缩杆可滑动地配合。弹簧体131固定于伸缩杆上并弹性支撑于套筒130上。其中，通过套筒130和弹簧体131 的设置，能够减缓升降机构13与热交换器11之间的冲击，同时，由于升降机构13是由气缸完成升降运动的，故，通过套筒130和弹簧体131能够进一步地保证升降的精度。

需要说明的是，本实施例中，热交换器11中的热交换介质包括但不限于He(氦气)，N_{2<\/sub>(氮气)，Ar(氩气)等。}

需要说明的是，在一种可实现的条件下，测力计15、气缸(以及为气缸提供气压的压缩空气系统)与控制系统连接(例如，可编程逻辑控制器，Programmable LogicController，PLC)，一种晶体生长方法为：设备开始运行前，坩埚22内装料100kg，当压缩空气系统提供的压力1MPa时，气缸开始缓慢运行，带动热交换器11开始向上运动，上升的高度由气缸的压力决定，当测力计15的数值达到200N 时，触发了系统(PLC)的停止信号，系统(PLC)停止增加压缩空气的压力，此时压缩空气的压力值为1.8MPa，气缸保持位置。此时热交换器11和坩埚22之间的接触力为200N。此数值可以根据工艺需求调整，调整范围为0-3000N。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

设计图

热交换器升降机构以及晶体生长炉系统论文和设计

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