化学抛光对硅基异质结太阳电池性能的影响

论文摘要

针对非晶硅薄膜沉积时金字塔沟壑处容易出现外延生长的问题,采用化学抛光液CP133对硅片表面进行了抛光处理。研究结果表明,抛光使得金字塔底部区域形貌由"V"型变成了"U"型,明显改善了非晶硅/晶体硅界面的钝化效果。抛光溶液温度低于30℃时难以发挥腐蚀作用,但当溶液的起始温度升高至35℃时,获得了较好的抛光效果。采用质量分数为1%的NaOH溶液制绒且抛光时间为30s时,太阳电池性能较佳。

论文目录

• 1 引言
• 2 实验过程
• 3 结果与讨论
•   3.1 CP133化学抛光液温度对钝化与电池性能的影响
•   3.2 CP133化学抛光液抛光时间对钝化及电池性能影响
•     3.2.1 抛光时间对质量分数为2%的NaOH溶液制绒硅片的钝化及电池性能影响
•     3.2.2 抛光时间对质量分数为1%的NaOH溶液制绒的硅片的钝化及电池性能影响
•     3.2.3 两种浓度的NaOH溶液制绒后太阳电池性能的比较
• 4 结论

文章来源

类型: 期刊论文

作者: 姜元建,张晓丹,赵颖

关键词: 表面光学,界面处理,化学抛光,硅基异质结太阳电池,钝化,金字塔形貌,制绒

来源: 激光与光电子学进展 2019年06期

年度: 2019

分类: 信息科技,工程科技Ⅱ辑

专业: 电力工业

单位: 菏泽学院物理与电子工程学院,南开大学光电子薄膜器件与技术研究所光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室

基金: 国家自然科学基金(61474065,61504069),高等学校学科创新引智计划(简称111计划)(B16027),山东省自然科学基金博士基金(ZR2017BEE061),菏泽学院科研基金博士基金(XY17BS01)

分类号: TM914.4

页码: 199-206

总页数: 8

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