全文摘要
本发明公开了一种多工位水冷靶及其制造方法，包括制造靶体、集水管、进水管、堵水件、回水管、回水弯管、靶套等。将各部件组装焊接形成多工位水冷靶。由于采用螺旋槽设计的直接水冷通道，并将靶体套入靶套内，安装在靶套表面的靶材由于离子束轰击产生的热量直接由冷却水带走，水准效果好。同时这种设计的水冷靶结构简单，可实现四面、五面、六面、八面等形式，可安装多种不同靶材。
主设计要求
1.一种多工位水冷靶制造方法，其特征在于，包括以下步骤：S1.采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽(17)的靶体(1)，所述靶体(1)一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口(12)，穿过所述靶体第二开口(12)的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口(14)，在所述靶体第四开口(14)同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口(16)的靶体第一开口(11)，在所述靶体第四开口(14)另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口(15)的靶体第三开口(13)；S2.采用机械加工的方法制造圆柱体靶套(8)，所述靶套(8)内部加工有与所述靶体(1)外径吻合的圆形通孔靶套开口(81)；S3.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第二开口(12)内径吻合的、上端侧位加工有集水管第一开口(21)、中心加工有集水管第二开口(22)的集水管(2)；S4.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第四开口(14)内径吻合的、上端带有进水弯管(31)的进水管(3)；S5.采用机械加工的方法制造堵水件(4)，所述堵水件(4)外径与所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内径吻合，所述堵水件(4)中心开有内径与所述进水管(3)外径吻合的通孔堵水件第一开口(41)，所述堵水件(4)边缘开有另一通孔堵水件第二开口(42)；S6.采用机械加工的方法制造回水管(5)和回水弯管(6)；S7.将所述进水管(3)插入靶体第四开口(14)，所述进水弯管(31)末端插入靶体第三开口(13)，在所述靶体第三开口(13)和靶体第四开口(14)周围进行圆周密封焊接；S8.将所述回水弯管(6)一端插入所述集水管(2)的集水管第一开口(21)中，并在接合处进行圆周密封焊接；S9.将焊接有回水弯管(6)的所述集水管(2)一端插入靶体(1)的靶体第二开口(12)并在接合处进行圆周密封焊接；将所述回水弯管(6)的另一端插入靶体第一开口(11)，并在接合处进行圆周密封焊接；S10.将所述回水管(5)插入所述堵水件(4)的堵水件第二开口(42)并在接合处进行圆周密封焊接；S11.将焊接有回水管(5)的所述堵水件(4)插入所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内，并在接合处进行圆周密封焊接；将所述进水管(3)与所述堵水件(4)的堵水件第一开口(41)接合处进行圆周密封焊接；S12.将焊接好集水管(2)、进水管(3)、堵水件(4)、回水管(5)和回水弯管(6)的靶体(1)套入所述靶套(8)的靶套开口(81)内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。
设计方案
1.一种多工位水冷靶制造方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1.采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽(17)的靶体(1)，所述靶体(1)一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口(12)，穿过所述靶体第二开口(12)的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口(14)，在所述靶体第四开口(14)同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口(16)的靶体第一开口(11)，在所述靶体第四开口(14)另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口(15)的靶体第三开口(13)；
S2.采用机械加工的方法制造圆柱体靶套(8)，所述靶套(8)内部加工有与所述靶体(1)外径吻合的圆形通孔靶套开口(81)；
S3.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第二开口(12)内径吻合的、上端侧位加工有集水管第一开口(21)、中心加工有集水管第二开口(22)的集水管(2)；
S4.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体(1)的靶体第四开口(14)内径吻合的、上端带有进水弯管(31)的进水管(3)；
S5.采用机械加工的方法制造堵水件(4)，所述堵水件(4)外径与所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内径吻合，所述堵水件(4)中心开有内径与所述进水管(3)外径吻合的通孔堵水件第一开口(41)，所述堵水件(4)边缘开有另一通孔堵水件第二开口(42)；
S6.采用机械加工的方法制造回水管(5)和回水弯管(6)；
S7.将所述进水管(3)插入靶体第四开口(14)，所述进水弯管(31)末端插入靶体第三开口(13)，在所述靶体第三开口(13)和靶体第四开口(14)周围进行圆周密封焊接；
S8.将所述回水弯管(6)一端插入所述集水管(2)的集水管第一开口(21)中，并在接合处进行圆周密封焊接；
S9.将焊接有回水弯管(6)的所述集水管(2)一端插入靶体(1)的靶体第二开口(12)并在接合处进行圆周密封焊接；将所述回水弯管(6)的另一端插入靶体第一开口(11)，并在接合处进行圆周密封焊接；
S10.将所述回水管(5)插入所述堵水件(4)的堵水件第二开口(42)并在接合处进行圆周密封焊接；
S11.将焊接有回水管(5)的所述堵水件(4)插入所述集水管(2)的集水管第二开口(22)内，并在接合处进行圆周密封焊接；将所述进水管(3)与所述堵水件(4)的堵水件第一开口(41)接合处进行圆周密封焊接；
S12.将焊接好集水管(2)、进水管(3)、堵水件(4)、回水管(5)和回水弯管(6)的靶体(1)套入所述靶套(8)的靶套开口(81)内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。
2.根据权利要求1所述的多工位水冷靶制造方法，其特征在于，所述靶体(1)的螺旋槽(17)从螺旋槽入口(15)到螺旋槽出口(16)贯通。
3.一种多工位水冷靶，其特征在于，所述多工位水冷靶采用权利要求1所述的多工位水冷靶制造方法制得。
设计说明书
技术领域
本发明涉及离子束镀膜技术领域，尤其涉及一种多工位水冷靶及其制造方法。
背景技术
离子束溅射淀积镀膜技术为科学研究与生产提供了薄膜涂覆的新工艺、新技术，为当今迅速发展的薄膜集成电路、薄膜传感器、磁性薄膜器件、高温合金导体薄膜等广泛的应用领域提供了新的技术手段。随着离子束镀膜技术的飞速发展，以及应用领域的不断扩展和延伸，离子束溅射沉积镀膜方法与设备得到了很大的提高。水冷靶是离子束溅射镀膜设备的重要部件，通过在水冷靶体上安装各种靶材，离子束轰击靶材，溅射出靶材原子沉积在工件上完成离子束镀膜工艺。
现有的离子束溅射淀积镀膜设备水冷靶结构复杂，水冷效果不理想，离子束轰击靶材一定时间后，靶材升温快，影响镀膜质量。
因此，开发一种结构简单，水冷效果好的多工位水冷靶极其重要。
发明内容
本发明的目的在于针对上述问题，提供一种多工位水冷靶及其制造方法，以实现结构简单、水冷效果好等优点。
为解决以上技术问题，本发明的技术方案是：一种多工位水冷靶制造方法，包括以下步骤：
S1.采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽的靶体，所述靶体一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口，穿过所述靶体第二开口的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口，在所述靶体第四开口同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口的靶体第一开口，在所述靶体第四开口另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口的靶体第三开口；
S2.采用机械加工的方法制造圆柱体靶套，所述靶套内部加工有与所述靶体外径吻合的圆形通孔靶套开口；
S3.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体的靶体第二开口内径吻合的、上端侧位加工有集水管第一开口、中心加工有集水管第二开口的集水管；
S4.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体的靶体第四开口内径吻合的、上端带有进水弯管的进水管；
S5.采用机械加工的方法制造堵水件，所述堵水件外径与所述集水管的集水管第二开口内径吻合，所述堵水件中心开有内径与所述进水管外径吻合的通孔堵水件第一开口，所述堵水件边缘开有另一通孔堵水件第二开口；
S6.采用机械加工的方法制造回水管和回水弯管；
S7.将所述进水管插入靶体第四开口，所述进水弯管末端插入靶体第三开口，在所述靶体第三开口和靶体第四开口周围进行圆周密封焊接；
S8.将所述回水弯管一端插入所述集水管的集水管第一开口中，并在接合处进行圆周密封焊接；
S9.将焊接有回水弯管的所述集水管一端插入靶体的靶体第二开口并在接合处进行圆周密封焊接；将所述回水弯管的另一端插入靶体第一开口，并在接合处进行圆周密封焊接；
S10.将所述回水管插入所述堵水件的堵水件第二开口并在接合处进行圆周密封焊接；
S11.将焊接有回水管的所述堵水件插入所述集水管的集水管第二开口内，并在接合处进行圆周密封焊接；将所述进水管与所述堵水件的堵水件第一开口接合处进行圆周密封焊接；
S12.将焊接好集水管、进水管、堵水件、回水管和回水弯管的靶体套入所述靶套的靶套开口内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。
所述靶体的螺旋槽从螺旋槽入口到螺旋槽出口是贯通的。
优选的，所述多工位水冷靶采用上述制造方法制得。
与现有技术相比，本发明所具有的有益效果为：由于采用螺旋槽设计的直接水冷通道，并将靶体套入靶套内，安装在靶套表面的靶材由于离子束轰击产生的热量直接由冷却水带走，水准效果好。同时这种设计的水冷靶结构简单，可实现四面、五面、六面、八面等形式，可安装多种不同靶材。
附图说明
图1为本发明的多工位水冷靶的剖面示意图。
图中：1、靶体；2、集水管；3、进水管；4、堵水件；5、回水管；6、回水弯管；8、靶套；11、靶体第一开口；12、靶体第二开口；13、靶体第三开口；14、靶体第四开口；15、螺旋槽入口；16、螺旋槽出口；17、螺旋槽；21、集水管第一开口；22、集水管第二开口；31、进水弯管；41、堵水件第一开口；42、堵水件第二开口；81、靶套开口。
具体实施方式
以下结合附图对本发明优选实施例进行说明，应当理解，此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本发明，并不用于限制本发明。
如图1所示，一种多工位水冷靶，首先采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽17的靶体1，所述靶体1的螺旋槽17从螺旋槽入口15到螺旋槽出口16是贯通的，便于冷却水顺利流动。所述靶体1一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口12，穿过所述靶体第二开口12的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口14，在所述靶体第四开口14同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口16的靶体第一开口11，在所述靶体第四开口14另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口15的靶体第三开口13。
采用机械加工的方法制造圆柱体靶套8，所述靶套8内部加工有与所述靶体1外径吻合的圆形通孔靶套开口81。
采用机械加工的方法制造集水管2，所述集水管2外径与所述靶体1的靶体第二开口12内径吻合的，所述集水管2上端侧位加工有集水管第一开口21，中心加工有集水管第二开口22。
采用机械加工的方法制造进水管3，所述进水管3外径与所述靶体1的靶体第四开口14内径吻合的，上端弯曲成进水弯管31。
采用机械加工的方法制造堵水件4，所述堵水件4外径与所述集水管2的集水管第二开口22内径吻合，所述堵水件4中心开有内径与所述进水管3外径吻合的通孔堵水件第一开口41，所述堵水件4边缘开有另一通孔堵水件第二开口42。
将所述进水管3插入靶体第四开口14，所述进水弯管31末端插入靶体第三开口13，在所述靶体第三开口13和靶体第四开口14周围进行圆周密封焊接。
将所述回水弯管6一端插入所述集水管2的集水管第一开口21中，并在接合处进行圆周密封焊接。
将焊接有回水弯管6的所述集水管2一端插入靶体1的靶体第二开口12并在接合处进行圆周密封焊接。将所述回水弯管6的另一端插入靶体第一开口11，并在接合处进行圆周密封焊接。
将所述回水管5插入所述堵水件4的堵水件第二开口42并在接合处进行圆周密封焊接。
将焊接有回水管5的所述堵水件4插入所述集水管2的集水管第二开口22内，并在接合处进行圆周密封焊接。将所述进水管3与所述堵水件4的堵水件第一开口41接合处进行圆周密封焊接。
将焊接好集水管2、进水管3、堵水件4、回水管5和回水弯管6的靶体1套入所述靶套8的靶套开口81内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。
相应的一种多工位水冷靶制造方法，包括以下步骤：
S1.采用机械加工方法制造圆柱形外表带螺旋槽17的靶体1，所述靶体1一端中心位置加工有直径较大的靶体第二开口12，穿过所述靶体第二开口12的中心位置加工有直径较小的靶体第四开口14，在所述靶体第四开口14同一端边缘加工有贯通螺旋槽出口16的靶体第一开口11，在所述靶体第四开口14另一端边缘加工有贯通螺旋槽入口15的靶体第三开口13；
S2.采用机械加工的方法制造圆柱体靶套8，所述靶套8内部加工有与所述靶体1外径吻合的圆形通孔靶套开口81；
S3.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体1的靶体第二开口12内径吻合的、上端侧位加工有集水管第一开口21、中心加工有集水管第二开口22的集水管2；
S4.采用机械加工的方法制造外径与所述靶体1的靶体第四开口14内径吻合的、上端带有进水弯管31的进水管3；
S5.采用机械加工的方法制造堵水件4，所述堵水件4外径与所述集水管2的集水管第二开口22内径吻合，所述堵水件4中心开有内径与所述进水管3外径吻合的通孔堵水件第一开口41，所述堵水件4边缘开有另一通孔堵水件第二开口42；
S6.采用机械加工的方法制造回水管5和回水弯管6；
S7.将所述进水管3插入靶体第四开口14，所述进水弯管31末端插入靶体第三开口13，在所述靶体第三开口13和靶体第四开口14周围进行圆周密封焊接；
S8.将所述回水弯管6一端插入所述集水管2的集水管第一开口21中，并在接合处进行圆周密封焊接；
S9.将焊接有回水弯管6的所述集水管2一端插入靶体1的靶体第二开口12并在接合处进行圆周密封焊接；将所述回水弯管6的另一端插入靶体第一开口11，并在接合处进行圆周密封焊接；
S10.将所述回水管5插入所述堵水件4的堵水件第二开口42并在接合处进行圆周密封焊接；
S11.将焊接有回水管5的所述堵水件4插入所述集水管2的集水管第二开口22内，并在接合处进行圆周密封焊接；将所述进水管3与所述堵水件4的堵水件第一开口41接合处进行圆周密封焊接；
S12.将焊接好集水管2、进水管3、堵水件4、回水管5和回水弯管6的靶体1套入所述靶套8的靶套开口81内，并在上下端的接合处进行圆周密封焊接，这样形成了多工位水冷靶。
将靶材安装在所述靶套8表面，离子束轰击靶材产生的热量直接由螺旋槽17内的冷却水带走，水冷效果好。同时水冷靶结构简单，可实现四面、五面、六面、八面等形式，可安装多种不同靶材。
以上所述，仅是本发明的较佳实施方式，不应被视为对本发明范围的限制，而且本发明所主张的权利要求范围并不局限于此，凡熟悉此领域技艺的人士，依照本发明所披露的技术内容，可轻易思及的等效变化，均应落入本发明的保护范围内。
设计图
相关信息详情
申请码:申请号:CN201910018177.7
申请日:2019-01-09
公开号:CN109609918A
公开日:2019-04-12
国家:CN
国家/省市:11(北京)
授权编号:CN109609918B
授权时间:20191112
主分类号:C23C 14/34
专利分类号:C23C14/34;C23C14/46
范畴分类:25F;
申请人:伟业智芯（北京）科技有限公司
第一申请人:伟业智芯（北京）科技有限公司
申请人地址:102101 北京市延庆区康庄镇八达岭开发区风谷四路八号院26号楼东
发明人:不公告发明人
第一发明人:不公告发明人
当前权利人:伟业智芯（北京）科技有限公司
代理人:代理机构:代理机构编号:优先权:关键词:当前状态:审核中
类型名称:外观设计