中国建材总院积极拓展碳化硅结构陶瓷应用新领域

中国建材总院积极拓展碳化硅结构陶瓷应用新领域

论文摘要

碳化硅(SiC)是一种性能优异的结构陶瓷材料,具有高强度、高硬度、高弹性模量、高比刚度、高导热系数、低热膨胀系数和优良的化学稳定性,被广泛应用于石油化工、机械制造、核工业、半导体制造等领域。中国建筑材料科学研究总院有限公司(以下简称中国建材总院)致力于碳化硅关键词:

论文目录

  • 碳化硅陶瓷材料用于空间反射镜
  • 精密碳化硅结构件用于半导体制造
  • 高纯碳化硅涂层用于MOCVD制造设备
  • 文章来源

    类型: 报纸

    作者: 霍艳丽,刘海林

    关键词: 碳化硅材料,光刻机,工件台,关键装备,碳化硅陶瓷材料,结构陶瓷,凝胶注模成型,碳化硅反射镜

    来源: 中国建材报 2019-03-21

    年度: 2019

    分类: 工程科技Ⅰ辑

    专业: 无机化工

    分类号: TQ174.75

    总页数: 3

    文件大小: 251k

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