论文摘要
碳化硅(SiC)是一种性能优异的结构陶瓷材料,具有高强度、高硬度、高弹性模量、高比刚度、高导热系数、低热膨胀系数和优良的化学稳定性,被广泛应用于石油化工、机械制造、核工业、半导体制造等领域。中国建筑材料科学研究总院有限公司(以下简称中国建材总院)致力于碳化硅关键词:
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文章来源
类型: 报纸
作者: 霍艳丽,刘海林
关键词: 碳化硅材料,光刻机,工件台,关键装备,碳化硅陶瓷材料,结构陶瓷,凝胶注模成型,碳化硅反射镜
来源: 中国建材报 2019-03-21
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅰ辑
专业: 无机化工
分类号: TQ174.75
总页数: 3
文件大小: 251k
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标签:碳化硅材料论文; 光刻机论文; 工件台论文; 关键装备论文; 碳化硅陶瓷材料论文; 结构陶瓷论文; 凝胶注模成型论文; 碳化硅反射镜论文;