柱状结构复合光导层论文_于永红

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柱状结构复合光导层论文文献综述

于永红^[1]（2003）在《nc-Si/a-Si:H柱状结构复合光导层液晶光阀的制备研究》一文中研究指出本文介绍了液晶光阀光导层的发展、液晶光阀的工作原理及应用，分析了非晶硅薄膜的生长机制以及载流子的横向扩散对分辨率的影响，详细研究了nc-Si／a-Si：H柱状结构复合光导层液晶光阀的制备工艺。液晶光阀的分辨率与许多因素有关，而光导层光生载流子的横向扩散则是其中的重要因素之一。本文根据柱状结构存在各向异性的特点，并根据半导体物理知识，推出光导层光生载流子横向最大扩散长度(该扩散长度与液晶光阀光导层分辨率直接相关)与薄膜横向和纵向电导率关系的表达式为：由于a-Si：H在Al金属的诱导作用下在不高于250℃的温度下即开始晶化，本文对用金属Al诱导非晶硅晶化制备的nc-Si／a-Si：H薄膜进行研究。这种nc-Si／a-Si：H光导膜具有柱状结构，薄膜的光／暗电导比达到10~3，其纵向电导率是横向电导率的2～4倍。这种各向异性的柱状结构复合光导膜有利于减小光生载流子的横向扩散长度，从而可以提高液晶光阀光导层的分辨率。液晶光阀的阻光层和介质镜层起着隔离写入光和读出光的作用，介质镜层还起着反射读出光的作用。本文通过对阻光层和介质镜反射层的光学特性研究，用实验的方法确定了反射率最大而透过率最小的阻光层和介质镜反射层最佳组合为：阻光层厚度在1.3μm以上，介质镜层数为9层。本文同时就目前液晶光阀制备上存在的阻光层的介质镜膜层脱落的问题，结合液晶定向层的制备，分析了引起定向层和介质镜阻光层脱落的原因，并浙江大学硕士学位论文针对这个原因设计了特定的制备工艺，即通过多层和多次挥发制备技术并控制加热速度使薄膜内部水分充分蒸发；而在固化时则采用逐层控制加热新工艺由底层向表面逐步加热，保证聚酚亚胺薄膜由底层向表面逐层固化，从而解决了膜层脱落的问题。液晶在液晶光阀中起着调制读出光的作用，液晶调制光性能的优劣与定向层的好坏，定向方式等密切相关。定向层沟槽要求深浅合适，疏密恰当和分布均匀，本文经过实验研究，确定了定向层制备的最佳工艺条件是：聚酚亚胺溶液先在 1000r／min的条件下旋转 10s，然后在 3000r／min的条件下旋涂 20s。涂覆好的聚酞亚胺薄膜马上在 40 C～60 C的控温仪上进行5～10分钟的前期固化处理，然后在180℃的烘箱中热处理2个小时。聚酚亚胺定向层摩擦次数为15～18 次时，沟槽效果明显，线宽为100urn左右，且分布均匀。本文系统研究了nc－St／a－StH柱状结构复合光导层液晶光阀的制备工艺条件，根据此工艺条件制备的液晶光阀的测试分辨率达到500…inch。(本文来源于《浙江大学》期刊2003-03-01）