论文摘要
为了提高引信状态控制的安全性,增强其抵抗引信内、外强电磁干扰的能力,提出了一种应用于微小型引信安全系统的硅基微光机电保险机构。该机构采用光纤作为过程能量传输的载体,通过静电驱动方式实现对光纤光路错位与对准的控制,达到引信安全与解除保险的目的。设计了MOEMS保险机构的总体结构和耦合光路,并对它进行SOI+DRIE工艺设计和加工。通过开展静电微驱动器性能测试试验和光路性能测试试验得出,静电微驱动器能够实现130μm的大位移输出,MOEMS保险机构的解除保险时间和恢复保险时间分别为13 ms和5 ms,光能传输效率为46.1%。所设计的MOEMS保险机构能够满足功能要求,具备天然的抗电磁干扰能力,有效提高了引信的本征安全性。
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文章来源
类型: 期刊论文
作者: 刘加凯
关键词: 微光机电系统,引信,保险机构,静电微驱动器,光路耦合
来源: 光学精密工程 2019年02期
年度: 2019
分类: 工程科技Ⅱ辑
专业: 武器工业与军事技术
单位: 西安交通大学机械工程学院,武警工程大学装备管理与保障学院
基金: 国家博士后基金资助项目(No.2017M623155),陕西省自然科学基础研究计划资助项目(No.2018JQ5024)
分类号: TJ430.33
页码: 334-340
总页数: 7
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